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- [发明专利]片材粘附装置及粘附方法-CN201610545837.3有效
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坂本和纪
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琳得科株式会社
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2016-07-12
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2021-02-09
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H01L21/50
- 片材粘附装置(10)具有：保持被粘接体(WF)的第一保持单元(20)、使粘接片(AS)的一面(AS1)与被第一保持单元(20)保持的被粘接体(WF)相对而保持该粘接片(AS)的外缘部的第二保持单元(30)、供给流体的流体供给单元(40)、将由第二保持单元(30)保持的粘接片(AS)按压在由第一保持单元(20)保持的被粘接体(WF)上并粘附的按压单元(50)，第二保持单元(30)可形成包含粘接片(AS)在内而将第一保持单元(20)包围的闭塞空间(SP)，流体供给单元(40)向闭塞空间(SP)供给流体，使粘接片(AS)向离开被粘接体(WF)的方向变形，按压单元(50)将变形后的粘接片(AS)向被粘接体(WF)按压并粘附
- 粘附装置方法
- [发明专利]片材粘附装置及粘附方法-CN201710383516.2有效
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高野健
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琳得科株式会社
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2017-05-26
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2022-10-21
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H01L21/683
- 片材粘附装置(10)具有：支承被粘接体(WF)的支承装置(20)；将粘接片(AS)按压并粘附在由支承装置(20)支承的被粘接体(WF)上的按压装置(40)；以粘接片部分残留在被粘接体(WF)上的方式将粘附在该被粘接体(WF)上的粘接片(AS)切断成规定形状的切断装置(50)；将粘接片(AS)中的粘接片部分以外的多余片(US)回收的回收装置(60)，支承装置(20)设置为，在回收装置(60)对多余片(US)的回收中，
- 粘附装置方法
- [发明专利]片材粘附装置及粘附方法-CN201180041306.6有效
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高野健
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琳得科株式会社
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2011-07-28
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2013-05-01
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H01L21/683
- 一种片材粘附装置及粘附方法。将粘接片（MS）粘贴在被粘物（W）上的片材粘附装置（1）具备：对与被粘物（W）相对配置的粘接片（MS）进行支承的片材支承装置（6、7）；将被粘物（W）和与该被粘物（W）相对配置的粘接片（MS）保持在减压环境中的减压装置（3）；在减压环境下使粘接片（MS）接近被粘物（W）并进行粘附的粘附装置（8A、8B），并且具有在将粘接片（MS）粘附于被粘物（W）后将存在于被粘物（W）与粘接片（MS）之间的空隙除去的空隙去除装置（4
- 粘附装置方法
- [实用新型]一种粘附卡盘保护膜-CN202123391191.3有效
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曹铉根;马彪
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南京华易泰电子科技有限公司
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2021-12-29
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2022-09-30
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种粘附卡盘保护膜，包括覆盖膜本体、粘附片和卡盘平台，所述粘附片安装于卡盘平台的顶部，所述覆盖膜本体安装于粘附片的顶部，所述覆盖膜本体的中间位置处设置有与粘附片相匹配的无粘附区，所述覆盖膜本体的两端皆设置有粘附部本实用新型通过安装有粘附片、粘附部和卡盘平台，使得保护膜结构优化了自身的结构，使用时，通过在覆盖膜本体上设置有与卡盘平台粘接固定的粘附部，以及与粘附片无粘接触的无粘附区，使得覆盖膜本体自身也实现了双重复合结构，利用覆盖膜本体上粘性区和不粘区构成的复合结构，可以防止在拆下覆盖膜本体时因无粘着而使粘附片一起剥离，避免粘附片脱离卡盘平台。
- 一种粘附卡盘保护膜
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