[发明专利]真空阀

权利要求书

1、一种真空阀，其特征在于：具有可接触脱离地配置在真空容器(21)内的一对风车形电极(1a、1b)，在上述风车形电极上从中心部至周缘部形成有多个螺旋状槽(2)，在上述风车形电极的中心部具有由上述槽(2)划分的多个风车部(4)，在上述风车形电极的周缘部具有由上述槽(2)分割的、比上述风车部厚度厚的多个接触部(3)，在上述一对风车形电极接通时，上述接触部互相接触，在上述一对风车形电极被断开时，在经由上述风车部流入在上述接触部产生的电弧的电流所产生的、作为对电弧的驱动力起作用的磁通密度中，经由一个电极的风车部流入电弧的电流发生的、在相对于距电弧足部的自电极接触面起0.5mm范围内作为对电弧驱动力作用的平行于磁通密度的上述接触面的分量，在上述接触面的任意位置上相对于每1KA电流为0.01泰斯拉。

2、如权利要求1所记载的真空阀，其特征在于：在风车形电极(1a、1b)的外径为D、接触部的内径为Di的场合，Di≥0.4D。

3、如权利要求1所记载的真空阀，其特征在于：风车部(4)和接触部(3)的厚度差(h)为5mm以下。

4、如权利要求1～3中任一个所记载的真空阀，其特征在于：在各风车形电极被接合在一对电极棒(6)上、该电极棒的接合部(7)的直径为d、接触部的内径为Di的情况下，d≤0.6Di。

5、如权利要求1～4中任一个所记载的真空阀，其特征在于：由含Cr重量％为20～60的Cu-Cr系材料形成上述风车形电极。