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[发明专利]热阴极电离规灵敏度测试装置、方法及设备-CN202111652732.5有效
发明人：刘怡海;贺良武;柳灵 -专利权人：成都睿宝电子科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种热阴极电离规灵敏度测试装置、方法及设备，其特征在于，包括：热阴极电离规驱动模块、热阴极电离规收集极离子流采集模块、数据处理模块和人机交互模块，基于热阴极电离规，通过获取特定压强下下的热阴极电离规加速极电压、阴极发射电流及收集极离子流，对电离规电参数加速极电压以及阴极发射电流进行调节，使收集极离子流发生变化，通过观察收集极离子流变化，计算出电参数改变对电离规灵敏度的影响，从而调整热阴极电离规内各参数不断对热阴极电离规灵敏度进行修正，提高电离规测试准确度。
热阴极电离灵敏度测试装置方法设备

[发明专利]一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法-CN201811054584.5有效
发明人：延峰;邵壮;田虎林;魏萌萌;卢耀文 -专利权人：北京东方计量测试研究所
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法，该装置包括了电离规热阴极灯丝模拟电阻、模拟发射电流源、模拟离子电流源和保护二极管，其特征在于，电离规热阴极灯丝模拟电阻和保护二极管模拟电离规电阻特性，模拟发射电流源和模拟离子电流源模拟电离规电离特性。本发明设计的一种热阴极电离真空计电参数校准装置方法，对传统热阴极电离真空计电参数校准装置进行改进，利用电路模拟热阴极电离规管的电特性，从而实现热阴极电离真空计电参数校准过程中不用外接真空规管。
一种热阴极电离真空计参数校准装置方法

[实用新型]热阴极电离规管-CN200820301428.X有效
发明人：李泞;赖寿培;何居贵 -专利权人：成都国光电气股份有限公司
申请日： 2008-07-03 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及规管，特别涉及热阴极电离规管的电极结构。本实用新型针对现有技术的热阴极电离规管，电极结构复杂，测量精度低，使用范围小的缺点，公开了一种电极结构简单，测量范围更宽的热阴极电离规管。本实用新型的技术方案是，热阴极电离规管，包括收集极、栅极和灯丝，其特征在于，所述收集极和栅极基本上成“П”形；所述收集极所在平面与所述栅极所在平面垂直，且所述收集极对称轴与所述栅极对称轴重合。本实用新型用于热阴极电离规管的电极，可以大大简化结构，提高测量精度和重复性，扩大测量范围，降低产品成本。
热阴极电离

[发明专利]一种新型热阴极电离真空计电参数校准装置-CN201911052211.9在审
发明人：陆涛;夏世威 -专利权人：华北电力大学
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型热阴极电离真空计电参数校准装置，装置可分为输出模块、测量模块、控制模块、电源电路和接口转换及保护电路。装置为基于电路模拟的热阴极电离真空计电参数校准装置，包括热阴极电离真空规灯丝模拟电阻、模拟发射电流源和模拟离子电流源。电参数校准装置仅用于对热阴极电离真空计的电参数进行校准，当热阴极电离真空规的输入信号与调制输出的发射电流间的传递函数为单调连续的，且发射电流在热阴极电离真空计反馈调节范围内时，热阴极电离真空计可通过反馈将发射电流调节到设定点
一种新型热阴极电离真空计参数校准装置

[发明专利]电离规的保护装置-CN201810678022.1有效
发明人：马远;廖朝俊;秦钟华;廖均 -专利权人：江苏振华新云电子有限公司
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01J41/04 文献下载
摘要：本发明提供一种电离规的保护装置，涉及电离规技术领域。电离规的保护装置包括：连接管路，连接管路包括第一连接端和第二连接端，第一连接端用于与被测真空度的设备连接，第二连接端用于与电离规连接。电离规的保护装置用于热阴极电离真空计时，能在真空度波动时，切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接，从而有效地保护热阴极电离规，提高热阴极电离规的使用寿命。
电离保护装置

[实用新型]电离规的保护装置-CN201821008174.2有效
发明人：马远;廖朝俊;秦钟华;廖均 -专利权人：江苏振华新云电子有限公司
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01J41/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电离规的保护装置，涉及电离规技术领域。电离规的保护装置包括：连接管路，连接管路包括第一连接端和第二连接端，第一连接端用于与被测真空度的设备连接，第二连接端用于与电离规连接。电离规的保护装置用于热阴极电离真空计时，能在真空度波动时，切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接，从而有效地保护热阴极电离规，提高热阴极电离规的使用寿命。
电离规保护装置连接管路连接端热阴极电离规电磁阀门放大电路传感器本实用新型传感器设置真空度波动控制连接切断设备设备连接使用寿命真空腔体电联接热阴极有效地电离通断计时

