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- [发明专利]涂覆制品和制造方法-CN202111345695.3在审
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陈海星;欧阳煦;孙亚伟
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康宁公司
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2021-11-15
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2023-05-16
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C03C17/22
- 涂覆制品包括设置在衬底上的涂层。所述涂层包括与去离子水的接触角为90°或更多的表面。所述涂层的折射率小于所述衬底的折射率。所述涂层包括氢化无定形碳与无定形氧化硅的互穿网络。形成涂覆制品的方法可包括对前体使用等离子体增强化学气相沉积或物理气相沉积而在衬底上设置涂层。所述前体包括氢气、碳和硅以及氧气或氮气中的一者或多者。所述涂层包括与去离子水的接触角为90°或更多的表面。所述涂层包括氢化无定形碳和无定形氧化硅或无定形氮化硅中的至少一者的互穿网络。
- 制品制造方法
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