[发明专利]显微镜装置

说明书

技术领域

本发明涉及显微镜装置。

背景技术

已往的显微镜，是单体地进行观察，采用以明视野观察为首的暗视野观察、微分干扰观察等各种显微镜观察法进行观察。但是，此种显微镜具有独立的构造，不能相对其它的任意装置、例如基板检查装置等进行装拆。即，已往的显微镜，仅作为单体使用，不能用于其它装置，缺乏通用性。另外，已往的显微镜中，用不同的显微镜观察法进行观察时，必须手工地装卸各种光学元件，要进行烦杂的操作。

本发明的目的是提供一种显微镜装置，该显微镜装置通过在所需部位上装拆自如，而具有通用性，另外，可自动地进行显微镜观察法的变更。

发明内容概要

(1)本发明的显微镜装置，其特征在于，具有与若干不同的显微镜观察法有关的各种光学机构、至少安装着一个物镜的物镜转换器、对焦机构、照明光源；上述对焦机构使该物镜转换器在光轴方向移动，对准选择地插入光轴的物镜的焦点；

还备有：

由上述各种光学机构、物镜转换器、对焦机构分别具备的可电动控制的电动促动器；

将上述各种光学机构、物镜转换器、对焦机构一体组入的一个显微镜筒；

相对于设在显微镜镜筒上的各种检查装置的支承部可装卸的安装部。

(2).本发明的显微镜装置，是上述(1)记载的微镜装置装置，其特征在于，备有控制部，该控制部控制上述各种光学机构、上述物镜转换器、设在对焦机构上的各电动促动器。

(3).本发明的显微镜装置，是上述(2)记载的显微镜装置，其特征在于，上述控制部，根据操作部指示的显微镜观察法，控制上述各种光学机构的各电动促动器。

(4).本发明的显微镜装置，是上述(1)记载的显微镜装置，其特征在于，上述若干种显微镜观察法，包含明视野观察法、暗视野观察法、偏光观察法、微分干扰观察法中的至少二种显微镜观察法。

(5).本发明的显微镜装置，是上述(1)记载的显微镜装置，其特征在于，上述各种光学机构，包含：备有ND滤光器的ND滤光器调节部、备有开口光圈的开口光圈调节部、备有视野光圈的视野光圈调节部、备有起偏光镜的起偏光镜插卸部、备有明视野棱镜和暗视野棱镜的明视野/暗视野切换部、备有诺马尔斯基棱镜的诺马尔斯基调节部、备有检偏镜的检偏镜插卸部。

(6).本发明的显微镜装置，是上述(1)记载的显微镜装置，其特征在于，上述显微镜镜筒上，备有宏观观察用的物镜和可电动的快门切换部；上述宏观观察用的物镜，平行于安装在物镜转换器上的微观观察用物镜的光轴，并离开预定距离；上述可电动的快门切换部，进行微观观察光路与从该微观观察光路分割的宏观观察光路的切换。

附图的简单说明

图1是表示本发明实施例显微镜装置中采用的基板检查装置构造的侧面图。

图2是表示本发明实施例显微镜装置构造的图。

图3A是表示本发明实施例显微镜装置构造的俯视图。

图3B是表示本发明实施例显微镜装置构造的断面图。

图3C是表示本发明实施例显微镜装置构造的侧面图。

图4A、图4B表示相对于本发明实施例显微镜装置的灯的配置变形例。

图5是本发明实施例中的ND滤光器调节部的基本机构图。

图6是本发明实施例中的AS调节部的基本机构图。

图7是本发明实施例中的FS调节部的基本机构图。

图8是本发明实施例中的起偏光镜插卸部的基本机构图。

图9是本发明实施例中的明视野/暗视野切换部的基本机构图。

图10是本发明实施例中的快门切换部的基本机构图。

图11是本发明实施例中的诺马尔斯基调节部的基本构造图。

图12是表示本发明实施例中的操作部构造的图。

图13、图14是表示相对本发明实施例显微镜观察法的各光学装置状态的图。

图15是表示本发明实施例显微镜装置的第1应用例的图。

图16是表示本发明实施例显微镜装置的第2应用例的图。

图17是表示本发明实施例显微镜装置的第3应用例的图。

图18是表示本发明实施例显微镜装置的第4应用例的图。

图19是表示本发明实施例显微镜装置的第5应用例的图。

图20A、图20B是表示本发明第2实施例显微镜系统构造的图。

实施发明的具体方式

下面，参照附图说明本发明的实施例。