[发明专利]超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置无效
| 申请号： | 02132839.0 | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1415456A | 公开（公告）日： | 2003-05-07 |
| 发明（设计）人： | 宋文荣;何惠阳;王延风;于国飞;查明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B23Q1/01 | 分类号： | B23Q1/01;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精密 位移 导轨 磁悬浮 方法 及其 装置 | ||
【说明书】：
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