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[发明专利]砷烷的制备方法-CN201811573697.6有效
发明人：宁红锋 -专利权人：紫石能源有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C01G28/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种砷烷的制备方法。该制备方法包括：将单质砷和氢气进行化合反应，得到化合反应产物体系，其中化合反应反应温度为500～700℃，反应压力3～5MPa；将化合反应产物体系进行第一冷却分离处理过程，得到未反应的单质砷和第一分离产物；及将第一分离产物进行第二冷却分离处理过程，得到液态的砷烷和未反应的氢气。当反应温度为500～700℃，反应压力3～5MPa时，单质砷和氢气能够发生化合反应，得到含砷烷的化合反应产物体系；通过两次冷却分离过程将砷烷中的杂质去除，提高砷烷的产率和纯度。采用上述方法制备砷烷的过程中没有液体物料参与，且不会产生废液，一种非常优异的环境友好型工艺，更适合规模化生产。
制备方法

[发明专利]一种利用三甲基铟合成磷化铟外延片的生产工艺-CN202310667843.6在审
发明人：黄小华;聂林涛 -专利权人：陕西铟杰半导体有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C30B25/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用三甲基铟合成磷化铟外延片的生产工艺，拟加工的P型硅衬底放在MOCVD反应腔内，利用高纯氢气携带气态磷烷，与气态高纯三甲基铟反应，在衬底表面合成磷化铟外延片薄膜，将P型掺杂的硅衬底放入MOCVD反应腔内，通入氢气作为载气，缓慢加热磷烷储罐至110℃，通过氢气鼓泡将磷烷引入到反应腔内；缓慢加热三甲基铟储罐至150℃，使其完全气化以待用；对MOCVD反应腔进行升温升压操作，以清洁硅衬底表本发明利用三甲基铟与磷烷在硅或砷化镓表面化合反应，生成单晶磷化铟，控制合适的温度与反应气体流速，可在衬底表面形成厚度在0.2μm‑1.2μm的磷化铟单晶异质结外延层，以满足特定条件下的需求,简化工艺、降低控制难度
一种利用甲基合成磷化外延生产工艺

[发明专利]一种合成高纯砷烷的方法-CN201010233369.9无效
发明人：尹恩华;武峰;巩建民 -专利权人：武峰
申请日： 2010-07-22 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： C01G28/00 文献下载
摘要：本发明一种合成高纯砷烷的方法，属于电子气体合成纯化技术领域；该方法包括步骤(1)、粗制砷烷的合成过程：先用砷粉和锌粉制成砷化锌，再与稀硫酸反应得到粗制砷烷；和(2)、高纯砷烷的纯化过程：对粗制砷烷采用液氮冷阱低温真空分离
一种合成高纯方法

[发明专利]利用气相色谱-质谱联用仪分析工业乙烯、丙烯中砷烷、膦烷的方法-CN202210157200.2在审
发明人：祁国庆;吴坚;张敬;李晶晶;杨晶 -专利权人：祁国庆
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明提供利用气相色谱‑质谱联用仪分析工业乙烯、丙烯中砷烷、膦烷的方法，本方法利用气相色谱‑质谱联用仪分析工业乙烯、丙烯中砷烷、膦烷，气相色谱配备了两个串联相接的阀，用于稀释校准样品(渗透管稀释系统)，经过120m×320μm×8.0μm Select Olefins毛细管柱分离乙烯、丙烯、砷烷、膦烷，经分离后进入质谱仪仅针砷烷、膦烷特定检测目标用SIM(单粒子检测扫描)模式扫描，以特征离子碎片定性可以检测至
利用色谱联用分析工业乙烯丙烯中砷烷方法

[实用新型]一种用于生产超纯砷烷的净化装置-CN201821793085.3有效
发明人：陈国富;龚施健;彭王生;郑亚平 -专利权人：博纯材料股份有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C01G28/00 文献下载
摘要：一种用于生产超纯砷烷的净化装置，包括填料柱、精馏筒体、筒节及热交换热，筒节侧壁上设有砷烷进气管，筒节顶端设有轻组分排出口，轻组分排出口与热交换器内的旁管进口连接，热交换器的旁管出口通过回流管连接至筒节内该净化装置，砷烷进入筒节内，砷烷中的轻组分从筒节顶端逸出进入热交换器进行热交换，砷烷及重组分通过填料柱吸附砷烷中的极性杂质分子，然后在精馏筒体内经过电加热管多次加热精馏，砷烷气体的净化纯度可达到99.9999%
砷烷筒节精馏筒体净化装置热交换器净化气热交换电加热管分支导管导出管排出口填料柱精馏旁管抽真空管极性杂质复数组回流管检测管进气管气化管外侧壁并联侧壁分排吸附逸出加热出口体内净化生产进口

