[发明专利]放电表面处理用电极、放电表面处理方法及放电表面处理装置有效
| 申请号： | 03818314.5 | 申请日： | 2003-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1671887A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 後藤昭弘;秋吉雅夫;落合宏行;渡边光敏 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社;石川岛播磨重工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放电 表面 处理 用电 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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