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[发明专利]偏振分辨的表面等离激元共振光学测量系统-CN201911086455.9有效
发明人：王纪永;仇旻;张磊 -专利权人：西湖大学
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明涉及一种偏振分辨的表面等离激元谐振光学测量系统，包括有载物台、被测等离激元纳米结构、测谱主光路和成像光路。在实际应用中，仅需对测谱主光路焦点处于被测等离激元纳米结构区域内和区域外的透射光信号分别进行收集，即可快速获取等离激元纳米结构所对应的表面等离激元谐振的波峰位置和半高全宽，大大降低了表征偏振分辨的表面等离激元谐振光学性质的工作量和成本，为等离激元纳米结构的设计和应用提供了有效依据。
偏振分辨表面离激元共振光学测量系统

[发明专利]一种可寻址的表面等离激元闭环控制调制系统和方法-CN202210087303.6在审
发明人：李若舟;季俊辉;吴哲元;严静;杨铭清;屈科 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种可寻址的表面等离激元闭环控制调制系统，包括主控模块，主控模块的控制输出端分别与表面等离激元寻址模块、激光光源模块、偏振控制模块、光寻址模块连接，信号接收端与图像处理模块连接，表面等离激元寻址模块与表面等离激元调制模块连接，激光光源模块与偏振控制模块连接，偏振控制模块与光寻址模块连接，光寻址模块与表面等离激元调制模块连接，表面等离激元调制模块与图像采集模块连接，图像采集模块与图像处理模块连接。本发明能够获取基于表面等离激元调制模块调制输出的控制反馈信号，通过一次或者多次的闭环循环控制，实现表面等离激元调制模块调制效果的精准控制。
一种寻址表面离激元闭环控制调制系统方法

[发明专利]不可见光波段表面等离激元共振的测谱和成像光学系统-CN201911087547.9有效
发明人：王纪永;仇旻 -专利权人：西湖大学
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明涉及一种不可见光波段表面等离激元谐振的测谱和成像光学系统，包括有激光器、载物台、被测等离激元纳米结构、测谱主光路、成像光路和照明光路，在实际应用中，仅需测出测谱主光路焦点在被测等离激元纳米结构区域内和区域外的透射光信号，即可快速获取纳米结构所对应的表面等离激元谐振的波峰位置和半高全宽，大大简化了表征表面等离激元谐振光学性质的工作量，为等离激元纳米结构的设计和应用提供了有效依据。
可见光波段表面离激元共振成像光学系统

[发明专利]一种表面等离激元光镊装置-CN201810039011.9在审
发明人：袁小聪;张聿全;曹立伟;闵长俊;步敬 -专利权人：深圳大学
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明适用于近场光学技术领域，提供表面等离激元光镊装置，包括激发光单元、表面等离激元激发单元和扫描控制及监测单元，表面等离激元激发单元包括镀有金属膜的玻片，待进行动态操控和定向旋转的微纳结构溶液置于玻片的表面；激发光单元用于产生涡旋光束，并将涡旋光束入射至表面等离激元激发单元；表面等离激元激发单元用于利用涡旋光束分别在金属膜和微纳结构溶液的水界面上激发会聚的表面等离激元涡旋光场，通过表面等离激元涡旋光场对微纳结构溶液中的微纳结构进行动态操控和定向旋转本发明实施例能够实现微纳结构在表面等离激元涡旋光场中定点的稳定捕获和动态操纵。
表面等离激元微纳结构涡旋激发单元定向旋转操控光场激发光单元光镊装置监测单元扫描控制金属膜玻片近场光学技术光束入射实时监测捕获会聚激发

[发明专利]等离激元光镊基底以及制备方法-CN202310212659.2在审
发明人：黄若杨;毛海央;周娜 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光镊基底，尤其是一种等离激元光镊基底以及制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述等离激元光镊基底，包括等离激元单元以及用于对所述等离激元单元局部区域温控的温度控制单元，其中，等离激元单元与温度控制单元基于MEMS工艺制备集成，对等离激元单元内的光斑照射区域，配置温度控制单元对所述光斑照射区域进行温控，以在等离激元单元述光斑照射区域与所述光斑照射区域的周围环境产生温度梯度。本发明基于珀耳帖效应的温度控制，大幅度提升光镊的捕获效率并能有效控制热泳运动，同时能适用于微米级以上物质的捕获，与现有MEMS工艺兼容。
离激元光镊基底以及制备方法

