“等离子体稳定性”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果7497436个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]等离子体放电稳定性控制方法、系统、计算机设备及介质-CN202310522382.3在审
发明人：李晓彤;孙勇;何振锋;王一凡;邬锦波;陈美福;苟立峰 -专利权人：中国长江三峡集团有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体放电稳定性控制方法、系统、计算机设备及介质。其中，等离子体放电稳定性控制方法，包括：获取等离子体在各放电周期的放电电流峰值；根据各放电电流峰值，计算放电电流峰值之间的差值阈值以及各放电电流峰值之间的差值；根据放电电流峰值之间的差值阈值以及各放电电流峰值之间的差值，判断等离子体的状态；根据等离子体的状态，调节等离子体的外施电源调控参数。通过本发明，监控等离子体放电稳定性，使等离子体处于稳定状态。
等离子体放电稳定性控制方法系统计算机设备介质

[发明专利]用于FRC等离子体位置稳定性的系统和方法-CN202210999135.8在审
发明人： J.A.R.冈萨雷斯 -专利权人：阿尔法能源技术公司
申请日： 2016-11-13 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G21B1/05 文献下载
摘要：用于促进FRC等离子体在径向和轴向两个方向上的稳定性以及沿着FRC等离子体室的对称轴线对FRC等离子体的轴向位置控制的系统和方法。该系统和方法利用FRC的轴向不稳定均势来增强径向稳定性，同时稳定或者控制轴向不稳定性。该系统和方法通过作用在施加于与等离子体同心的一组外部线圈的电压上并且使用非线性控制技术，独立于等离子体均衡的稳定性而提供FRC等离子体轴向位置的反馈控制。
用于 frc 等离子体位置稳定性系统方法

[发明专利]用于FRC等离子体位置稳定性的系统和方法-CN201680066243.2有效
发明人： J.A.R.冈萨雷斯 -专利权人：阿尔法能源技术公司
申请日： 2016-11-13 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G21B1/05 文献下载
摘要：用于促进FRC等离子体在径向和轴向两个方向上的稳定性以及沿着FRC等离子体室的对称轴线对FRC等离子体的轴向位置控制的系统和方法。该系统和方法利用FRC的轴向不稳定均势来增强径向稳定性，同时稳定或者控制轴向不稳定性。该系统和方法通过作用在施加于与等离子体同心的一组外部线圈的电压上并且使用非线性控制技术，独立于等离子体均衡的稳定性而提供FRC等离子体轴向位置的反馈控制。
用于 frc 等离子体位置稳定性系统方法

[发明专利]频率调制射频电源以控制等离子体不稳定性的系统和方法-CN201611012030.X有效
发明人：伊斯达克·卡里姆;崎山幸则;亚思万斯·兰吉内尼;爱德华·奥古斯蒂尼克;道格拉斯·凯尔;拉梅什·钱德拉赛卡兰;阿德里安·拉瓦伊;卡尔·利泽 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及频率调制射频电源以控制等离子体不稳定性的系统和方法。将晶片定位在电极下方的晶片支撑装置上，使得在晶片和电极之间存在等离子体产生区域。将第一信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域，以在等离子体产生区域内产生等离子体。基于将第一信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域来检测等离子体内的等离子体不稳定性的形成。在检测到等离子体不稳定性形成之后，将第二信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域来代替第一信号频率的射频信号以产生等离子体。第二信号频率大于第一信号频率，并被设定为导致等离子体内的离子能量的减少以及来自晶片的由离子与晶片的相互作用导致的二次电子发射的相应减少。
频率调制射频电源控制等离子体不稳定性系统方法

[发明专利]频率调制射频电源以控制等离子体不稳定性的系统和方法-CN201910040540.5有效
发明人：伊斯达克·卡里姆;崎山幸则;亚思万斯·兰吉内尼;爱德华·奥古斯蒂尼克;道格拉斯·凯尔;拉梅什·钱德拉赛卡兰;阿德里安·拉瓦伊;卡尔·利泽 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及频率调制射频电源以控制等离子体不稳定性的系统和方法。将晶片定位在电极下方的晶片支撑装置上，使得在晶片和电极之间存在等离子体产生区域。将第一信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域，以在等离子体产生区域内产生等离子体。基于将第一信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域来检测等离子体内的等离子体不稳定性的形成。在检测到等离子体不稳定性形成之后，将第二信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域来代替第一信号频率的射频信号以产生等离子体。第二信号频率大于第一信号频率，并被设定为导致等离子体内的离子能量的减少以及来自晶片的由离子与晶片的相互作用导致的二次电子发射的相应减少。
频率调制射频电源控制等离子体不稳定性系统方法

