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[发明专利]一种低气压等离子体发生器的腔室气压校准方法及系统-CN202111042766.2有效
发明人：孙金海 -专利权人：北京环境特性研究所
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种低气压等离子体发生器的腔室气压校准方法及系统。该方法包括：通过预设实验条件，测量低气压等离子体发生器腔室内的真实电子密度分布；其中，预设实验条件包括预设腔室气压；基于预设腔室气压，确定多个待输入腔室气压；将每一个待输入腔室气压及其它预设实验条件输入到预先构建好的仿真模型中，得到与该待输入腔室气压相对应的模拟电子密度分布；基于真实电子密度分布，在得到的多个模拟电子密度分布中确定出目标模拟电子密度分布，并将与目标模拟电子密度分布对应的待输入腔室气压作为腔室的气压。通过该方法可以精确校准等离子体发生器的腔室气压。
一种气压等离子体发生器校准方法系统

[发明专利]电压力锅内部气压的检测结构、控制方法及电压力锅-CN201811330937.X有效
发明人：李向光;方华斌;张硕;付博 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： A47J27/086 文献下载
摘要：本发明涉及一种电压力锅内部气压的检测结构、控制方法及电压力锅。其中，检测结构包括可动构件腔、可动构件和气压传感器，可动构件将可动构件腔分隔为第一腔室和第二腔室，第一腔室与电压力锅的内部连通，气压传感器设在第二腔室中，在可动构件腔的侧壁上开设有连通可动构件腔与外界大气环境的气孔，当第一腔室和第二腔室中的气压相等且等于外界大气环境的气压时，可动构件位于初始平衡位置并且气孔处于第二腔室的一侧，当第一腔室中的气压大于第二腔室中的气压时，可动构件在压差的作用下向第二腔室所在的方向移动并封堵气孔，当第一腔室中的气压小于第二腔室中的气压时，可动构件在压差的作用下向第一腔室所在的方向移动。
压力锅内部气压检测结构控制方法

[发明专利]一种用于质谱仪离子化以及离子引入装置-CN201510430131.8有效
发明人：王睿;沈嘉祺;金峤;孙文剑 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：本发明提供一种用于质谱仪离子化以及离子引入装置，包括一个低于大气压的电离源腔室；至少一个电离源，置于所述电离源腔室内；至少一个离子聚焦导引装置腔室，用于导引离子进入与所述离子聚焦导引装置腔室相连的质量分析装置腔室；至少一个低于大气压的传输腔室，处于所述电离源腔室与所述离子聚焦导引装置腔室之间，包括所述电离源腔室到所述传输腔室的入口和所述传输腔室到所述离子聚焦导引装置腔室的出口；所述传输腔室的气压低于所述电离源腔室的气压，高于所述离子聚焦导引装置腔室的气压。本发明的用于质谱仪离子化以及离子引入装置将电离源从大气压环境转移到低于大气压环境，提高离子的传输效率，进一步提高质谱仪的检测灵敏度。
一种用于质谱仪离子化以及离子引入装置

[发明专利]去胶机台及其使用方法-CN202310615285.9在审
发明人：韩聪聪;王创;庄佳奕 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种去胶机台，包括真空传输腔和多个腔室，每个腔室与真空传输腔连接；腔室和真空传输腔中分别设置有第一、二控压机构，控压机构分别用于调节腔室、真空传输腔中的气压值；腔室和真空传输腔中分别设置有第一、二气压传感器，第一、二气压器分别用于获取腔室、真空传输腔中的气压值；控制器，控制器用于接收第一、二气压传感器的电信号，其用于在腔室完成测试作业后启动第一控压机构使得腔室与真空传输腔中的气压差减小至设置值本发明在腔室测试作业完成后，通过减少腔室与真空传输腔中的气压差，腔室作业环境与真空传输区域的压力平衡，降低压差将腔室累积的颗粒物吹散到低压区域的表面，降低晶圆表面形成缺陷的概率。
机台及其使用方法

[发明专利]一种气密性腔室结构-CN202310131770.9在审
发明人：黄经伟;谭仁龙;陈添定;吕凯旋;丁初巧 -专利权人：华中光电技术研究所（中国船舶集团有限公司第七一七研究所）;武汉华中天勤防务技术有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05K5/06 文献下载
摘要：本发明提供一种气密性腔室结构，包括：箱体、气压平衡模块、湿度监测模块及第一干燥模块；箱体具有呈密封状态的腔室；气压平衡模块、湿度监测模块和第一干燥模块设于箱体的侧壁上，并与腔室连通；气压平衡模块用于根据外界气压调节腔室的内部气压，以使腔室与外界保持气压平衡状态；湿度监测模块用于检测腔室的内部湿度；第一干燥模块用于根据内部湿度对腔室进行干燥处理。该气密性腔室结构能够实现内外压力适时平衡、腔室气体洁净干燥以及腔室湿度监测功能，使气密性腔室结构具有更好的适用性，从而能够满足高空、高速飞机的光电设备的安装需求，以保障高空、高速飞机的性能和运行安全。
一种气密性结构