[发明专利]一种用于高腐蚀性蒸汽压监测的离子真空计-CN202011592328.9在审
发明人：罗明新;任宇航;王培双 -专利权人：尚越光电科技股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G01L21/32 文献下载
摘要：本装置包括热阴极电离规管和测量电路，其特征在于：所述热阴极电离规管包括螺旋状的栅极，螺旋状的栅极的内侧设置有沿栅极螺旋轴线方向延伸的收集极，栅极外侧的一方或多方设置有热阴极灯丝，热阴极灯丝在栅极外侧多方设置时、各热阴极灯丝环绕栅极均匀设置，所述热阴极电离规管的外侧绕设有电加热装置，电加热装置上设置有热电偶。本发明在真空腔达到较高真空度后的高温、高腐蚀环境下持续、稳定监测蒸气压；且在真空腔停止工作升压、降温的状态下，利用电加热装置避免硒蒸气沉积到热阴极电离规管表面。
一种用于腐蚀性蒸汽监测离子真空计

[发明专利]可用于强磁场环境测量下限较低的高灵敏度热阴极电离规-CN202210494570.5在审
发明人：王国栋;黄俊;张航;蔡洋洋;刘霄;王娇龙 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2022-05-07 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01J41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种可用于强磁场环境测量下限较低的高灵敏度热阴极电离规，该热阴极电离规主要包括阴极灯丝、阳极栅、离子收集极和金属外壳；其中，阴极灯丝为螺旋粗灯丝结构，用于抵抗强磁场中的安培力；阳极栅为螺旋结构或笼状结构，其包括左阳极栅和右阳极栅，并以阴极灯丝为中心对称布置；离子收集极为金属细丝结构，其包括左离子收集极和右离子收集极；金属外壳为圆筒状结构，其电势为接地布置；阴极灯丝、阳极栅、离子收集极和金属外壳同轴布置与传统的用于强磁场环境的热阴极电离规相比，本发明可有效地增加阴极灯丝的使用寿命，提高电离规的灵敏度，其测量下限可延伸至10‑9Pa。
用于磁场环境测量下限灵敏度热阴极电离

[发明专利]基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法-CN201610796215.8有效
发明人：李艳武;成永军;董猛;盛学民;陈联;李刚;黄宏;高洁 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G01N7/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法，属于测量领域。所述装置中：高真空样品室、第一真空阀门、第一、二小孔、第一、二分子泵和干泵依次通过真空管路串联连接；热阴极电离规B或质谱计连接在第一、二小孔间的真空管路上；电阻真空规连接在第二小孔和第一分子泵间的真空管路上；第二真空阀门两端分别通过真空管路与第一真空阀门出口和第一分子泵入口相连；热阴极电离规A连接在第一、二真空阀门之间的真空管路上。通过采用所述装置间接测量待测气体压强，可有效解决热阴极电离规或质谱计对待测气体具有抽速，直接用于静态定容升压法测量材料放气率时存在显著误差的问题，提高测量精确度。
基于热阴极静态升压材料放气测量装置方法

[发明专利]一种热阴极电离规的驱动装置-CN202310563587.6在审
发明人：王磊;刘立峰;熊慧;杜春林;王博成;贺良武 -专利权人：成都睿宝电子科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H03K19/0185 文献下载
摘要：本发明公开了一种热阴极电离规的驱动装置，包括控制模块、SPWM驱动模块、变压模块、滤波输出模块以及反馈模块；控制模块用于向SPWM驱动模块发出SPWM脉冲信号，并接收来自于反馈模块的反馈信号，根据反馈模块对脉冲信号进行调整；SPWM驱动模块用于接收SPWM脉冲信号，并根据SPWM脉冲信号驱动变压模块工作；变压模块用于受SPWM驱动模块的驱动，将输入电压转换为目标电压并输出；滤波输出模块用于将目标电压滤波并输出至热阴极电离规本发明提高了热阴极电离规的使用寿命以及使用能效。
一种热阴极电离驱动装置

