[发明专利]等离子体灰化后晶片的改进清洁剂无效
| 申请号： | 02818145.X | 申请日： | 2002-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN1555409A | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | 威廉·A·沃伊特恰克;法蒂玛·玛·塞约;托马斯·J·克洛芬斯戴恩;达尼埃尔·N·法恩 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | C11D3/30 | 分类号： | C11D3/30;B08B3/08;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁业平;王维玉 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 灰化 晶片 改进 清洁剂 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高级技术材料公司，未经高级技术材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02818145.X/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种环形菜单导航设备和方法
- 下一篇：墙壁结构
