[发明专利]用于SMIF和开启容器的通用工具接口和/或工件传送装置有效
申请号: | 00808427.0 | 申请日: | 2000-04-25 |
公开(公告)号: | CN1354891A | 公开(公告)日: | 2002-06-19 |
发明(设计)人: | 安东尼·C·博诺拉;爱德华·J·科尔特斯;J·马克·迪帕奥拉;罗伯特·R·内奇 | 申请(专利权)人: | 阿西斯特技术公司 |
主分类号: | H01L49/00 | 分类号: | H01L49/00;H01L21/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 何秀明,李晓舒 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 smif 开启 容器 通用 工具 接口 工件 传送 装置 | ||
1.在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,该容器包括容器门和容器壳,该装置包括:
一底座;
一固定于所述底座的框架;
一包括相对于所述框架可垂直移动的支架的移动组件;
一能够支撑容器壳的通道板,所述通道板可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直移动,所述通道板可稳定地固定于所述框架上;
一能够支撑容器门的通道门,所述通道门可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直地移动,所述通道门可稳定地固定于所述底座上;和
将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的装置。
2.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道板稳定地固定于所述框架上,用于将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的所述装置,将所述通道门固定于所述支架上。
3.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道门稳定地固定于所述底座上,用于将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的所述装置,将所述通道板固定于所述支架上。
4.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中还包括在所述底座和所述通道板之间延伸的小环境。
5.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道门可相对于所述底座水平移动。
6.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道门可围绕所述底座上的旋转点旋转。
7.一种装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,该装置包括:
一底座;
一固定于所述底座的框架;
一包括相对于所述框架可垂直移动的支架的移动组件;
一通道板,所述通道板可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直移动,所述通道板可稳固地固定于所述框架上;
一能够支撑工件装载盒的通道门,所述通道门可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直地移动,所述通道门可稳固地固定于所述底座上;和
将所述通道板和所述通道门之一固定于所述支架上的装置。
8.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中将该装置安装到用于处理工件的处理工具上,该装置将工件装载盒和/或工件传送到处理工具。
9.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中该装置是独立单元。
10.如权利要求9所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中该装置将工件装载盒和/或工件传送给操作者,用以从该装置手工取出。
11.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中工件装载盒被接收在该装置的工件装载容器内,该装置包括使工件装载盒与盒子装载容器分离的机构。
12.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中工件装载盒被接收到该装置上而在其附近没有容器。
13.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中安装所述通道门用以进行水平移动。
14.如权利要求13所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中还包括垂直驱动组件,其独立于所述移动组件,用以使所述通道门垂直移动。
15.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中还包括将所述通道板安装到所述支架的托架。
16.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中还包括将所述通道门安装到所述支架的臂。
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