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- [发明专利]真空泵送布置中或与其相关的改善-CN201680005140.5有效
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N.P.肖菲尔德;A.西利;J.R.塔特索尔;N.特纳
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爱德华兹有限公司
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2016-01-06
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2019-09-13
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F04C25/02
- 在半导体制造领域中，需要特别关于硅片的制造改善相关联的泵送布置的效率。一种用于抽空至少第一真空处理室和第二真空处理室的真空泵送布置，所述真空泵送布置包括：至少第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵入口与第一处理室的出口流体连通，所述第二真空泵入口与第二处理室的出口流体连通；至少第一阀模块和第二阀模块，所述阀模块是包括入口、第一出口和第二出口的至少三通阀模块，所述第一阀模块入口与第一真空泵的出口流体连通，所述第二阀布置入口与第二真空泵的出口流体连通；至少第一公共泵送管线和第二公共泵送管线，第一公共泵送管线与第一阀模块和第二阀模块两者的第一出口流体连通，第二公共泵送管线与第一阀模块和第二阀模块两者的第二出口流体连通，其中第一真空泵和第二真空泵是副真空泵，且第一公共泵送管线和第二公共泵送管线中的各个包括至少相应的第一主真空泵和第二主真空泵，以在经由第一阀模块和/或第二阀模块流体连通时向至少第一真空泵和第二真空泵中的各个提供足够的泵送能力；且其中公共泵送管线中的至少一者与减除装置流体连通。
- 真空泵布置与其相关改善
- [实用新型]一种流量泵-CN202022533283.X有效
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陈元圣
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东莞市京池电子有限公司
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2020-11-05
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2021-08-17
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F04B53/00
- 本实用新型一种流量泵，包括泵液模块和流量检测模块,泵液模块由用于抽送液体的泵液模块主体、泵底盖及密封垫构成，并通过螺丝把泵液模块主体与泵底盖固定连接在一起；流量检测模块由设在泵液模块下侧的流量检测主体及泵底盖构成，流量检测主体设置有流量检测盖、转子、用于感应转子的感应器；流量检测主体与泵液模块之间可进行多角度固定连接；此流量泵的泵底盖作为两模块的共同件，通过它紧密地把流量计的检测与泵的抽送功能融合成一体，无需另接流量传感器即可实现液体的抽送及流量控制，与其它计量泵相比此流量泵具有结构紧凑、性能精准稳定、适应不同安装使用需求等优点。
- 一种流量
- [发明专利]泵送系统质量控制系统及方法-CN202111367915.2在审
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闫乃晴;毕梦雪;陈新春
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江苏徐工工程机械研究院有限公司
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2021-11-18
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2022-03-29
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G06F30/17
- 本发明公开了一种泵送系统质量控制系统及方法，所述泵送系统质量控制系统包括数据采集模块、总服务器和装配工位服务器，所述数据采集模块用于采集泵送系统中各零部件的生产数据及几何精度数据；所述总服务器与所述数据采集模块相连，基于各零部件的生产数据及几何精度数据，识别出影响装配同轴度的几何精度数据，并定义为关键几何精度数据；所述装配工位服务器与所述总服务器相连，包括分析处理模块和装配模块；所述分析处理模块基于所述关键几何精度数据，计算出关键连接部位所需要的扭矩大小，形成最优装配方案；所述装配模块基于所述最优装配方案，进行泵送系统装配。本发明有利于泵送系统装配过程的协调控制，提高泵送系统的装配质量和效率。
- 系统质量控制系统方法
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