[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1．一种功率反馈型激光加工装置，具有激光振荡单元，用于利用从激发光源发出的激发光的能量激励固态激光器介质，以便振荡输出激光，激光器电源单元向所述激发光源供电，以及激光输出测量单元测量激光输出，根据反馈信号和预设的基准值之间的误差控制激光输出，所述反馈信号是来自所述激光输出测量单元的激光器功率测量值，所述激光加工装置包含：

功率测量单元，用于测量向所述激发光源提供的功率，其中

利用代表来自所述功率测量单元的功率测量信号的交流分量校正所述反馈信号，以便控制激光输出。

2．一种功率反馈型激光加工装置，具有激光振荡单元，用于利用从激发光源发出的激发光的能量激励固态激光器介质，以便振荡输出激光，激光器电源单元向所述激发光源供电，以及激光输出测量单元测量激光输出，根据反馈信号和预设的基准值之间的误差控制激光输出，所述反馈信号是来自所述激光输出测量单元的激光器功率测量值，所述激光加工装置包含：

功率测量单元，用于测量向所述激发光源提供的功率，其中

利用代表来自所述功率测量单元的功率测量信号的交流分量校正所述基准值，以便控制激光输出。

3．一种功率反馈型激光加工装置，具有激光振荡单元，用于利用从激发光源发出的激发光的能量激励固态激光器介质，以便振荡输出激光，激光器电源单元向所述激发光源供电，以及激光输出测量单元测量激光输出，根据反馈信号和预设的基准值之间的误差控制激光输出，所述反馈信号是来自所述激光输出测量单元的激光器功率测量值，所述激光加工装置包含：

电流测量单元，用于测量向所述激发光源提供的电流，其中

利用代表来自所述电流测量单元的功率测量信号的交流分量校正所述反馈信号，以便控制激光输出。

4．一种功率反馈型激光加工装置，具有激光振荡单元，用于利用从激发光源发出的激发光的能量激励固态激光器介质，以便振荡输出激光，激光器电源单元向所述激发光源供电，以及激光输出测量单元测量激光输出，根据反馈信号和预设的基准值之间的误差控制激光输出，所述反馈信号是来自所述激光输出测量单元的激光器功率测量值，所述激光加工装置包含：

电流测量单元，用于测量向所述激发光源提供的电流，其中

利用代表来自所述电流测量单元的功率测量信号的交流分量校正所述基准值，以便控制激光输出。

5．根据前述权利要求中之一所述的激光加工装置，还包含：

开关装置，连接在所述激光器电源单元和所述激发光源之间，以及

开关控制装置，用于按照预定频率通过脉宽调制对所述开关装置进行开关控制。

6．根据前述权利要求中之一所述的激光加工装置，其中

所述开关装置包含：

加法器，其将测量值的所述信号的交流分量加到反馈信号上；

运算放大器，其将来自所述加法器的输出信号与所述基准值相比较，以放大其间的误差信号；以及

电容器，配置在所述运算放大器的反馈电路中，用于相位补偿。

7．根据前述权利要求5所述的激光加工装置，其中

所述开关装置包含：

减法器，其从所述基准值中减去测量值的所述信号的交流分量；

运算放大器，其将来自所述减法器的输出信号与所述基准值相比较，以放大其间的误差信号；以及

电容器，配置在所述运算放大器的反馈电路中，用于相位补偿。