[发明专利]高纯氟气体、其生产方法和用途和分析高纯氟气体中的痕量不纯物的方法无效
| 申请号： | 02802243.2 | 申请日： | 2002-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1639058A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 鸟巢纯一;跡边仁志;星野恭之 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C01B7/20 | 分类号： | C01B7/20;C01G53/08;G01N30/14;G01N21/35;H01S3/225 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 氟气 生产 方法 用途 分析 中的 痕量 不纯 | ||
【说明书】：
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