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- [发明专利]正面安全气囊-CN201980026808.8在审
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W·弗雷斯勒;S·施密德
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ZF汽车德国有限公司;奥迪汽车股份公司
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2019-04-18
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2020-12-01
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B60R21/231
- 一种用于车辆乘员的正面安全气囊用于车辆乘员的正面安全气囊具有在已充气的状态下面向车辆乘员的接触壁(26)。在安全气囊内部、在接触壁(26)上安置有牵拉机构(30，30’)，该牵拉机构在正面安全气囊(10)已充气的状态下分段地拉住接触壁(26)，从而使得接触壁(26)在已安装的、已充气的状态下形成从相关乘员的视角看竖直延伸的多个凹部任选地，正面安全气囊(10)可以具有已完全充气的第一状态和已完全充气的第二状态，该第二状态具有比在该第一状态下更大的安全气囊体积，其中给这些牵拉机构(30，30’)中的至少一些牵拉机构分配有一个释放装置(40)，并且在释放装置未被启用时，正面安全气囊(10)仅达到第一状态；并且在释放装置(40)被启用时，接触壁(26)在所释放的牵拉机构(30，30’)的区域中进一步朝向乘员的方向鼓起，以使得能够实现第二状态
- 正面安全气囊
- [发明专利]硅片正面保护方法-CN201310597829.X有效
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陈敏;马清杰
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中航（重庆）微电子有限公司
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2013-11-22
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2017-02-01
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H01L21/02
- 本发明公开了一种硅片保护的方法，包括以下步骤，提供一需要进行背面腐蚀的硅片，所述硅片正面形成有开口；制备一光刻胶将硅片正面区域完全覆盖；刻蚀去除部分光刻胶，在开口处形成剩余光刻胶，所述剩余光刻胶将所述开口完全覆盖；涂覆一层刻蚀保护涂层将暴露的硅片正面的开口上方的剩余光刻胶覆盖；对硅片背面进行腐蚀，腐蚀完成后去除所述刻蚀保护涂层和所述剩余光刻胶。本发明在进行硅片背面腐蚀工艺中，可很好的将沟槽予以密封，进而在进行背面腐蚀时不会对硅片正面造成损伤，同时去除后也不会在沟槽内形成残余物，不影响后续的沟槽或通孔的填充工艺，提高了产品良率及器件性能。
- 硅片正面保护方法
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