[发明专利]电解加工方法、动压轴承装置的制造方法及动压轴承装置

说明书

技术领域

本发明涉及将电极工具与被加工物隔有电解液对向设置、通过通电来进行被加工物的电解加工的电解加工方法和动压轴承用槽的制造方法及采用该制造方法制造的动压轴承装置。

背景技术

电解加工是一种通过将电解熔出集中在被加工物所要的部位来进行的方法，例如，已知有图15所示的传统的电解加工装置。在图15所示的电解加工装置中，将被加工物4通过绝缘物2载置在设置于基座1上的夹具3上，同时将电极工具5对向配置成与该被加工物4邻近。并且，所述被加工物4与未图示的电解加工用电源的正极(+极)侧连接，电极工具5与负极(-极)侧连接。

另一方面，储存在外部侧的电解液6由电解液供给装置即泵7通过过滤器8供给至所述电极工具5与被加工物4之间的间隙，电解液6一边在电极工具5与被加工物4之间流动，一边在两者间通电。由此，被加工物4不断地被电化学熔出，以此进行被加工物4的电解加工。

此时，在所述电极工具5上附设有送进装置10，电极工具5随着被加工物4的加工过程逐渐向被加工物4一侧送入，使其两者间保持着所定的加工间隙(平衡间隙)，结果是在被加工物4上形成了与电极工具5形状反转的形状。由电解加工发生的气体通过风扇11向外部排气。又，在因焦耳热升温的电解液中含有各种电解生成物，但使用过的电解液12通过离心分离器13实现清洁化之后，再次供给至上述的电极工具5与被加工物4之间。

然而，在采用这种一般性的电解加工方法进行批量生产加工的工序中存在以下的问题。

①相对于电极工具的宽度，存在着被加工物的加工宽度大的倾向，并且，在该加工宽度上容易发生误差。

②为了减小加工宽度的误差，若减小电极工具与被加工物之间的间隙，则因来自电解液中存在的被加工物的电解生成物等的各种粒子容易发生堵塞液体的现象，常常会导致加工不良。

③同样，若减小电极工具与被加工物之间的间隙，因电解液不能良好地流动，故容易在加工途中使电解液劣化，电解液的入口侧的加工量深，越向出口侧方向，加工深度越浅。

特别是在利用润滑流体的动压的动压轴承装置的动压发生用槽的槽加工中采用电解加工的场合，动压特性影响较大的动压发生用槽的槽形状不能得到所需的精度，不能获得良好的动压特性，并且还会成为降低生产性的原因。又，在由动压轴承装置支承的回转体类如硬盘驱动装置(HDD)等中，如加工后的产品上沾附有电解生成物和电解液，有时可能会因化学性污染而导致不能使用。

为此，本发明目的在于提供一种结构简单、可高精度且高效率地加工被加工物的电解加工方法及动压发生用槽的制造方法。

本发明内容

为实现上述目的，本发明的电解加工方法是在被加工物的被加工表面上密合着贯通形成有与凹部形状对应的连通孔型的遮蔽构件，使上述电解液在该遮蔽构件与所述电极工具之间的间隙中一边流动一边进行供给，通过使电解液进入所述遮蔽构件的连通孔型的内部进行流动进行电解加工，在此场合，电极工具既可向遮蔽构件密合状地推入，也可与遮蔽构件分离。

采用具有这种结构的电解加工方法，向被加工物供给的电解液只能在与该被加工物密合的遮蔽构件的连通孔型内流动，通过增大被加工物与电极工具之间的间隙或增大遮蔽构件的厚度，即使在电解液的流动性提高的情况下，也能对被加工物高精度地形成与遮蔽构件的连通孔型对应形状的凹部。

在上述电解加工方法中，若在遮蔽构件的至少表面部分设置绝缘性构件，则向遮蔽构件的连通孔型以外的通电基本上被完全遮断，更高精度地形成凹部形状。

并且，作为电解液若采用与界面活性剂的混合液，则从被加工物熔出的电解生成物等的各种粒子被电解液中的界面活性剂吸收，可确保电解液的顺滑流动。

又，若设置向电解液提供超声波振动的超声波振动发生装置，则从被加工物熔出的电解生成物等的各种粒子通过提供给电解液的超声波振动而顺滑地进行流动。

又，若独立地进行电解加工用的通电和超声波振动用的通电、或者交替地进行电解加工用的通电和超声波振动用的通电或至少重复进行这两种的各通电的一部分，则根椐电解加工的状况适当地切换电解加工用的通电和超声波振动用的通电，就可始终得到最佳的加工状态。