[实用新型]带栅极限位保护装置的三极管式热阴极电离真空计规管-CN201020601197.1无效
发明人：朱世洪;岳经友;罗世敏 -专利权人：成都正华电子仪器有限公司
申请日： 2010-11-11 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01J41/04 文献下载
摘要：带栅极限位保护装置的三极管式热阴极电离真空计规管，涉及一种真空计。在三极管式热阴极电离真空计规管的双螺旋栅极和圆筒形离子收集极之间，安装一个由支撑固定翼和限位保护环组成的栅极限位保护装置，且不改变其规管灵敏度参数。支撑固定翼具有板式、杆式、或者管式结构。限位保护环的环面形状、尺寸、机械强度和安装位置，确保带栅极限位保护装置的三极管式热阴极电离真空计规管免受机械振动和冲击所造成的意外损失。
栅极限位保护装置三极管热阴极电离真空计

[实用新型]一种热阴极电离规的量程连续线性切换电路-CN202022562956.4有效
发明人：张松权;童俊强;张斌斌;贾建国 -专利权人：杭州盘古自动化系统有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01L21/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及热阴极电离真空计量程线性切换电路，尤其涉及一种热阴极电离规的量程连续线性切换电路，包括电源电路、热阴极电离规电路和切换电路，所述电源电路包括电源V+、电源V‑、电容C1、电容C2和地AG，本实用新型有效降低阴极电位波动和暂态不稳定的的迹象，明显提升了真空规管测量的稳定性。
一种热阴极电离量程连续线性切换电路

[发明专利]真空测量装置及深冷液体储运系统-CN201810373373.1在审
发明人：黄政贤;费锦华;卢海;熊珍艳;胡海滨;何远新;吕长乐;黄春雨 -专利权人：中车长江车辆有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： F17C1/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空测量装置及深冷液体储运系统，包括：组合真空规管、真空阀、过渡接头及真空测量仪，组合真空规管内部设置有热偶规及热阴极电离规；真空阀的一端与组合真空规管密封连接，另一端与过渡接头的一端密封连接；过渡接头的另一端伸入待测设备的真空腔室，并与待测设备密封固定，使真空腔室与真空阀及组合真空规管能形成通路；真空测量仪与组合真空规管连通，并与热偶规及热阴极电离规电性连接。
深冷液体真空规管过渡接头真空测量装置储运设备储运系统真空腔室真空阀热阴极电离规真空测量仪待测设备热偶规伸入测量电性连接高真空度密封固定密封连接内部设置一端密封预判连通全程

[实用新型]真空测量装置及深冷液体储运系统-CN201820591825.9有效
发明人：黄政贤;费锦华;卢海;熊珍艳;胡海滨;何远新;吕长乐;黄春雨 -专利权人：中车长江车辆有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： F17C1/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空测量装置及深冷液体储运系统，包括：组合真空规管、真空阀、过渡接头及真空测量仪，组合真空规管内部设置有热偶规及热阴极电离规；真空阀的一端与组合真空规管密封连接，另一端与过渡接头的一端密封连接；过渡接头的另一端伸入待测设备的真空腔室，并与待测设备密封固定，使真空腔室与真空阀及组合真空规管能形成通路；真空测量仪与组合真空规管连通，并与热偶规及热阴极电离规电性连接。
深冷液体真空规管过渡接头真空测量装置储运设备储运系统真空腔室真空阀热阴极电离规真空测量仪待测设备热偶规伸入测量本实用新型电性连接高真空度密封固定密封连接内部设置一端密封预判连通全程

[实用新型]收集极平面具有孔网结构的中真空热阴极电离真空计规管-CN201120243435.0有效
发明人：罗世敏;岳经友;朱世洪 -专利权人：成都正华电子仪器有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： H01J41/04 文献下载
摘要：收集极平面具有孔网结构的中真空热阴极电离真空计规管，其传感元件由两个相互平行的平面带孔网结构的平板形收集极、两个相互平行的平板形阳极和一个直丝形(或螺旋丝形，或V字形)阴极组成。阴极则位于该平行板盒形电极结构的对称轴线上。孔网的结构，包括孔的数量、形状、尺寸和位置等参数的确定，以及收集极的总体尺寸及位置等参数的调整，在减少测量范围低压力端附近进行准确读值的延迟时间的同时，还确保能够与收集极平面不带孔网结构的中真空热阴极电离真空计规管互换使用
收集平面具有结构真空热阴极电离真空计

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