[发明专利]蒸发源的制造方法有效
| 申请号： | 01803003.3 | 申请日： | 2001-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1392904A | 公开（公告）日： | 2003-01-22 |
| 发明（设计）人： | P·维尔哈蒂滋;S·孙澳儿;P·朴里克 | 申请（专利权）人： | 菩兰茜股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国平 |
| 地址： | 奥地利蒂罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1、用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，该蒸发源包括一个包含铝组分及一种或多种其它组分的靶和一个与靶相连的由热导率比靶好的材料组成的支承板，靶的制造是通过将粉末状个体组分的混合物冷压之后，在低于个体组分熔点的温度下在流动下成型，直至得到的密度至少为理论密度的98％，该方法的特征在于
将同样由粉末状起始材料组成的支承板与靶组分一起挤压形成夹层式粉末部分，然后成型。
2、根据权利要求1的用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，其特征在于靶包括至少15原子％的铝。
3、根据权利要求2的用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，其特征在于靶包括85原子％的钛作为第二组分。
4、根据权利要求1-3之一的用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，其特征在于铝用作支承板的材料。
5、根据权利要求1-4的用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，其特征在于通过在锻压机中锻压进行成型。
6、根据权利要求3的用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，其特征在于通过在锻压机中在400-450℃的温度下的锻压进行成型。
7、根据权利要求1-4的用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，其特征在于通过挤塑进行成型。
8、根据权利要求3的用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，其特征在于在400-450℃的温度下经挤塑进行成型。
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