[发明专利]一种电子级砷烷中水分含量的分析方法-CN201510387625.2在审
发明人：周庆美;李东升;曾庆腾 -专利权人：上海正帆科技有限公司
申请日： 2015-07-02 - 公布日： 2015-10-07 - 主分类号： G01N27/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种电子级砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，包括：将电子级砷烷输入电解池，所述的电解池内装有电极，电极表面具有吸湿性材料涂层，砷烷中的水分子在吸湿性材料涂层的吸附作用下富集在电极表面，给电极施加电压，水分子被电极电解产生电流，通过所产生的电流值计算砷烷中的水分含量。本发明通过利用P₂O₅的吸水特性，将砷烷中的水分富集在电极表面，基于法拉第电解原理的测量法，解决了传统的冷镜露点法无法检测电子级砷烷中水分含量的问题，而且本方法准确度高
一种电子级砷烷中水分含量分析方法

[发明专利]一种砷烷气体吸收过滤系统-CN201811271465.5在审
发明人：刘文杰;赵青松 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。本发明提供的砷烷气体吸收过滤系统，将电解槽设置于手套箱中，手套箱通过第二输送管路与气体过滤装置相连，即使电解槽存在泄漏，所泄漏的砷烷气体也能够通过第二输送管路输送至气体过滤装置，最终被气体过滤装置吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，更加安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。
一种气体吸收过滤系统

[实用新型]一种砷烷气体吸收过滤系统-CN201821767909.X有效
发明人：刘文杰;赵青松 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。本实用新型提供的砷烷气体吸收过滤系统，将电解槽设置于手套箱中，手套箱通过第二输送管路与气体过滤装置相连，即使电解槽存在泄漏，所泄漏的砷烷气体也能够通过第二输送管路输送至气体过滤装置，最终被气体过滤装置吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，更加安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。
气体过滤装置砷烷电解槽手套箱过滤系统气体吸收输送管路进气口本实用新型泄漏半导体技术领域气体外泄吸收过滤安全

[发明专利]电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置和分析方法-CN201610710162.3有效
发明人：周庆美;李东升 -专利权人：上海正帆科技股份有限公司
申请日： 2016-08-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置，其特征在于，包括样品管路和吹扫气体管路，所述的样品管路包括砷烷钢瓶、冷却盘管、取样瓶和真空发生器，所述的砷烷钢瓶的瓶阀通过管路连接设于冷阱中的冷却盘管的一端，冷却盘管的另一端通过管路连接取样瓶的入口，取样瓶的出口连接第五隔膜阀，第五隔膜阀连接真空发生器的入口，真空发生器的出口连接尾气处理系统；砷烷钢瓶的瓶阀与冷却盘管之间的管路连接吹扫气体管路。本发明利用冷阱取液态砷烷样品然后汽化挥发的方法，金属杂质残留在PFA样品瓶底，再加入硝酸溶液溶解后，最终以ICP‑MS进样检测，解决了电子级砷烷中金属杂质含量的分析检测问题，检测限可低至ppt级。
电子级砷烷中痕量金属杂质含量取样装置分析方法

[实用新型]一种砷烷精馏装置-CN201921601843.1有效
发明人：陈国富;龚施健 -专利权人：博纯材料股份有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型属于精馏技术领域，尤其为一种砷烷精馏装置。本实用新型利用精馏塔、换热器、第一冷凝器、连接管、第一法兰、第一螺纹筒、第二法兰、密封垫、第三阀门、收集罐、第二阀门、再沸器、第二冷凝器的组合，既有效控制砷烷的精馏进程，提高了砷烷的精馏可控度，且有效控制砷烷的精馏收集进程，提高了砷烷的精馏收集效率，从而达到高效提高砷烷精馏效率的目的。
一种精馏装置

