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[实用新型]一种直拉单晶炉冷却水循环系统-CN202223501928.7有效
发明人：卢亮;鞠贵冬;李煜川;黄晶晶;唐姊瑀 -专利权人：江苏双良冷却系统有限公司;双良节能系统股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种直拉单晶炉冷却水循环系统，与直拉单晶炉组件结合安装，所述直拉单晶炉组件包括炉底、副室、主室上部、主室下部、隔离阀、电源柜、水冷屏以及泵，所述直拉单晶炉冷却水循环系统包括第一管路和第二管路；所述第一管路串联紧贴所述炉底、所述副室、所述主室上部、所述主室下部以及所述隔离阀，且所述第一管路包括第一冷却塔和第一蓄水池；所述第二管路串联紧贴所述电源柜、所述水冷屏以及所述泵，且所述第二管路包括第二冷却塔和第二蓄水池所述直拉单晶炉冷却水循环系统节水效果更好。
一种直拉单晶炉冷却水循环系统

[实用新型]自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统-CN202020648752.X有效
发明人：赵国伟;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣;钟旭 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统，包括对称设于单晶炉副室上的定位装置，且对称设置的定位装置可相对移动，用于对籽晶进行定位、稳定；其中，定位装置包括移动装置和移动驱动装置，移动装置与移动驱动装置连接，移动装置设于单晶炉副室上，且移动装置可相对于单晶炉副室移动，对籽晶稳定、定位；移动装置沿着单晶炉副室直径设置。本实用新型的有益效果是应用于直拉单晶过程中，能够在直拉单晶过程中对籽晶进行稳定，使得籽晶稳定这一过程实现自动进行，实现籽晶的自动稳定，降低了劳动的强度，提高了生产效率。
自动稳定籽晶单晶炉定位机构系统

[发明专利]自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统及稳定方法-CN202010337505.2在审
发明人：赵国伟;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;张红霞;郭志荣;钟旭 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明提供一种自动稳定籽晶的单晶炉定位机构，包括对称设于单晶炉副室上的定位装置，且对称设置的定位装置可相对移动，用于对籽晶进行定位、稳定；其中，定位装置包括移动装置和移动驱动装置，移动装置与移动驱动装置连接，移动装置设于单晶炉副室上，且移动装置可相对于单晶炉副室移动，对籽晶稳定、定位；移动装置沿着单晶炉副室直径设置。本发明的有益效果是应用于直拉单晶过程中，能够在直拉单晶过程中对籽晶进行稳定，使得籽晶稳定这一过程实现自动进行，实现籽晶的自动稳定，降低了劳动的强度，提高了生产效率。
自动稳定籽晶单晶炉定位机构系统方法

[发明专利]自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统及稳定方法-CN202010338138.8在审
发明人：赵国伟;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣;钟旭 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明提供一种自动稳定籽晶的单晶炉定位机构，包括提升装置和定位装置，定位装置与提升装置连接，提升装置设于单晶炉副室的顶部，定位装置设于单晶炉副室内部，定位装置可相对于单晶炉副室滑动，通过提升装置动作，带动定位装置动作本发明的有益效果是应用于直拉单晶过程中，能够在直拉单晶过程中对籽晶进行稳定，使得籽晶稳定这一过程实现自动进行，实现籽晶的自动稳定，降低了劳动的强度，提高了生产效率。
自动稳定籽晶单晶炉定位机构系统方法

[实用新型]自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统-CN202020649487.7有效
发明人：赵国伟;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣;钟旭 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动稳定籽晶的单晶炉定位机构，包括提升装置和定位装置，定位装置与提升装置连接，提升装置设于单晶炉副室的顶部，定位装置设于单晶炉副室内部，定位装置可相对于单晶炉副室滑动，通过提升装置动作本实用新型的有益效果是应用于直拉单晶过程中，能够在直拉单晶过程中对籽晶进行稳定，使得籽晶稳定这一过程实现自动进行，实现籽晶的自动稳定，降低了劳动的强度，提高了生产效率。
自动稳定籽晶单晶炉定位机构系统