[发明专利]模具-CN201010550510.8无效
发明人：许坤煌;陈逸松;洪麒隆;傅思仁 -专利权人：英业达股份有限公司
申请日： 2010-11-09 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： B29C33/46 文献下载
摘要：本体具有成型腔室与气压腔室，其中成型腔室适于成型工件。顶针穿设在本体上。顶针具有顶出端与抵压端，其中抵压端位于气压腔室中，顶出端从气压腔室朝向成型腔室延伸。供气单元连接至气压腔室。当工件在成型腔室中成型之后，供气单元提供气体至气压腔室，以顶推顶针的抵压端，并驱动顶针的顶出端将工件顶离本体。本发明的模具，具有较简单及较低成本的推离结构以取出工件。
模具

[发明专利]一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法-CN202111497140.0在审
发明人：李卫东;李新连;赵志国;赵东明;张赟;夏渊;秦校军;李梦洁;丁坤 -专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能新能源股份有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请提供一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法，包括：工艺腔室和至少一个预抽腔室，工艺腔室用于放置待闪蒸基片，工艺腔室和预抽腔室相互连接，工艺腔室和预抽腔室的连接口处具有真空阀门，预抽腔室的气压值低于工艺腔室的气压值，预抽腔室的体积大于工艺腔室的体积，当真空阀门处于打开状态时，工艺腔室和预抽腔室连通，由于预抽腔室的体积大于工艺腔室且预抽腔室的气压小于工艺腔室，工艺腔室的气压值迅速降低，相较于将待闪蒸基片先放入工艺腔室，再抽真空去除溶剂的长耗时而言，利用已经预先抽好真空的预抽腔室，能够缩短工艺腔室中气压值的降低时间，以缩短去除膜层中残留溶剂的时间，提升残留溶剂去除效果，降低半导体器件制造成本。
一种真空闪蒸系统方法

[发明专利]喷墨装置-CN201511005410.6在审
发明人：李力安;杨丽君 -专利权人：惠州市泓润数码喷印设备有限公司
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： B41J2/015 文献下载
摘要：本发明涉及一种喷墨装置，包括：盒体、气压控制组件、泵墨组件、气压传感器和液位传感器，盒体包括盒壁与隔板，盒壁封闭内部形成一空腔，隔板连接于盒壁内侧并将空腔隔离成第一腔室与第二腔室，隔板靠近盒壁的位置开设一连通口，第一腔室与第二腔室通过连通口连通，泵墨组件与第一腔室连通，气压控制组件与第二腔室连通，液位传感器设置于第一腔室内，气压传感器设置于第一腔室靠近连通口的位置，第一腔室的盒壁上远离连通口的位置开设有出墨口由于气压传感器设置在墨室内，气压传感器测量的气压值更为精确，使得喷墨量更为准确，且由于墨室和气室的连通距离非常短，使得墨室和气室之间的气压差极小，从而减小了闭环控制的延迟。
喷墨装置

[实用新型]喷墨装置-CN201521117654.9有效
发明人：李力安;杨丽君 -专利权人：惠州市泓润数码喷印设备有限公司
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种喷墨装置，包括：盒体、气压控制组件、泵墨组件、气压传感器和液位传感器，盒体包括盒壁与隔板，盒壁封闭内部形成一空腔，隔板连接于盒壁内侧并将空腔隔离成第一腔室与第二腔室，隔板靠近盒壁的位置开设一连通口，第一腔室与第二腔室通过连通口连通，泵墨组件与第一腔室连通，气压控制组件与第二腔室连通，液位传感器设置于第一腔室内，气压传感器设置于第一腔室靠近连通口的位置，第一腔室的盒壁上远离连通口的位置开设有出墨口由于气压传感器设置在墨室内，气压传感器测量的气压值更为精确，使得喷墨量更为准确，且由于墨室和气室的连通距离非常短，使得墨室和气室之间的气压差极小，从而减小了闭环控制的延迟。
喷墨装置

