[发明专利]用于SMIF和开启容器的通用工具接口和/或工件传送装置有效

专利信息
申请号: 00808427.0 申请日: 2000-04-25
公开(公告)号: CN1354891A 公开(公告)日: 2002-06-19
发明(设计)人: 安东尼·C·博诺拉;爱德华·J·科尔特斯;J·马克·迪帕奥拉;罗伯特·R·内奇 申请(专利权)人: 阿西斯特技术公司
主分类号: H01L49/00 分类号: H01L49/00;H01L21/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 何秀明,李晓舒
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 smif 开启 容器 通用 工具 接口 工件 传送 装置
【权利要求书】:

1.在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,该容器包括容器门和容器壳,该装置包括:

一底座;

一固定于所述底座的框架;

一包括相对于所述框架可垂直移动的支架的移动组件;

一能够支撑容器壳的通道板,所述通道板可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直移动,所述通道板可稳定地固定于所述框架上;

一能够支撑容器门的通道门,所述通道门可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直地移动,所述通道门可稳定地固定于所述底座上;和

将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的装置。

2.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道板稳定地固定于所述框架上,用于将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的所述装置,将所述通道门固定于所述支架上。

3.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道门稳定地固定于所述底座上,用于将所述通道板或所述通道门固定于所述支架上的所述装置,将所述通道板固定于所述支架上。

4.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中还包括在所述底座和所述通道板之间延伸的小环境。

5.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道门可相对于所述底座水平移动。

6.如权利要求1所述的在容器与处理工具之间便于传送工件装载盒的装置,其中所述通道门可围绕所述底座上的旋转点旋转。

7.一种装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,该装置包括:

一底座;

一固定于所述底座的框架;

一包括相对于所述框架可垂直移动的支架的移动组件;

一通道板,所述通道板可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直移动,所述通道板可稳固地固定于所述框架上;

一能够支撑工件装载盒的通道门,所述通道门可固定于所述支架上,以相对于所述框架垂直地移动,所述通道门可稳固地固定于所述底座上;和

将所述通道板和所述通道门之一固定于所述支架上的装置。

8.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中将该装置安装到用于处理工件的处理工具上,该装置将工件装载盒和/或工件传送到处理工具。

9.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中该装置是独立单元。

10.如权利要求9所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中该装置将工件装载盒和/或工件传送给操作者,用以从该装置手工取出。

11.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中工件装载盒被接收在该装置的工件装载容器内,该装置包括使工件装载盒与盒子装载容器分离的机构。

12.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中工件装载盒被接收到该装置上而在其附近没有容器。

13.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中安装所述通道门用以进行水平移动。

14.如权利要求13所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中还包括垂直驱动组件,其独立于所述移动组件,用以使所述通道门垂直移动。

15.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中还包括将所述通道板安装到所述支架的托架。

16.如权利要求7所述的装置,用于接收工件装载盒并传送工件装载盒和/或工件装载盒内的工件使其离开该装置,其中还包括将所述通道门安装到所述支架的臂。

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