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主分类

分类号	描述

H	电学

H01	基本电气元件		查看

H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件		查看

H01L21-00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备		查看

H01L21-02	.半导体器件或其部件的制造或处理		查看

H01L21-04	..至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层		查看

H01L21-18	...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料		查看

	H01L21-20	....半导体材料在基片上的沉积，例如外延生长	查看

	H01L21-22	....杂质材料的扩散，例如在半导体或半导体的交界区掺入或析出掺杂材料，电极材料；杂质材料的再分配，例如，不引入或去除过多的掺杂剂	查看

	H01L21-24	....杂质材料	查看

	H01L21-26	....用波或粒子辐射轰击的	查看

	H01L21-28	....用H01L 21/20至H01L 21/268各组不包含的方法或设备在半导体材料上制造电极的	查看

	H01L21-30	....用H01L 21/20至H01L 21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的	查看

	H01L21-328	....制造双极型器件，例如二极管、晶体管、晶闸管的台阶式工艺	查看

	H01L21-334	....制造单极型器件的台阶式工艺	查看

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周一至周五 9:00-18:00

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