[实用新型]一种表面等离激元光镊装置-CN201820071433.X有效
发明人：曹立伟;张聿全;闵长俊;步敬;袁小聪 -专利权人：深圳大学
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本实用新型适用于近场光学技术领域，提供表面等离激元光镊装置，包括激发光单元、表面等离激元激发单元和扫描控制及监测单元，表面等离激元激发单元包括镀有金属膜的玻片，待进行动态操控和定向旋转的微纳结构溶液置于玻片的表面；激发光单元用于产生涡旋光束并入射至表面等离激元激发单元；表面等离激元激发单元用于利用涡旋光束分别在金属膜和微纳结构溶液的水界面上激发会聚的表面等离激元涡旋光场，通过表面等离激元涡旋光场对微纳结构溶液中的微纳结构进行动态操控和定向旋转本实用新型实施例能够实现微纳结构在表面等离激元涡旋光场中定点的稳定捕获和动态操纵。
表面等离激元微纳结构涡旋激发单元定向旋转操控光场本实用新型激发光单元光镊装置监测单元扫描控制金属膜玻片近场光学技术实时监测捕获会聚激发

[实用新型]一种表面等离激元光镊装置-CN201822078616.7有效
发明人：付孔文;汪先友;余家豪;张聿全;闵长俊;袁小聪 -专利权人：深圳大学
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种表面等离激元光镊装置。该装置包括激发光单元、表面等离激元激发单元、照射扫描单元和计算机，激发光单元产生完美径向偏振光束并射入表面等离激元激发单元中，表面等离激元激发单元包括镀有金属膜的玻片，玻片的表面设置带有金属颗粒的样品溶液，完美径向偏振光束在玻片的金属膜和样品溶液的水界面之间激发会聚的表面等离激元光场，照射扫描单元产生照明光束并照射玻片，对玻片上的样品溶液进行扫描，计算机分别与表面等离激元激发单元和照射扫描单元连接，计算机对扫描结果进行成像显示，并控制表面等离激元激发单元利用表面等离激元光场对金属颗粒进行动态操作。
表面等离激元激发单元玻片扫描单元样品溶液照射径向偏振光束激发光单元光镊装置金属颗粒金属膜光场计算机本实用新型表面设置成像显示等离激元动态操作颗粒捕获控制表面扫描结果照明光束水界面射入会聚扫描激发

[实用新型]一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器-CN201620880517.9有效
发明人：王萍;郎佩琳;段高燕;解廷月 -专利权人：山西大同大学
申请日： 2016-08-16 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器。该传感器由“∏”字型表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成。入射激光在波导中激发表面等离激元，当入射光的波长与“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长匹配时，可以将表面等离激元的能量耦合进入“∏”字型表面等离激元共振腔。通过测量表面等离激元波导的光强就可以测量出“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长。由于“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长会在外加压力下改变，因此可以测量出外加的压力。由于表面等离激元的波长远远小于光波，所以“∏”字型表面等离激元共振腔的尺寸可以做到1μm以下。
一种基于表面离激元共振纳米光学压力传感器

[发明专利]基于表面等离激元透镜的光镊装置-CN202210349997.6在审
发明人：刘爱萍;洪晶晶;王琴;周兴平 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于表面等离激元透镜的光镊装置，所述光镊装置包括基底、金属层、光栅以及设于所述光栅上方的半椭圆柱透镜；所述光栅刻蚀在所述金属层上；当入射光从所述基底垂直入射到光栅时，金属层和半椭圆柱透镜之间激发形成表面等离激元；一对反向传播的所述表面等离激元形成干涉条纹，以在带有所述表面等离激元的半椭圆柱透镜中央形成表面等离激元增强点。本发明基于表面等离激元透镜的光镊装置实现了对光能量在亚波长范围的限制，且能在提高局部电场强度捕获粒子的同时用更高的空间精确度对粒子进行操控。
基于表面离激元透镜装置

[发明专利]一种近场光学增强型可见光探测器-CN200510093368.8无效
发明人：康亭亭;刘祥林 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2005-08-26 - 公布日： 2007-02-28 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本发明涉及光探测器技术领域，特别是一种近场光学增强型可见光探测器的器件结构。利用表面等离激元的近场光场增强效应，即表面等离激元，表面等离激元将光场限制在一个小的区域内，表面等离激元是光场在导体表面与载流子相互耦合形成的振荡波，来提高光吸收效率。本发明中表面等离激元的激发、耦合是通过具有周期性结构的金属薄膜来实现的，同时该金属薄膜又具有肖特基接触的功能。
一种近场光学增强可见光探测器