[发明专利]通过电测量检测等离子体不稳定性的系统和方法-CN201611012304.5有效
发明人：崎山幸则;伊斯达克·卡里姆;亚思万斯·兰吉内尼;阿德里安·拉瓦伊;拉梅什·钱德拉赛卡哈伦;爱德华·奥古斯蒂尼克;道格拉斯·凯尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明涉及通过电测量检测等离子体不稳定性的系统和方法。晶片放置在电极下方的晶片支撑装置上，使得在晶片和电极之间存在等离子体产生区域。向电极供应射频功率以在等离子体处理操作的多个连续的等离子体处理循环期间在等离子体产生区域内产生等离子体。连接到电极的至少一个电传感器在多个连续的等离子体处理循环中的每一个期间测量电极上的射频参数。针对多个连续的等离子体处理循环中的每一个确定在电极上测得的射频参数的值。确定在多个连续的等离子体处理循环期间在电极上测得的射频参数的值中是否存在任何指示性趋势或变化，其中指示性趋势或变化指示在等离子体处理操作期间等离子体不稳定性的形成。
通过测量检测等离子体不稳定性系统方法

[发明专利]一种等离子体发生器-CN202010406491.5在审
发明人：赵鹏;袁帅;戴文成;孟月东;赵燕平 -专利权人：江苏豪瑞达环保实业有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种结构简单、等离子体流动性好、稳定性高的等离子体发生器，包括绝缘板和设置在绝缘板上的两个电极板，所述两电极板呈锐角设置，且两电极板夹角端之间有间隙，高速气体从该间隙馈入，两电极板之间形成放电区域，还包括对放电区域内等离子体进行冲击的补气结构。本发明的优点是：两电极板间隙最小的强电场区首先击穿产生等离子体，高速气流将等离子体推向电场逐渐减弱的区域，作为弱场区去的种子等离子体，导致弱场区放电；利用补气机构对放电区域内进行侧方位补气，增加放电区域内等离子体的侧方位速度从而提高等离子体的流动性和稳定性
一种等离子体发生器

[发明专利]低温等离子体制备热不稳定性材料负载催化剂的方法及应用-CN201110126103.9有效
发明人：刘昌俊;周游;叶静云;李英芝;于越 -专利权人：天津大学
申请日： 2011-05-13 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B01J31/28 文献下载
摘要：本发明涉及低温等离子体制备热不稳定性材料负载催化剂的方法及应用；将金属盐浸渍到热不稳定性材料上；将负载金属盐的热不稳定性材料直接装入等离子体放电器中；将等离子体放电器内部抽真空，然后通入等离子体放电气体，气体压力保持在30～200Pa，利用高压电源在电极两端施加200～5000V的直流或交流电使放电气体放电，形成的等离子体将金属盐还原或分解，还原或分解时间为5～120min，同时热不稳定性材料结构不被破坏用等离子体制备的热不稳定性材料负载催化剂具有产量大、活性组分粒度容易控制、催化活性良好等优点。避免了高温下的不良热效应和对热不稳定性材料结构的严重破坏，从而使活性组分颗粒细小且均匀分布，纯度高，分散性好。
低温等离子体制备不稳定性材料负载催化剂方法应用

[发明专利]一种低温等离子体装置-CN200910013250.8有效
发明人：杨永进;张劲松;孙家言;孙博 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2009-08-19 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体技术以及化工合成领域，具体为一种适合碳氢化合物高温热裂解以及利用碳氢化合物高温气体进行化工合成的低温等离子体装置。该装置将行波态微波波导/同轴转换结构与直流高压等离子体放电结构实现有机的结合，直流等离子体的悬浮阴极同时也构成了波导同轴转换的内导体，直流等离子体的接地空心阳极作为波导同轴转换的外导体，通过这一复合结构将微波高效率地作用在直流等离子体上，使常规的柱状等离子体变成丝状等离子体。利用这种复合结构所构成的等离子体装置具有电极寿命长、能量利用率高、工作稳定性高、适用范围广的特点，可以解决现有技术中存在的能量利用率低、电极烧蚀严重或者稳定性差等问题。
一种低温等离子体装置

