[发明专利]平面型图像显示装置制造方法及平面型图像显示装置的制造设备

权利要求书

1.一种平面型图像显示装置的制造方法，包含将具有电子发射元件的基板与具有荧光屏的面板进行封接使在所述电子发射元件与所述荧光屏之间保持间隙相对配置的工序；其特征在于，还具有在真空气氛中对所述基板及所述面板的至少一方照射电子的工序。

2.如权利要求1所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述电子照射工序中，将所述基板及所述面板的至少一方装在处理容器内，从该处理容器内设置的电子源对所述基板及所述面板的至少一方照射所述电子。

3.如权利要求2所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述电子照射工序中，从所述处理容器内设置的多个所述电子源，交替或同时照射所述电子。

4.如权利要求2所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述电子照射工序中，一面将从所述电子源射出的所述电子进行偏转，一面进行照射。

5.如权利要求2所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述电子照射工序中，照射平板型的所述电子源射出的电子。

6.如权利要求1所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述电子照射工序中，在保持10^-3Torr以下真空度的真空气氛中照射所述电子。

7.如权利要求1所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述电子照射工序中，一面对所述基板及所述面板的至少一方进行加热，一面照射所述电子。

8.如权利要求7所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述电子照射工序中，将所述基板及所述面板的至少一方加热至200～400℃的温度。

9.如权利要求7所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，照射所述电子后，将被照射物冷却至100℃以下的温度。

10.如权利要求1所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，照射所述电子后，将所述基板及所述面板隔着支承框在真空气氛中封接。

11.如权利要求10所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，所述支承框在所述照射工序中被所述电子照射。

12.如权利要求1所述的平面型图像显示装置的制造方法，其特征在于，对所述基板及所述面板在同一处理容器内进行所述电子照射。

13.一种平面型图像显示装置的制造设备，所述平面型图像显示装置是将具有电子发射元件的基板与具有荧光屏的面板进行封接使在所述电子发射元件与所述荧光屏之间保持间隙相对配置而成，其特征在于，所述平面型图像显示装置的制造设备具有：

装有所述基板及所述面板的至少一方的处理容器、

将所述基板及所述面板的至少一方送入所述处理容器内或从中取出的输送手段、

使所述处理容器内达到真空气氛的真空排气手段、

在装在所述处理容器内的所述基板及所述面板的至少一方照明电子束的电子束照射手段、

以及将至少一方照射了所述电子束的所述基板及所述面板一面保持间隙一面封接的封接手段。

14.如权利要求13所述的平面型图像显示装置的制造设备，其特征在于，还具有对装在所述处理容器内的所述基板及所述面板的至少一方进行加热的手段。