专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]金属形成装置和金属形成方法-CN201510982989.5有效
  • 平冈基记;柳本博;佐藤祐规 - 丰田自动车株式会社
  • 2015-12-24 - 2018-10-02 - C25D5/02
  • 本发明涉及金属形成装置和金属形成方法。一种金属形成装置包括:阳极;树脂基板,其表面上形成有用作阴极的导体图案层;固体电解质膜,其包含金属离子并且位于阳极与所述树脂基板之间,所述固体电解质膜在金属形成时接触所述导体图案层的表面;电源;以及导电部件,其被设置为在所述金属形成时接触所述导体图案层,以使得所述电源的负电极被电连接到所述导体图案层,所述导电部件为可从所述导体图案层拆卸的,其中,当施加电压时,所述金属离子被还原而在所述导体图案层的所述表面上沉积形成所述金属膜的金属
  • 金属膜形成装置方法
  • [发明专利]金属图案形成用转印膜及金属图案形成方法-CN200810172562.9无效
  • 桑田博昭;山下隆德;井上靖健;川岸诚治 - JSR株式会社
  • 2008-10-28 - 2009-05-06 - H01J9/02
  • 本发明提供一种金属图案形成用转印膜,该金属图案形成用转印膜是在支持膜上按抗蚀剂层、厚为1~20μm的金属层以及玻璃浆料层的顺序层叠而成的,且所述玻璃浆料层含有玻璃粉末和粘结树脂,该粘结树脂来自具有亲水性基团的单体的构成成分为5质量%以下;本发明还提供形成这些层而进行的金属图案形成方法。根据本发明的金属图案形成用转印膜和金属图案形成方法,可以制造电阻低的电极,进而在显影工序中,能够维持FPD部件的透明性,能够阻止金属箔从玻璃浆料层剥离,此外在蚀刻工序中,能够防止抗蚀剂层从金属箔脱离。
  • 金属图案形成用转印膜方法
  • [发明专利]金属栅极形成方法-CN201510374270.3在审
  • 雷通 - 上海华力微电子有限公司
  • 2015-06-30 - 2015-11-11 - H01L21/8238
  • 本发明提供了一种金属栅极形成方法,包括:在衬底中形成金属栅极沟槽,并且在金属栅极沟槽的底部和侧壁上依次形成高介电常数层和氮化钛层;沉积氧化硅层,使得所述氧化硅层覆盖衬底表面以及金属栅极沟槽内的所述氮化钛层;对氧化硅层进行回刻,从而去除衬底表面以及金属栅极沟槽侧壁上的氧化硅层部分,保留金属栅极沟槽底部的底部氧化硅部分;湿法刻蚀去除暴露出来的氮化钛层部分,保留底部氧化硅部分覆盖的氮化钛部分;湿法刻蚀去除暴露出来的高介电常数层,并且完全去除底部氧化硅部分;在金属栅极沟槽中沉积功函数金属层;在金属栅极沟槽中填充栅极金属
  • 金属栅极形成方法
  • [发明专利]金属形成方法-CN201610795162.8在审
  • 刘英明;鲍宇;周海锋;方精训 - 上海华力微电子有限公司
  • 2016-08-31 - 2017-01-11 - H01L21/28
  • 一种金属形成方法,包括:在衬底上形成层间介质层图案,其中在层间介质层图案所形成的凹槽中填充有伪栅极多晶硅,在层间介质层图案与衬底之间形成有隔离层,在层间介质层图案与伪栅极多晶硅之间形成有隔离层和氮化硅层和PMOS的伪栅极多晶硅,随后去除第一光刻胶图案;在晶圆表面依次沉积叠层和TiAl功函数层;涂覆第二光刻胶图案,并利用第二光刻胶图案对PMOS区域进行氮离子注入,从而使得PMOS区域的TiAl功函数层形成为掺杂的TiAl功函数层,随后去除第二光刻胶图案;在晶圆表面沉积阻挡层;在阻挡层上沉积金属电极层,其中,金属电极层完全填充凹槽;执行平坦化处理,以露出层间介质层图案。
  • 金属形成方法
  • [发明专利]金属皮膜形成方法-CN202180074951.1在审
  • 深泽宪正;富士川亘;白发润 - DIC株式会社
  • 2021-10-21 - 2023-07-14 - C25D5/56
  • 本发明提供一种印刷配线板的制造方法,其无需利用铬酸、高锰酸进行的表面粗糙化、利用碱进行的表面改质层形成等,不使用真空装置,该印刷配线板具有基材与导体电路的高密合性、底切少、且可获得作为电路配线具有良好的矩形的截面形状的配线发现通过在臭氧气氛下处理的绝缘性基材(A)上形成含有由高分子分散剂被覆的金属粒子的镀覆晶种层(M1)而进行镀覆处理,能够在基材上形成密合性优异的金属镀膜而无需在基材表面形成金属渗透层,从而完成了本发明。另外,本发明人等发现,即使在臭氧气氛下处理的绝缘性基材(A)上形成底漆层(B)的情况下,也能够在基材上形成密合性优异的金属镀膜,从而完成了本发明。
  • 金属皮膜形成方法
  • [发明专利]金属层的形成工艺-CN201410602693.1有效
  • 义夫 - 丽晶美能(北京)电子技术有限公司
  • 2014-10-31 - 2015-01-14 - H01L21/02
  • 本发明提供了一种金属层的形成工艺。该形成工艺包括:步骤S1,在温度T1范围内,在基体表面进行溅射,形成厚度为30nm~100nm的第一金属层,温度T1在400~450摄氏度之间;步骤S2,将具有第一金属层的基体在温度T1下保持100s~300s对第一金属层进行退火;以及步骤S3,在温度T3范围内,在第一金属层的表面进行溅射,形成厚度A为0.1μm~10μm的第二金属层,其中温度T1大于温度T3。该金属层的形成工艺克服了传统溅射方法在金属表面形成凸起物的问题,能够形成光滑的金属表面,进而保证了良好的器件性能。
  • 金属形成工艺
  • [发明专利]金属栅极形成方法-CN200810113991.9有效
  • 郑春生;杨瑞鹏 - 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
  • 2008-05-30 - 2009-12-02 - H01L21/28
  • 一种金属栅极形成方法,包括:在基底上形成栅介质层;在所述栅介质层上形成图形化的非晶碳层;形成环绕所述图形化的非晶碳层的侧墙;形成覆盖所述图形化的非晶碳层及侧墙的层间介质层;平坦化所述层间介质层并暴露所述图形化的非晶碳层;采用氧气灰化工艺去除所述图形化的非晶碳层,在所述层间介质层内形成沟槽;形成填充所述沟槽且覆盖所述层间介质层的金属层。本发明还提供了一种金属栅极形成方法。均可减少承载所述金属栅极的基底表面损伤。
  • 金属栅极形成方法

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