[发明专利]基于机械拉曼散射效应的光谱测量方法-CN202310208971.4在审
发明人：徐伟高;房素素 -专利权人：南京大学
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于机械拉曼散射效应的光谱测量方法，所述方法包括：将等离激元金属耦合于待测样品的表面，以使待测振子驱动等离激元金属产生周期性振动；控制激发光照射等离激元金属以产生表面等离激元共振，并收集生成的非弹性散射光的光谱信号，其中，表面等离激元共振生成的等离激元光腔与待测振子同步振动。该方法利用机械振子或具有机械振子特征的晶格振子驱动等离激元金属运动最终产生非弹性散射光信号，该过程不受待测样品自身光学选律的限制，通过把力学耦合和光学测量方法结合，用于机械振动测量和晶体结构表征。
基于机械散射效应光谱测量方法

[发明专利]一种低温漂的混合表面等离激元加速度计-CN201811464465.7有效
发明人：张彤;陆士明;张晓阳;刘怡然;唐杰 -专利权人：东南大学
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：本发明公开一种低温漂的混合表面等离激元加速度计，包括可调谐等离激元定向耦合器、柔性表面等离激元波导和位于柔性表面等离激元波导表面的加速度质量块，可调谐等离激元定向耦合器包括上支等离激元波导、用于输入输出光学信号的下支等离激元波导、以及设置于下支等离激元波导上的调制电极，上支等离激元波导两端与弯曲后的柔性表面等离激元波导两端分别连接、构成表面等离激元波导环形谐振腔，该表面等离激元波导环形谐振腔与可调谐等离激元定向耦合器所在平面垂直利用二氧化硅基可调谐表面等离激元定向耦合器和柔性表面等离激元波导相反的热光特性可有效抑制谐振腔谐振频率的温度波动性，且在最佳匹配条件下，有望实现谐振频率的零温漂。
一种低温混合表面离激元加速度计

[发明专利]一种基于传导表面等离激元的拉曼散射基底及其应用方法-CN201310556481.X在审
发明人：刘建胜;张晓东;郑铮;李昕;田中群 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2013-11-11 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于传导表面等离激元的拉曼散射基底结构及其应用方法。该基底结构包括输入光波导、衬底以及衬底上有限宽度的表面等离激元波导结构。入射光通过端面耦合的方式进入表面等离激元波导结构，形成的表面等离激元模式沿垂直入射端面方向传输，位于表面等离激元波导结构上的被检测物质在传导的表面等离激元模式场作用下产生拉曼散射。本发明中表面等离激元波导结构可获得明显的电场增强效应，能够通过对拉曼散射过程的有效激励实现拉曼信号的增强，在此基础上结合传统的表面增强拉曼结构，可达到拉曼信号二次增强的效果。使用该基底结构搭建的检测系统能够实现拉曼激励光与散射光分离，减小激励背景光的影响。此外，入射光的耦合方式增加了基底的灵活性和稳定性，便于集成化、小型化。
一种基于传导表面离激元散射基底及其应用方法

[发明专利]一种偏振敏感型光电探测器-CN201610617154.4在审
发明人：王琦龙;翟雨生;陈广甸;李晓华 -专利权人：东南大学
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于金属等离激元结构热电子效应的偏振敏感型光电探测器，包括绝缘衬底、金属背栅电极、绝缘隔离层、沟道有源层、漏极、源极和等离激元共振对偏振光敏感的等离激元结构，沟道有源层的材料禁带宽度大于入射光的光子能量，等离激元结构为金属纳米结构；利用等离激元结构中的热电子产生对入射光偏振态的强烈依赖特性来实现光偏振信息的探测。本发明具有如下优势：1、利用等离激元结构可以无需外加光学元件(起偏器/检偏器)即可实现光偏振信息的探测，有利于器件的小型化和集成化；2、利用金属背栅电极既可以通过加偏置电压放大光电流，又可以使金属背栅结构与金属纳米等离激元结构形成超表面结构
一种偏振敏感光电探测器

[发明专利]一种利用表面等离激元散射对纳米物质进行成像的检测方法-CN201410751328.7有效
发明人：路鑫超;刘虹遥;陈鲁 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2014-12-09 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：本发明公开一种利用表面等离激元散射对纳米物质进行成像的检测方法，所述检测方法包括：在盖玻片上镀金薄膜；在所述金薄膜上附着纳米物质；光源发出的光经过扩束整形后，以p偏振态聚焦到油浸物镜的后焦平面；调节入射光在油浸物镜的后焦平面上的位置，使入射光斜入射到所述盖玻片上，在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米物质产生散射；所产生的表面等离激元散射转化为光信号与反射光一起被油浸物镜收集；通过CCD对所收集的包含有表面等离激元散射信号的反射光进行成像
表面等离激元纳米物质散射油浸物镜金薄膜成像后焦平面反射光盖玻片入射光检测表面传播表面激发镀金薄膜扩束整形散射信号斜入射附着光源聚焦转化

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