[发明专利]自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统及稳定方法-CN202010337508.6在审
发明人：赵国伟;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣;钟旭 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明提供一种自动稳定籽晶的单晶炉定位机构，设于单晶炉副室的顶端，包括连接装置和定位装置，连接装置的一端与单晶炉副室连接，连接装置的另一端与定位装置连接；以及，定位装置两端均与外界连通，且定位装置与副室同轴设置本发明的有益效果是应用于直拉单晶过程中，能够在直拉单晶过程中对籽晶进行稳定，使得籽晶稳定这一过程实现自动进行，实现籽晶的自动稳定，降低了劳动的强度，提高了生产效率。
自动稳定籽晶单晶炉定位机构系统方法

[实用新型]一种直拉法单晶炉取单晶保护装置-CN201821875455.8有效
发明人：李鹏飞 -专利权人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室上，包括单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部，连接杆部的一端通过驱动旋转部与副炉室连接，连接杆部的另一端与单晶棒承托部连接，驱动旋转部可驱动连接杆部旋转将单晶棒承托部旋转至副炉室的底部出口的下方。该取单晶保护装置可在单晶炉的副炉室旋转取出单晶棒时对单晶棒产生一定的承托力，防止取单晶过程中单晶棒坠落，且结构稳定，操作简便、安全。
单晶棒单晶炉单晶保护副炉室连接杆部驱动旋转承托部直拉法本实用新型驱动连接杆底部出口结构稳定承托力单晶坠落取出安全

[实用新型]自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统-CN202020649299.4有效
发明人：赵国伟;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;张红霞;郭志荣;钟旭 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动稳定籽晶的单晶炉定位机构，设于单晶炉副室的顶端，包括连接装置和定位装置，连接装置的一端与单晶炉副室连接，连接装置的另一端与定位装置连接；以及，定位装置两端均与外界连通，且定位装置与副室同轴设置一种自动稳定籽晶的单晶炉系统，包括上述的自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、籽晶提升装置和控制装置，定位机构设于单晶炉副室上部，籽晶提升装置穿过定位机构设于单晶炉副室内，控制装置与籽晶提升装置电连接，籽晶提升装置在控制装置的作用下本实用新型的有益效果是应用于直拉单晶过程中，能够在直拉单晶过程中对籽晶进行稳定，使得籽晶稳定这一过程实现自动进行，实现籽晶的自动稳定，降低了劳动的强度，提高了生产效率。
自动稳定籽晶单晶炉定位机构系统

[实用新型]一种直拉单晶硅加料器自动吹扫装置及具有其的单晶炉-CN202223543470.1有效
发明人：王甫朝;宋克冉;武绚丽 -专利权人：曲靖晶澳光伏科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种直拉单晶硅加料器自动吹扫装置及具有其的单晶炉。其中，直拉单晶硅加料器自动吹扫装置，包括：吹扫组件，所述吹扫组件用于安装在单晶炉的副室的底部开口处，以对由所述副室底部的开口吊入的加料器表面进行吹扫清理；进气组件，所述进气组件的一端连通所述吹扫组件以对所述吹扫组件进气根据本实用新型实施例的直拉单晶硅加料器自动吹扫装置，能够自动对单晶炉内的加料器进行吹扫清理，保证炉内拉晶的清洁度。
一种单晶硅料器自动装置具有单晶炉

[实用新型]一种CZ直拉法大直径单晶炉-CN201521011487.X有效
发明人：马四海;刘长清;张笑天;马青;丁磊;芮彪;朱光开;张静;张良贵;向贤平 -专利权人：安徽华芯半导体有限公司
申请日： 2015-12-04 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CZ直拉法大直径单晶炉，属于CZ直拉法大直径单晶炉的制造领域。本实用新型包括侧开式副室、炉筒和晶体提升机构，侧开式副室为一体式结构；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈，该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起，密封圈本体的一侧面上设有弧形凸起，副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈上的弧形凸起嵌入上述密封圈槽内；炉筒位于侧开式副室的下方且炉筒内部与侧开式副室内部相连通，侧开式副室下部设有隔离阀，晶体提升机构安装于侧开式副室的上方。本实用新型主要解决了现有单晶炉副室因机械加工不足造成的密封漏气情况。
一种 cz 直拉法大直径单晶炉