[发明专利]激光装置-CN201680084381.3有效
发明人：浅山武志 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2016-05-09 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：激光装置的控制部根据使用压力传感器计测出的气压，选择第1气体控制和第2气体控制中的一方，在第1气体控制中，向腔室的内部供给第1激光气体和第2激光气体中的至少一方，以使第1气体控制之后的腔室的内部的气压比第1气体控制之前的腔室的内部的气压增高，在第2气体控制中，至少向腔室的内部供给第1激光气体，并排放腔室的内部的一部分激光气体，使第2气体控制之前的腔室的内部的气压与第2气体控制之后的腔室的内部的气压的差小于第1气体控制之前的腔室的内部的气压与第1气体控制之后的腔室的内部的气压的差。
激光装置

[实用新型]一种将粪污转化有机肥的发酵设备-CN202020814078.8有效
发明人：王贝;孙多梅;曹娜娜;李斌 -专利权人：安徽良木农业发展有限公司
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： C05F3/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种将粪污转化有机肥的发酵设备：包括：设置于发酵箱内部的腔室以及用于搅拌腔室中粪污的粪污搅拌杆，还包括：腔室内部的粪污发酵产生沼气，粪污不断发酵，腔室中沼气不断增多，而腔室的体积不变，增多的沼气在腔室中产生气压作用；调节腔室中气压的气动调节机构；所述气动调节机构的一端设置有可连通腔室内外的恒压阀，腔室中气压增强时，恒压阀连通腔室内外，此时，腔室中的沼气通过恒压阀排出，随着沼气的排出，腔室中气压降低，恒压阀封闭，腔室中沼气不能继续排出，以调节腔室中气压。
一种将粪污转化有机肥发酵设备

[发明专利]一种衣物处理剂投放装置及洗衣机-CN201811146420.5在审
发明人：赵志强;许升;舒海 -专利权人：青岛海尔洗衣机有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： D06F39/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种衣物处理剂投放装置及洗衣机，衣物处理剂投放装置，包括：气压驱动装置，包括气压腔室以及按压部件；气压投放装置，具有投放腔室，投放腔室上设置进液口、出液口和接气口，进液口上设置进液单向导通部件；储放装置，内部具有储放衣物处理剂的储放腔室；所述气压投放装置的接气口连通气压驱动装置的气压腔室，进液口连通储放装置。通过按压操作所述按压部件往复运动改变气压腔室的容积实现对气压驱动装置的抽气减压/通气加压，进液单向导通部件在抽气减压/通气加压的作用下开启/关闭进液口，气压投放装置由储放装置内抽取衣物处理剂由出液口排出
一种衣物处理投放装置洗衣机

[实用新型]一种盐雾试验机-CN202123012632.4有效
发明人：郑智超;张炳强;王来娣 -专利权人：苏州海迈汽车防护材料有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种盐雾试验机，包括：试验箱体，试验箱体具有一个用于对产品进行盐雾试验的腔室；盐雾发生器，盐雾发生器安装在腔室的内壁上；盐雾排出组件，盐雾排出组件的输入端与腔室连通，盐雾排出组件的输出端位于腔室的外部；气压传感器，气压传感器用于检测腔室中的气压值；控制系统，控制系统和气压传感器之间信号连接，且控制系统用于控制盐雾排出组件的工作。本方案的改进点在于：通过设置气压传感器和控制系统，从而可以实时监控室内的气压，当气压过大时，控制系统控制盐雾排出组件工作，从而将腔室内的气体向外部排放，用以维持腔室内的气压值，从而使腔室的气压值稳定。
一种试验

[发明专利]医用输液装置-CN201710079214.6在审
发明人：闫婷婷 -专利权人：闫婷婷
申请日： 2017-02-14 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： A61M5/155 文献下载
摘要：本发明公开了一种医用输液装置，包括气压源、气压室、可收缩药袋、储液腔室；所述的气压源的出气口通过导气管连接到气压室内；所述的气压室是一个密闭的结构，但是气压室设置有可打开的门；所述的可收缩药袋放置于气压室内；所述的可收缩药袋的输出口连接软管的一端，软管的另一端位于储液腔室内；所述的储液腔室的底部设置输液口，所述的输液口上设置橡胶塞；所述的储液腔室和气压室悬挂在支撑架上面，储液腔室悬挂的高度与气压室悬挂的高度大致在同一高度
医用输液装置

[发明专利]用于机械手臂的负载平衡装置-CN201811049695.7在审
发明人：宋家仲;陈尚德;朱证裕;吴孟和;陈俊皓 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用于机械手臂的负载平衡装置，包括一气压缸以及一活塞杆。气压缸用以储存一气体，气压缸包括一第一腔室、一第二腔室以及一连接通道，其中连接通道连接第一腔室与第二腔室。活塞杆其一端连接机械手臂，另一端可滑动地设置于气压缸内，活塞杆根据一负载调整第一腔室与第二腔室内气体的体积及压力，其中第一腔室与第二腔室同轴设置于气压缸的轴向上。
用于机械手臂负载平衡装置

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