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- [实用新型]一种电解浸蚀装置-CN201520718150.6有效
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秦少鹏;罗洪义;刘国辉;唐显
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中国原子能科学研究院
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2015-09-16
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2016-01-20
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G01N1/32
- 本实用新型属于电解浸蚀技术领域，公开了一种电解浸蚀装置。该装置包括浸蚀液容纳槽、阳极、阴极及导电夹，其中该容纳槽为长方形凹槽，浸蚀液置于该凹槽内；阳极置于容纳槽上方且不与浸蚀液接触，阴极两端置于容纳槽上方，阴极中间部分置于凹槽内与浸蚀液接触；导电夹位于阳极上方且与阳极固定连接，待浸蚀金属样品固定于导电夹上且使金属样品的待浸蚀面位于浸蚀液内；电源正极与阳极连接，负极与阴极连接，通过控制合适的电压和电流实现对不同金属样品的浸蚀，该装置具有结构简单且能够同时对多个试样进行浸蚀的优点
- 一种电解浸蚀装置
- [发明专利]一种摆动式回火浸蚀装置及使用方法-CN202310364090.1在审
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孙志明;李加荣
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溧阳市中豪热处理有限公司
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2023-06-08
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2023-07-11
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C23F1/08
- 本发明公开了一种摆动式回火浸蚀装置及使用方法，包括浸蚀池，所述浸蚀池的上方设置有往复驱动组件，所述往复驱动组件上转动设置有摆动组件，本发明涉及齿轮热处理技术领域。该摆动式回火浸蚀装置及使用方法，通过利用齿轮集成组件对齿轮进行间隔放置，有效避免齿轮在浸蚀过程中的摩擦损耗，且配合沥水网板的设置，通过往复驱动组件的驱动，即可实现齿轮集成组件上携带齿轮在浸蚀池的浸蚀中和沥水网板上的调节，从而达到浸蚀和沥干的和谐同一，且在摆动组件的设置下，带动齿轮在浸蚀池中进行摆动，保证齿轮浸蚀的均匀，操作简单的同时，避免浸蚀液的浪费，配合风干组件的设置，加速沥水网板上浸蚀后齿轮的晾干速度。
- 一种摆动回火浸蚀装置使用方法
- [实用新型]一种浸蚀装置-CN202321138471.X有效
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高翔鹰;韩军;胡进忠
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上海芯畀科技有限公司
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2023-05-11
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2023-10-27
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种浸蚀装置，包括底板，底板的顶部固定连接有浸蚀桶，浸蚀桶的外部固定连接有电机，浸蚀桶的内部转动连接有往复丝杆，往复丝杆与电机的输出端固定连接，往复丝杆的外部螺纹连接有滑块，滑块的内部开设有滑槽；本实用新型所达到的有益效果是：能够通过往复丝杆带动清理刷在浸蚀桶中前后往复移动，从而对浸蚀桶中的浸蚀液进行自动清理，并且在清理刷两侧的凸杆和浸蚀桶内部的凹槽的作用，使得清理刷向后移动时会挤压推动清理刷向上移动，使得清理刷向后移动的过程中，清理刷处于与浸蚀桶相分离的状态，从而有效防止了清理刷将浸蚀液清理到浸蚀桶最里面的位置的情况出现，确保了清理刷的清理效果。
- 一种浸蚀装置
- [实用新型]一种用于石英晶片生产的浸蚀装置-CN201921278460.5有效
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夏良军
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菲特晶（南京）电子有限公司
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2019-08-08
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2020-05-01
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C03C15/00
- 本实用新型提供一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，包括浸蚀槽和晶片盛放架，所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液，所述浸蚀槽的底部设有电机，所述浸蚀槽内设有搅拌轴，所述搅拌轴与所述电机相连，所述搅拌轴上设有螺旋搅拌叶；所述晶片盛放架包括若干圆形阵列分布的内杆和外杆，所述外杆的顶部设有挂钩，所述挂钩挂在所述浸蚀槽的侧壁上，所述内杆和所述外杆之间固定连接有若干层环形的固定板，所述固定板顶部设有若干均匀分布的卡槽，所述固定板的底部设有与所述卡槽相通的通槽，所述通槽的截面积小于所述卡槽的截面积本实用新型的浸蚀槽内浸蚀液的浓度和温度分布均匀，且晶片不易碰触，浸蚀处理效果较好。
- 一种用于石英晶片生产浸蚀装置
- [发明专利]一种芯片生产用浸蚀装置-CN202211001799.7在审
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王向农;陈雄光;王洪涛
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浙江纽创科技股份有限公司
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2022-08-20
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2022-11-04
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H01L21/67
- 本发明提供了一种芯片生产用浸蚀装置，包括浸蚀箱，所述浸蚀箱的顶面设置有顶盖，所述浸蚀箱的一侧固定安装有合页，所述浸蚀箱和顶盖通过合页相连接；拿取组件，所述拿取组件设置在所述顶盖的顶面，用于对芯片进行拿取，工作人员可以将浸蚀液体倒入到储液盒的内部，此时浸蚀液体会通过流通口进入到固定盒的内部，工作人员可以将芯片放入到固定盒的内部，浸蚀完毕后，通过设置的驱动电机、电动推杆、丝杆、卡槽、螺纹孔、驱动板、夹持环、钢管、固定盒、电磁阀和储液盒相互配合使用下，即可对芯片进行吸附，当驱动板和夹持环复位后，可以翻转设置的顶盖，即可对钢管吸附的芯片进行取出，不需要工作人员去接触浸蚀液体，更加的安全。
- 一种芯片生产浸蚀装置
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