[发明专利]二极管结构场发射平板显示器及其制造方法

权利要求书

1、一种二极管结构场发射平板显示器，主要由阳极板，阴极板和绝缘隔离片组成，其特征在于：阳极板由玻璃基片和沉积在其上的镀有荧光粉的ITO条状电极构成；阴极板由在陶瓷衬底上镀有碳基薄膜的阴极片和镀有金属导电引线的玻璃基片构成；阴极板与阳极板由绝缘隔离片分隔开，并由密封玻璃进行真空密封；阳极板与阳极板之间的空间通过排气通道与排气玻璃管相沟通，从而实现阴阳极板之间的真空环境。

2、依照权利要求1所述的二极管结构场发射平板显示器，其特征在于阴极片与镀有金属导电引线的玻璃基片是相互独立的，其间采用直接接触式导电连接方式连接为一体。

3、依照权利要求1所述的二极管结构场发射平板显示器，其特征在于碳基薄膜是金刚石膜或类金刚石膜或类石墨薄膜或纳米金刚石膜或纳米碳管。

4、依照权利要求1所述的二极管结构场发射平板显示器，其特征在于绝缘片为云母单晶片。

5、制造权利要求1所述二极管结构场发射平板显示器的方法，其特征在于：

a．在玻璃基片上利用电子束真空蒸发方法及激光图形方法沉积一层条状ITO透明导电薄膜，再在ITO透明导电薄膜上用电泳法或脉冲激光沉积法制备一层荧光薄膜，即制成条状阳极板；

b．在陶瓷衬底上利用磁控溅射或真空蒸发方法整体镀上一层金属钼，而后用等离子体化学气相沉积法及激光图形方法在金属钼上沉积条状碳基碳膜，制成阴极片；；

c．在玻璃基片上采用磁控溅射方法及激光图形方法镀上金属导线，然后将上述制得的阴极片放在该玻璃基片上实现条状阴极与金属导线的电连接，即制成条状阴极板；

d．将条状阳极板和条状阴极板上下正交放置，其间用绝缘片隔离分隔开，然后进行玻璃密封，即制得二极管结构场发射平板显示器。