[发明专利]用于加工陶瓷胎片的方法和装置

权利要求书

1.一种用于在陶瓷胎片上形成多个馈通孔的陶瓷胎片加工方法，该方法包括如下步骤：

使一个从一激光源发出的激光束通过一衍射光栅而分裂成多个激光束；以及

使分裂成多个激光束的激光束照射到所述陶瓷胎片上，藉以在所述陶瓷胎片的一个所需区域内同时形成多个馈通孔。

2.如权利要求1所述的陶瓷胎片加工方法，其特征在于，在对所述陶瓷胎片进行激光照射的同时，可允许陶瓷胎片移动。

3.如权利要求1所述的陶瓷胎片加工方法，其特征在于，在对所述陶瓷胎片进行激光照射的同时，可允许陶瓷胎片间歇地移动。

4.如权利要求1所述的陶瓷胎片加工方法，其特征在于，从所述激光源发出的激光束是一脉冲激光束。

5.一种用于在陶瓷胎片上形成多个馈通孔的陶瓷胎片加工方法，包括如下步骤：

设置一个用于发出脉冲激光束的激光源、一个用于将所述激光束分裂成多个激光束的衍射光栅、一个可允许所述激光束以预定反射角反射的电流计式扫描镜、一个用于对电流计式扫描镜反射而来的各激光束分别进行会聚的会聚透镜、以及布置在一预定位置上的陶瓷胎片；

使一个从所述激光源发出的激光束通过所述衍射光栅；

使所述激光束分裂成多个激光束；

使分裂的脉冲激光束借助电流计式扫描镜的反射而照射到所述陶瓷胎片上，从而在所述陶瓷胎片的一个所需区域内同时形成多个馈通孔；以及

通过改变电流计式扫描镜的反射角而用激光束对陶瓷胎片反复地进行照射，从而在所述陶瓷胎片的另一个所需区域内形成多个馈通孔。

6.一种用于在陶瓷胎片上形成多个馈通孔的陶瓷胎片加工方法，包括如下步骤：

设置一个用于发出脉冲激光束的激光源、一个可允许所述激光束以预定反射角反射的电流计式扫描镜、一个用于将所述激光束分裂成多个激光束的衍射光栅、一个用于对分裂成多个激光束的激光束分别进行会聚的会聚透镜、以及布置在一预定位置上的陶瓷胎片；

从所述激光源发出所述脉冲激光束；

借助所述电流计式扫描镜对所述激光束进行反射；

允许由电流计式扫描镜反射而来的激光束通过所述衍射光栅，从而将所述激光束分裂成多个激光束；

使分裂的脉冲激光束照射到所述陶瓷胎片上，从而在所述陶瓷胎片的一个所需区域内同时形成多个馈通孔；以及

通过改变电流计式扫描镜的反射角而用激光束对陶瓷胎片反复地进行照射，从而在所述陶瓷胎片的另一个所需区域内形成多个馈通孔。

7.如权利要求5所述的陶瓷胎片加工方法，其特征在于，在对所述陶瓷胎片进行激光照射的同时，允许所述陶瓷胎片移动。

8.如权利要求1所述的陶瓷胎片加工方法，其特征在于，所述衍射光栅是用一种对所述激光束有高透射率的材料制成的。

9.如权利要求1所述的陶瓷胎片加工方法，其特征在于，从所述激光源发出的激光是CO₂激光。

10.如权利要求1所述的陶瓷胎片加工方法，其特征在于，对所述陶瓷胎片设置有一载膜，用以支承所述陶瓷胎片的一个面。

11.一种用于加工陶瓷胎片的装置，包括：

一用于支承所述陶瓷胎片的支承件；

一用于使所述陶瓷胎片沿一预定方向移动的移动件；

一激光源；

一衍射光栅，用于让所述激光源发出的激光束通过，从而使该激光束分裂成多个激光束；以及

一会聚透镜，用于在所述激光束通过所述衍射光栅而变成多个激光束之后分别对各激光束进行会聚，以将激光束照射到由所述支承件支承的陶瓷胎片上。