[发明专利]一种微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法及装置

权利要求书

1、微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法，其将超快短脉冲激光传输到试样界面，激发得到微尺度界面波，通过对接收的微尺度界面波耗散特性分析，实现定量测试，其特征在于所述的超快短脉冲激光被外光路系统传输到微光机电系统中的膜基耦合试样界面，实现微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量非接触测试。

2、根据权利要求1所述的微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法，其特征在于采用物理气相沉积、化学气相沉积、磁控溅射及脉冲激光淀积等不同工艺制备膜基耦合试样，调节得到相同组元和几何特征但不同粘附强度结合的膜基耦合试样。

3、根据权利要求1所述的微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法，其特征在于采用同一工艺方法，但改变工艺参数，调节制备相同组元和几何特征但不同粘附强度结合的膜基耦合试样。

4、根据权利要求1所述的微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法，其特征在于设计不同界面粘附接触面积比的膜基耦合试样，测定该条件下的微尺度界面波耗散特性，确定粘附接触面积比与耗散特征量的数值关系，实现膜基耦合界面粘附接触比的定量测定。

5、根据权利要求1所述的微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法，其特征在于设计不同曲率的的界面粘附间隙，考察平滑非粘附接触，矩形间距非粘附接触和椭圆间距非粘附接触对微尺度界面波耗散行为及其特征量的影响，实现微光机电系统中膜基耦合界面粘附粗糙度的的定量估计。

6、实现权利要求1所述的微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法的装置，其由超快短脉冲激光发生器(4)、外光路系统、工装夹具系统、界面波光接受系统、控制系统和试样体系组成，其特征在于试样体系为微光机电系统中的由薄膜(10)和基体(11)经界面耦合而成的膜基耦合试样体系。

7、根据权利要求6所述的微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法的装置，其特征在于膜基耦合试样体系由宏观的微米级以上、介观的亚微米级和微观的纳米级的薄膜和基体两两耦合构成的不同尺度组合的膜基耦合体系。