[实用新型]彩色显象管荫罩印相用原版无效
| 申请号: | 00259192.8 | 申请日: | 2000-11-16 |
| 公开(公告)号: | CN2454898Y | 公开(公告)日: | 2001-10-17 |
| 发明(设计)人: | 陈颖明;方轶桦 | 申请(专利权)人: | 上海新芝电子有限公司 |
| 主分类号: | H01J9/14 | 分类号: | H01J9/14 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 沈昭坤 |
| 地址: | 20023*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 彩色 显象管 荫罩印相用 原版 | ||
本实用新型涉及彩色显像管荫罩印相用原版,特别是涉及73厘米彩色显像管荫罩印相用原版。
彩色显像管荫罩是彩色显像管的选色元件,也是决定彩色显像管分辨率的主要部件。其制造方法是光刻方法。即在荫罩基板的两面涂敷感光胶,并把一对已形成与要形成的荫罩槽孔相对应的图形的印相用原版与其两面密合在一起然后印相,显影,从而形成与原版图形相对应的保护图形。最后通过从两面对已形成保护图形的荫罩基板进行腐蚀而制成荫罩。
荫罩印相用原版上与荫罩槽孔对应的图形为一矩形点阵(如图1所示)。使用于荫罩两面的印相用原版各一块,其各点尺寸各不相同。点阵的排列与荫罩槽孔的排列相同。各点的尺寸不仅与荫罩的规格有关,而且直接影响荫罩的质量和制造合格率。
现有的73厘米彩色显像管荫罩通常中心部水平节距PH为0.75mm,荫罩中心部孔径DY为0.19mm。而改进的73厘米彩色显像管荫罩为了提高显像分辨率,将中心部水平节距PH改为0.65mm,中心部孔径DY改为0.167mm,即减小了槽孔的水平节距和大小,从而增加了槽孔密度。
通常槽孔密度越大,荫罩越容易产生不均匀现象,导致彩色显像管的均匀性及对比度下降。
本实用新型的目的是提出一种荫罩印相用原版,使得在荫罩的槽孔密度增加的情况下,保持原有的73厘米彩色显像管荫罩的质量和制造合格率。
为了实现上述目的,本实用新型采用的印相用原版,包含小孔侧版和大孔侧版,小孔侧版中心点宽度D为65~70微米,最佳值为67微米,四角点宽度D为95~100微米,最佳值为97微米,大孔侧版中心点宽度D’为310~340微米,最佳值为325微米,四角点宽度D’为430~470微米,最佳值为455微米,大孔侧版相对于小孔侧版在荫罩短边方向上偏移量为45~55微米,最佳值为50微米。
采用本实用新型的荫罩印相用原版,能够提高73厘米彩色显像管荫罩的分辨率,并且把73厘米荫罩的的质量和制造合格率保持在已有的彩色显像管的水平上。
图1是荫罩印相用原版的矩形点阵的示意图。
图2是荫罩槽孔结构示意图。
图3(a)和图3(b)是荫罩槽孔反射电子束的示意图,图3(b)是图2所示的荫罩槽孔L-L剖面的剖面图。
图4是荫罩印相用原版的点阵的局部放大图。
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式加以说明。
实施例1
如图3所示,当电子束扫描到槽孔壁时,电子束发生反射和散射,从而造成对比度的下降。尤其是在荫罩厚度不变而槽孔变小的情况下,这种现象更加严重。一般情况下,如图3(b)所示,使荫罩印相原版的大孔侧版相对于小孔侧版有一定的偏移量,以使制造的荫罩槽孔背离荫罩中心的斜坡宽度T1>荫罩中心方向的斜坡宽度T2,能够减少电子束的反射和散射,但是偏移量取得过大会增加制造难度。
本实用新型的印相用原版,包含小孔侧版和大孔侧版,印相用原版的中心部分和周边部分各点的尺寸取不同值。小孔侧版中心点宽度D为65~70微米,四角点宽度D为95~100微米,大孔侧版中心点宽度D’为310~340微米,四角点宽度D’为430~470微米,大孔侧版相对于小孔侧版在荫罩短边方向上的偏移量C为45~55微米。
实施例2
本实用新型的印相用原版,小孔侧版中心点宽度D取67微米,四角点宽度D取97微米,大孔侧版中心点宽度D’取325微米,四角点宽度D’取455微米,大孔侧版相对于小孔侧版在荫罩短边方向上的偏移量C取50微米能够得到更好的效果。
使用本实用新型的荫罩印相用原版制造的荫罩用于73厘米彩色显像管,能够得到高分辨率的73厘米彩色显像管。
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