[发明专利]一种放电方法-CN200910302616.3无效
发明人：牟宗信;刘升光;贾莉;牟晓东;张鹏云;郝胜智;李国卿;董闯 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2009-05-26 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：其特征是通过调整放电条件与在放电中形成的电极鞘层不稳定性或等离子体磁流体不稳定性之间构成匹配，形成稳定的工作方式或者实现等离子体的驻波共振工作模式；这种不稳定性是放电等离子体内在属性或是通过外加激励。
一种放电方法

[发明专利]一种提高电弧等离子体发生器运行稳定性和寿命的方法和装置-CN201511017423.5在审
发明人：潘文霞;吴承康;孟显 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高电弧等离子体发生器运行稳定性和寿命的方法和装置，该电弧等离子体发生器装置主要包括阴极、阳极、绝缘件和外套管。通过对电弧等离子体发生器电极表面进行特殊的镀膜处理，在电极表面制备高反应活性材料分散嵌入的复合材料涂层，促成电弧弧根的扩散型贴附，从而降低电弧等离子体发生器的电极烧蚀，提高运行稳定性和寿命。
一种提高电弧等离子体发生器运行稳定性寿命方法装置

[实用新型]一种等离子体发生器-CN202020796401.3有效
发明人：赵鹏;袁帅;戴文成;孟月东;赵燕平 -专利权人：江苏豪瑞达环保实业有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种结构简单、等离子体流动性好、稳定性高的等离子体发生器，包括绝缘板和设置在绝缘板上的两个电极板，所述两电极板呈锐角设置，且两电极板夹角端之间有间隙，高速气体从该间隙馈入，两电极板之间形成放电区域，还包括对放电区域内等离子体进行冲击的补气结构。本实用新型的优点是：两电极板间隙最小的强电场区首先击穿产生等离子体，高速气流将等离子体推向电场逐渐减弱的区域，作为弱场区去的种子等离子体，导致弱场区放电；利用补气机构对放电区域内进行侧方位补气，增加放电区域内等离子体的侧方位速度从而提高等离子体的流动性和稳定性
一种等离子体发生器

[发明专利]一种电路工艺中的等离子体技术-CN201110132633.4无效
发明人：张灵芝 -专利权人：张灵芝
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种电路工艺中的等离子体技术。其主要内容为低温放电等离子体理论、等离子体的整体均匀性及稳定性的理论研究及模拟计算、带电粒子在鞘层中的输运性质及等离子体加工工艺的过程控制。
一种电路工艺中的等离子体技术

[发明专利]一种改善反应过程中反射功率稳定性的等离子体发生装置-CN202010538982.5在审
发明人：张亚梅;姜崴;苏欣;蔡新晨 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2020-06-13 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C23C16/509 文献下载
摘要：本发明属于半导体薄膜沉积技术领域，具体提供了一种改善反应过程中反射功率稳定性的等离子体发生装置，通过优化挡板结构来确保了等离子体发生装置的上极板喷淋头、挡板和腔体上板之间的等势体；该发明还通过优化等离子体发生装置下极板加热盘上的晶圆支撑装置的材质通过优化上下极板相应的结构或材质，从而确保了两极板之间等离子体稳定性，进而确保了薄膜沉积过程中腔体反射功率的稳定性，有效提高了工艺稳定性。
一种改善反应过程反射功率稳定性等离子体发生装置

[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积设备及其制备方法-CN202010286797.1在审
发明人：范杰;黄翀 -专利权人：长沙新材料产业研究院有限公司
申请日： 2020-04-09 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及微波等离子体化学气相沉积领域，通过改善微波等离子体化学气相沉积设备设计，改良微波天线的设计，可以有效提升微波等离子体化学气相沉积设备的长期使用的稳定性，减少了在生产过程中的不稳定性，有利于提高产品质量特别是对于在生产过程中对于温度稳定性要求高的产品，如金刚石，该设备能有效提高产品的品质，提升其经济价值。
一种微波等离子体化学沉积设备及其制备方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条