[发明专利]具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法-CN201110186275.5有效
发明人：朱亮;王魏;孙明;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供一种具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法。该单晶炉有一个主炉室，主炉室上部装配有一个副炉室；该单晶炉还额外配置一个副炉室，两个副炉室均具备炉筒、晶体提升机构、水平调整机构、副炉室旋转机构和控制副炉室升降的液压缸，副炉室旋转机构均通过连接件活动安装于支撑柱上；各副炉室的下端设置一个副炉室闸阀，副炉室闸阀内设置活动的阀板；所述主炉室的上端设有一个隔离阀座，隔离阀座内部设置活动的主炉室隔离阀板，隔离阀座上侧与两个副炉室闸阀相互匹配。通过两个炉筒的交替使用，可在晶棒冷却的同时进行下一根晶棒的拉制，缩短了生产周期，大幅度提高生产效率，有效降低成本。
具备双副炉室结构单晶炉单晶硅生产方法

[发明专利]一种从单晶炉中取出单晶棒的方法-CN201110134324.0无效
发明人：牛小群 -专利权人：浙江星宇能源科技有限公司
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种从单晶炉中取出单晶棒的方法，该方法是通过提拉头将拉好的单晶棒升至副炉室、观察室及炉盖以上后，再将提拉头及单晶棒随副炉室、观察室、炉盖一起向侧边移至主炉室外，并对准在侧边的主炉室的地下开有的槽孔，然后降下单晶棒，把单晶棒放入槽孔至炉盖以下部位，即可取出单晶棒。采用本发明，可以通过增加直拉单晶棒的有效行程，将每炉的硅料加满，并一次性制成单晶棒，达到提高生产效率，降低生产成本的目的。
一种单晶炉中取出单晶棒方法

[实用新型]一种直拉单晶炉在线式热场再生系统-CN202222141087.7有效
发明人：张军彦;冯文彪;王晓峰;白枭;李媛 -专利权人：山西中电科新能源技术有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直拉单晶炉在线式热场再生系统，属于半导体技术领域；包括载气提供装置和工艺气体提供装置；载气提供装置和工艺气体提供装置通过进气管路与直拉单晶炉副室相连接，直拉单晶炉连接有抽气管路；抽气管路与直拉单晶炉的连接处位于保温筒底部以下；载气提供装置提供的载气为惰性气体，工艺气体提供装置提供的工艺气体为卤素气体；本实用新型通过载气和工艺气体的有序流动，在高温状态下与炉内杂质反应将其有效去除，延长了单晶炉内部炭素材料的寿命；提升了单晶棒的寿命
一种直拉单晶炉在线式热场再生系统

[实用新型]具备双副炉室结构的单晶炉-CN201120233866.9有效
发明人：朱亮;王魏;孙明;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供一种具备双副炉室结构的单晶炉。该单晶炉有一个主炉室，主炉室上部装配有一个副炉室；该单晶炉还额外配置一个副炉室，两个副炉室均具备炉筒、晶体提升机构、水平调整机构、副炉室旋转机构和控制副炉室升降的液压缸，副炉室旋转机构均通过连接件活动安装于支撑柱上；各副炉室的下端设置一个副炉室闸阀，副炉室闸阀内设置活动的阀板；所述主炉室的上端设有一个隔离阀座，隔离阀座内部设置活动的主炉室隔离阀板，隔离阀座上侧与两个副炉室闸阀相互匹配。通过两个炉筒的交替使用，可在晶棒冷却的同时进行下一根晶棒的拉制，缩短了生产周期，大幅度提高生产效率，有效降低成本。
具备双副炉室结构单晶炉

[实用新型]一种CZ直拉法大直径单晶炉的副室-CN201521011467.2有效
发明人：马四海;刘长清;张笑天;马青;丁磊;芮彪;朱光开;张静;张良贵;向贤平 -专利权人：安徽华芯半导体有限公司
申请日： 2015-12-04 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CZ直拉法大直径单晶炉的副室，属于CZ直拉法大直径单晶炉的制造领域。本实用新型包括一体式结构的侧开式副室，该侧开式副室包括内部设有空腔的副室主体和门板，副室主体一侧面上设有开口，门板通过铰链转动连接在副室主体上，门板与副室主体侧面上的开口相配合；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈，该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起，密封圈本体的横截面为中部设有通孔的矩形，密封圈本体的一侧面上设有弧形凸起；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈上的弧形凸起嵌入上述密封圈槽内。本实用新型主要解决了现有单晶炉副室因机械加工不足造成的密封漏气情况。
一种 cz 直拉法大直径单晶炉

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