[发明专利]用于离子注入器的污染物收集器捕集器有效
| 申请号： | 01820959.9 | 申请日： | 2001-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1501844A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | J·P·奎尔 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | B04C3/00 | 分类号： | B04C3/00;B01D45/02;B01D45/16;H01J37/32;H01J49/24;B04C5/103;B04C5/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 污染物 收集 器捕集器 | ||
【说明书】：
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