[实用新型]微位移传感器

权利要求书

1、一种微位移传感器，主要由头钉帽(1)，外壳(2)，圆钉(3)，底钉帽(4)，端盖(5)，橡胶弹性件(6)，金属垫(7)，颗粒粘稠状导电介质(8)组成，其特征在于：头钉帽(1)与外壳(2)螺接，橡胶弹性件(6)经端盖(5)固定于外壳(2)的内腔中，圆钉(3)与底钉帽(4)螺接成为一体的圆钉电极(10)，并环卡于橡胶弹性件(6)上，圆钉(3)的半球形头部(31)与外壳(2)内腔顶部(21)形成伞状扩散式通道空间(22)，并在其中装有颗粒粘稠状导电介质(8)。

2、根据权利要求1所述的微位移传感器，其特征在于：外壳(2)的内腔顶部(21)的曲面是由球面与截锥面组成。

3、根据权利要求1所述的微位移传感器，其特征在于：伞状扩散式通道空间(22)内也可填充颗粒状或粉末状导电介质。

4、根据权利要求1所述的微位移传感器，还可由螺钉(11)，垫圈(12)，凹形件(13)，绝缘外壳(14)，绝缘环垫(15)，金属环垫(16)，封盖(17)，弹性隔膜(18)，颗粒粘稠状导电介质(8)，圆钉电极(10)组成，其特征在于：弹性元件由弹性隔膜(18)和填充油液的体腔(141)组成。

5、根据权利要求4所述的微位移传感器，其特征在于：体腔(141)中可填充硅油或惰性气体。