[发明专利]表面声波器件和用于它的压电基片

说明书

本发明涉及一种表面声波器件和一种用于它的压电基片。

在最近几年，各种种类的移动通信终端器件，包括蜂窝电话，已经进入广泛使用。高度希望减小这种终端设备的尺寸和重量以便增强可携带性。为了减小终端器件的尺寸和重量，必须大大地减小其电子部分的尺寸和重量。为此，实现尺寸和重量减小的表面声波器件，即，表面声波滤波器，常常用于终端器件的高和中频部分。这样的器件借助于用来在其一个压电基片的表面上激励、接收、反射及传播表面声波的一根叉指状电极形成。

对于用于表面声波器件的压电基片重要的特性之一是表面波速度(SAW速度)、在滤波器情况下中心频率的或在谐振器情况下谐振频率的温度系数(频率的温度系数：TCF)、及机电耦合因数(k²)。对于表面声波器件当前已知的典型压电基片的特性下面在表1中叙述。对于关于这些特性的细节，应该参照Yasutaka SHIMIZU的“Propagationcharacteristics of SAW materials and their current application(SAW材料的传播特性和其当前应用)”，the Transactions of The Institute ofElectronics，Information and Communication Engineers A，Vol.J76-A，No.2，pp.129-137(1993)。下文，用于表面声波器件的压电基片涉及使用表1中的规定。

表1

  符号  成分  切割角传播方向  SAW速度    (m/s)     K²    (％)  128LN  LiNbO₃    128°  -Y旋转    X    39932    5.5  64LN  LiNbO₃ 64°-Y旋转    X    47472    11.3  36LT  LiTaO₃ 36°-Y旋转    X    4212    4.7  LT112  LiTaO₃    X    112°  -Y旋转    3288  0.64    ST石英晶体石英晶体    ST    X    3158  0.14