[发明专利]组合式热吸气剂净化系统

权利要求书

1、一种气体净化器，包括：

一个具有第一端和第二端的外壳；

一个置于所述外壳中的内壳，使得在所述内壳和所述外壳之间形成环形空间，所述内壳具有内部空间；

置于所述内壳内部空间中的一定数量的净化材料；以及

一个入口和一个出口，两者都邻近所述外壳的第一端，所述入口与所述环形空间联通，所述出口与所述内部空间联通；

其中，不纯气体通过所述入口进入所述气体净化器，流经所述环形空间达到所述内部空间，通过置于所述内部空间的所述气体净化材料，然后经所述出口离开所述气体净化器，所述气体净化材料能够捕集至少某些存在于所述不纯气体中的杂质。

2、如权利要求1所述的气体净化器，其进一步包括加热所述气体净化器的加热器，所述加热器与该净化器的第二端部至少有部分接触，该第二端部包括第二端和靠近第二端的外壳。

3、如权利要求2所述的气体净化器，其进一步包括至少与某些所述净化材料接触的加热器。

4、如权利要求2所述的气体净化器，其进一步包括置于所述外壳第一端和所述加热器之间的所述内部空间的分流器。

5、如权利要求4所述的气体净化器，其中，所述分流器包括一种陶瓷材料。

6、如权利要求1所述的气体净化器，其中，所述净化材料是一种选自Zr、Ti、Nb、Ta、V及其合金的吸气剂材料。

7、如权利要求6所述的气体净化器，其进一步包括至少与某些所述净化材料接触的加热器。

8、如权利要求7所述的气体净化器，其进一步包括置于所述内部空间的、在所述外壳第一端和所述加热器之间的分流器。

9、如权利要求8所述的气体净化器，其中，所述分流器包括一种陶瓷材料。

10、如权利要求6所述的气体净化器，其进一步包括置于所述内部空间、靠近所述出口的过滤器。

11、如权利要求10所述的气体净化器，其中，所述过滤器包括烧结不锈钢。

12、如权利要求10所述的气体净化器，其中，所述过滤器基本能从所述出口气流中脱除小到0.003μm的颗粒。

13、如权利要求6所述的气体净化器，其进一步包括在所述第一端上的吸气模件接口设备。

14、如权利要求1所述的气体净化器，其进一步包括置于所述内部空间、靠近所述出口的过滤器。

15、如权利要求14所述的气体净化器，其中，所述过滤器包括烧结不锈钢。

16、如权利要求14所述的气体净化器，其中，所述过滤器基本能从所述出口气流中脱除小到0.003μm的颗粒。

17、如权利要求1所述的气体净化器，其进一步包括在所述第一端上的吸气模件接口设备。

18、如权利要求17所述的气体净化器，其中，吸气模件接口设备与吸气模件基座联通。

19、一种净化气体的方法，包括：

气体流入净化装置第一端上的入口；

加热所述气体；

所述气体与净化材料接触；以及

所述气体从所述净化装置第一端上的出口流出。

20、如权利要求19所述的方法，其进一步包括：在所述气体接触净化材料之前预热所述气体。

21、如权利要求19所述的方法，其中，所述净化材料是一种选自Zr、Ti、Nb、Ta、V及其合金的吸气剂材料。

22、如权利要求21所述的方法，其进一步包括：在所述气体接触净化材料之前预热所述气体。

23、如权利要求22所述的方法，其进一步包括：在所述气体从所述出口流出之前冷却所述气体。

24、如权利要求23所述的方法，其进一步包括：在所述气体从所述出口流出之前过滤所述冷却的气体。