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- [发明专利]一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构-CN202011363408.7在审
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王惠生;朴勇男;孙元斌
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2020-11-27
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2022-05-31
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G03F7/38
- 本发明涉及一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，下层盘盖的上表面安装有导气稳流装置，上、下层盘盖通过导气稳流装置相连，并在上、下层盘盖之间留有导气通道；进气排风安装帽安装于上层盘盖上，进气排风安装帽上分别开设有相互独立的排风孔及进气通道，排风孔延伸至下层盘盖的底部，进气通道位于排风孔的外围，进气通道与导气通道相连通，由进气通道进入的气体通过导气稳流装置整流；上层盘盖的上表面安装有对由进气通道进入的气体进行加热的加热装置；盘盖进气管的一端与进气通道相连通，另一端连接气源；盘盖排风管的一端与排风孔相连通，另一端连接风机。本发明改善盘盖内的气流走向及进气温度预热，进而改善盘面的温度均匀性。
- 一种用于烘烤单元结构
- [实用新型]用于晶圆烘烤单元的盘盖结构-CN202022812538.6有效
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王惠生;朴勇男;孙元斌
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2020-11-27
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2021-06-25
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G03F7/38
- 本实用新型涉及一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，下层盘盖的上表面安装有导气稳流装置，上、下层盘盖通过导气稳流装置相连，并在上、下层盘盖之间留有导气通道；进气排风安装帽安装于上层盘盖上，进气排风安装帽上分别开设有相互独立的排风孔及进气通道，排风孔延伸至下层盘盖的底部，进气通道位于排风孔的外围，进气通道与导气通道相连通，由进气通道进入的气体通过导气稳流装置整流；上层盘盖的上表面安装有对由进气通道进入的气体进行加热的加热装置；盘盖进气管的一端与进气通道相连通，另一端连接气源；盘盖排风管的一端与排风孔相连通，另一端连接风机。本实用新型改善盘盖内的气流走向及进气温度预热，进而改善盘面的温度均匀性。
- 用于烘烤单元结构
- [实用新型]一种散热无刷电机-CN202020552982.6有效
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林喜群
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三羚（厦门）运动科技工业有限公司
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2020-04-15
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2020-09-01
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H02K9/06
- 本实用新型公开一种散热无刷电机，包括无刷电机本体、进风端盖、排风端盖，无刷电机本体包括外壳、定子和转子，转子连同外壳一起与电机轴相连，外壳的左右两端各设有开口，供进风端盖和排风端盖分别盖合固定，进风端盖径向设置若干个进风风叶，相邻两个进风风叶之间开设通向外壳内部的进风间隙，进风风叶的表面朝转子旋转方向倾斜设有由外向内倾斜的挡风面；排风端盖的外周轴向设置若干个排风风叶，相邻两个排风风叶之间开设通向外壳外部的排风间隙，排风风叶的表面朝转子旋转方向倾斜设有由外向内倾斜的迎风面本案散热效果显著，挡风面形成良好的聚风效果，增大了进风的风力，排风端盖的排风空间更大，散热效率高，适用在狭小空间环境中。
- 一种散热电机
- [实用新型]一种散热器放气阀-CN200920112483.9无效
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方建静
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方建静
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2009-01-12
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2009-10-21
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F16K1/04
- 一种散热器放汽阀，包括阀座、可转动地盖设在阀座上的阀盖、阀杆；阀座的底面开设有进汽口，阀座内设有与进汽口连通的进汽通道；阀盖设有出汽通道，进汽通道插入出汽通道内且两者之间紧密配合；阀杆依次穿过阀盖的出汽通道和阀座的进汽通道，阀杆的尾部外露，且该阀杆与进汽通道之间螺纹连接；阀盖的外表面开设有排汽口，阀盖内还设有排汽通道，排汽通道分别与排汽口和出汽通道连通。本实用新型放汽时，只要拧松阀杆，汽经阀座底面的进汽口进入阀座内的进汽通道，沿导汽沟槽进入到阀盖的出汽通道，最后经排汽通道由排汽口排出，另外，转动阀盖上的旋钮可以改变排汽口的排汽方向。
- 一种散热器气阀
- [实用新型]整体复合式组合阀-CN200820033547.1无效
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张井贵;唐桂生
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江苏省涟水县阀门厂
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2008-03-21
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2008-12-31
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F16K27/00
- 本实用新型公开了整体复合式组合阀，该阀包括阀座(1)、排液阀盖(2)、排液阀板(3)、排液弹簧(4)、排液阀芯(5)、进液阀板(6)、进液弹簧(7)和进液阀盖(8)，在阀座1的一侧安装进液阀板(6)、进液弹簧(7)和进液阀盖(8)，在阀座(1)的另一侧安装排液阀芯(5)、排液弹簧(4)、排液阀板(3)和排液阀盖(2)，其特征在于：阀座(1)集现有组合阀的主件阀盖、阀座、进液阀罩为一体，排液阀芯(5)的阀芯端面带定位导向锥
- 整体复合组合
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