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- [发明专利]激光退火设备和方法-CN201210533375.5有效
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蔡博修
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2012-12-12
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2014-06-18
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B23K26/066
- 一种激光退火设备包括:由多个泵浦激光源组成的泵浦激光源阵列,每个泵浦激光源各自发射泵浦激光;发射退火激光的退火激光源;以及可调掩模片。可调掩模片在经过泵浦激光照射后受激,变得透射退火激光的至少一部分。由此,通过将热图转换为可调掩模片对退火激光的透射率并最终转换为每个泵浦激光源的功率,实现热图补偿的激光退火。在一个优选实施例中,泵浦激光源阵列、退火激光源和可调掩模片同轴布置,并且可调掩模片旋转经过间隔一定角度固定布置的泵浦激光源阵列和退火激光源的照射,由此实现对整幅热图甚至整个晶片进行连续补偿的激光退火。
- 激光退火设备方法
- [发明专利]拉曼放大器结构-CN200680034065.1无效
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S·法拉利;G·博洛尼尼;G·萨奇;F·迪帕斯夸尔
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爱立信股份有限公司
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2006-07-11
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2008-09-17
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H01S3/30
- 用于对输入光信号进行光放大的拉曼放大器结构(121,221)包括:光部件(22),通过它传播光信号;第一泵浦光源(10),用于产生第一泵浦辐射;以及至少一个第二泵浦光源(24,27),用于产生第二泵浦辐射第一和第二泵浦光辐射被结合,并在光传输部件(22)中传播,以通过拉曼效应来提供所述信号的光放大。第一泵浦光源(10)包括:第一激光源(12),用于产生具有较低噪声和较低功率的辐射;以及拉曼放大器(13),用于放大来自用来产生第一泵浦辐射的第一激光源的辐射。拉曼放大器(13)包括第二激光源(14),用于产生具有比第一激光源高的功率和噪声的光辐射,以及来自第二激光源的辐射用于对来自用于产生第一泵浦辐射的第一激光源(12)的辐射进行反泵浦。这限制从第二源(14)传递到第一泵浦辐射的噪声的量。
- 放大器结构
- [发明专利]一种微型共线激光器及其设计方法-CN202310500088.2在审
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张静思
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张静思
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2023-05-05
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2023-08-04
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H01S3/094
- 本发明公开了一种微型共线激光器及其设计方法,激光器包括泵浦光源、激光晶体、整形模块和放大晶体;泵浦光源、激光晶体、整形模块和放大晶体沿泵浦光源输出泵浦光的光路依次设置;泵浦光源输出泵浦光至激光晶体,部分泵浦光被激光晶体吸收并激发出种子激光,种子激光与另一部分泵浦光传输至整形模块,经整形模块整形后传输至放大晶体,在放大晶体靠近整形模块一侧形成激光光斑和泵浦光斑,经放大晶体放大,输出放大激光;激光光斑与泵浦光斑共圆心且光斑直径比值在阈值范围内本发明实施例的技术方案,解决了泵浦光无法全部被吸收造成浪费,传统多光路激光放大器体积过大不适用于微型激光器的问题,实现提高泵浦光利用率且结构紧凑的效果。
- 一种微型共线激光器及其设计方法
- [实用新型]一种光纤传导激光打标机-CN201520282579.5有效
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俞国麟
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宁波唯尔实业有限公司
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2015-05-05
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2015-09-30
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B41J2/455
- 一种光纤传导激光打标机,包括一个种子激光光源,至少一个泵浦光源模块,一个聚束器、一个有源增益光纤以及一个剥离器。所述泵浦光源模块、聚束器、有源增益光纤和所述剥离器依次沿所述种子激光光源的出射光束方向设置。所述聚束器用于对所述种子激光光源出射的激光进行聚光并传送至所述有源增益光纤。所述泵浦光源模块包括一个泵浦光源和一个连接在该泵浦光源和所述聚束器之间的弧形全反射导光管。该弧形全反射导光管使得所述泵浦光源出射的泵浦光进入所述有源增益光纤以使得进入所述有源增益光纤内的激光能量增大。本实用新型的泵浦光源的出射光在弧形全反射导光管内经过多次全反射而被激光叠加吸收,从而增强输出激光强度而节约了能源。
- 一种光纤传导激光打标机
- [实用新型]铌合金固体激光器-CN200920137388.4无效
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林绍义
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林绍义
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2009-04-02
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2010-01-20
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H01S3/14
- 本实用新型公开了一种铌合金泵浦固体激光器,它是将发光的泵浦光源元件固定放置在用铌合金材料设计制作的结构组件上,结构组件由结构件一(2),泵浦晶体(3),结构件三(5),泵浦光源泵浦光源元件(6),垫圈(7)及其光学元件组成,将泵浦晶体(3)内置于中空的圆柱形的结构件一(2)中,将泵浦光源泵浦光源元件固定在结构件三(5)上,再将结构件一(2)固定在结构件三(5)的上端,将这个固定好的两个结构组件上端用光学件一密封起来
- 合金固体激光器
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