[发明专利]磷烷合成提纯方法-CN202010830178.4有效
发明人：陈国富;龚施健;陈金彬 -专利权人：博纯材料股份有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C01B25/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种磷烷合成提纯方法，包括以下步骤：水解反应，以得到粗磷烷；将粗磷烷在‑50至‑10℃的温度下冷凝后干燥，并将冷凝并干燥后的粗磷烷经过多级精馏得到气态的初级纯磷烷，其中，在多级精馏中预先进行喷淋含有自由基的双氧水；利用分子筛对初级纯磷烷进行至少一级筛分，以去除初级纯磷烷中残留的水分、氧气和二氧化碳，并得到高纯磷烷。其通过磷化锌与酸溶液的反应制备得到粗磷烷，而后将粗磷烷依次通过干燥、除氢离子、精馏、碱溶液吸附和筛分，以实现磷烷提纯，从而得到高纯度的磷烷，其摒弃了金属磷化物水解制备磷烷的传统方式，具有较高的反应收率和纯度
合成提纯方法

[实用新型]一种砷烷提纯装置-CN201921601904.4有效
发明人：陈国富;龚施健 -专利权人：博纯材料股份有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C01G28/00 文献下载
摘要：本实用新型属于砷烷提纯技术领域，尤其为一种砷烷提纯装置，包括反应釜、冷凝仓、气化仓和吸附仓，所述反应釜顶端设置有壳体，所述壳体内部固定连接有正反电机，所述反应釜表面穿设有轴承，所述正反电机输出轴的底端固定连接有转轴，所述转轴穿设在轴承内部，所述转轴表面固定连接有搅拌桨，所述反应釜顶端固定连接有进料口，所述进料口顶端设置有翻盖；本实用新型通过设置正反电机和转轴，使得人们在使用该装置对砷烷气体进行提纯的过程中，通过控制开关启动正反电机，使得正反电机通过转轴带动搅拌桨进行转动，从而使得反应釜内部的砷化锌和稀硫酸充分反应，从而使得人们在对砷烷气体进行提纯的过程，砷烷的生产率得以提高。
一种提纯装置

[实用新型]砷烷电解装置-CN201821995582.1有效
发明人：赵青松;宁红锋;闫东升;刘文杰;彭小磊;南建辉 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C25B1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种砷烷电解装置。该砷烷电解装置包括：电解槽，具有通过离子半透膜隔离的阴极室和阳极室，阴极室电解产生砷烷和氢气，阳极室电解产生氧气；阴极气体输送管路，与阴极室相连；阳极气体输送管路，与阳极室相连；阴极气体输送管路和阳极气体输送管路之间设置有第一压差传感器以监测阳极室和阴极室的压差；且砷烷电解装置还包括反吹气源，反吹气源与阴极气体输送管路相连以对阴极气体输送管路进行反吹，反吹气源与阳极气体输送管路相连以对阳极气体输送管路进行反吹。利用第一压差传感器监测阳极室和阴极室的压差，以避免压差过大对离子半透膜的损坏，利用反吹气源对管路进行反吹，避免了砷烷残留，保证了砷烷气体流量和质量稳定。
输送管路砷烷阳极室阴极室电解装置反吹气源阳极气体阴极气体反吹压差压差传感器半透膜电解离子本实用新型气体流量质量稳定氢气电解槽监测氧气残留隔离保证

[发明专利]镓铟铝低共熔熔融体及其在提纯气体中的应用-CN200810167042.9无效
发明人：刘庚宇 -专利权人：刘庚宇
申请日： 2008-10-09 - 公布日： 2009-03-11 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种镓铟铝低共熔熔融体及其在提纯烷类气体(硅烷、砷烷、磷烷、锗烷、氨气、硼烷)或烷类与氢气所形成的混合气体的纯度中的应用，属于高纯物质领域。
镓铟铝低共熔熔融及其提纯气体中的应用

[发明专利]一种砷烷和氯气联合电解装置和使用其的砷烷和氯气联合电解方法-CN201910690626.2在审
发明人：赵青松;宁红锋;闫东升;南建辉;张少雷 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C25B1/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种砷烷和氯气联合电解装置和使用其的砷烷和氯气联合电解方法。所述装置包括：电解槽，电解槽中设置阳离子半透膜，阳离子半透膜将电解槽分为阳极电解槽和阴极电解槽，阳极电解槽中设置阳极膜电极，阳极电解槽连通有阳极电解液进料管、阳极电解液出料管和氯气出料管；阴极电解槽中设置砷阴极，阴极电解槽连通有阴极电解液进料管、阴极电解液出料管和砷烷出料管。所述方法包括：在阳极电解槽中用阳极膜电极电解含有氯盐的阳极电解液，得到氯气，氯盐中的阳离子通过阳离子半透膜进入阴极电解槽；同时在阴极电解槽中用砷阴极电解阴极电解液中的水，得到砷烷。本发明提供的装置实现了同时产生高纯砷烷和高纯氯气。
一种氯气联合电解装置使用方法