[发明专利]用于浸液式光刻的折射投影物镜有效
| 申请号： | 03805575.9 | 申请日： | 2003-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1639644A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | H·－J·罗斯塔尔斯基;W·乌尔里希 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 浸液 光刻 折射 投影 物镜 | ||
【说明书】：
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