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[实用新型]振镀机-CN201320487009.0有效
发明人：郑海周;马林 -专利权人：深圳市中南机械设备有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： C25D5/22 文献下载
摘要：本实用新型提供一种振镀机，其包括：本体、及设于本体上的弹性体，所述弹性体的远离本体的端部上连接有吊钩。本实用新型通过在振镀机上设置弹性体，提供振动缓冲，降低工作噪音及故障率，并可有效提升振镀效果。
振镀机

[实用新型]振镀机-CN96217629.X无效
发明人：侯进;侯庆军;侯得舜 -专利权人：侯进;侯庆军;侯得舜
申请日： 1996-07-18 - 公布日： 1998-02-04 - 主分类号： C25D17/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电镀装置,它由振动源、激振器、振动筛、镀槽和吊架组成,其中激振器的机筛内固定三元振动电机,上部通过吊钩挂在吊架上,下部有固定振动筛的法兰盘,振动筛的筛槽内镶嵌阴极触头,筛槽底和壁上有孔,镀槽固定在吊架上,其内挂阳极板。它具有电镀时间短、生产率高、镀件质量高的优点,它还能对不能滚镀的片状、细小、不规则零件进行电镀。
振镀机

[实用新型]一种实用便捷的振镀机结构-CN202320030740.4有效
发明人：马林 -专利权人：深圳市中南机械设备有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C25D17/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种实用便捷的振镀机结构，涉及到振镀机技术领域，包括振镀机，所述振镀机的下方设置有架台，所述架台的内部设置有与振镀机连接的振盘，所述振盘的两侧采用导电钉进行固定，所述振镀机的上方设置有阴极，所述振镀机上方的一侧联通有整流器，所述振镀机上方的另一侧联通有控制器，所述振镀机内部设置有电镀槽体和振镀机管路系统，所述振镀机的内部设置有内囊，所述内囊内壁的两侧下方均固定连接有伸缩导向杆，两个所述伸缩导向杆的相对均固定连接有半圆密封板
一种实用便捷振镀机结构

[发明专利]一种延长晶振片寿命的蒸镀机-CN202211267080.8在审
发明人：李文浩;李刚;林武;尚大可 -专利权人：福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，具体涉及一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述延长晶振片寿命的蒸镀机的多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道；所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间本发明的有益效果在于：所述延长晶振片寿命的蒸镀机中，蒸镀材料从镀源蒸镀到晶振片上的路径时而被遮挡部阻挡，时而由镂空通道连通。因此所述遮挡板的设置使晶振片被镀膜较少。不仅使晶振片的侦测膜厚精度更高，还使晶振片长期处于载荷较低的状态下，延长了晶振片的使用寿命。
一种延长晶振片寿命蒸镀机

[实用新型]一种延长晶振片寿命的蒸镀机-CN202222731826.8有效
发明人：李文浩;李刚;林武;尚大可 -专利权人：福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述延长晶振片寿命的蒸镀机的多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道；所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间本实用新型的有益效果在于：所述延长晶振片寿命的蒸镀机中，蒸镀材料从镀源蒸镀到晶振片上的路径时而被遮挡部阻挡，时而由镂空通道连通。因此所述遮挡板的设置使晶振片被镀膜较少。不仅使晶振片的侦测膜厚精度更高，还使晶振片长期处于载荷较低的状态下，延长了晶振片的使用寿命。
一种延长晶振片寿命蒸镀机

[实用新型]一机多震盆振镀机-CN202123115043.9有效
发明人：马林 -专利权人：深圳市中南机械设备有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一机多震盆振镀机，它涉及镀膜设备技术领域；所述振镀机的上端固定安装有弹簧，弹簧的上端设置有挂钩，所述振镀机的底部通过锁紧螺母与T型柱保持锁紧连接，所述T型柱的底端固定安装有底板，所述底板上插接连接有数个振盘，本实用新型可根据产品数量的多少，来选择合适的小振盆，实现了不浪费贵金属的功能，而节约贵金属，并且能一次能带多个小振盆，多批次生产的功能节约了时间，提高了产能。
一机多震盆振镀机

[发明专利]蒸镀装置与蒸镀方法-CN201711038771.X有效
发明人：刘扬 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀装置与蒸镀方法。本发明的蒸镀装置在蒸镀源与晶振片之间设置晶振片遮挡板，晶振片遮挡板能够在遮挡晶振片与不遮挡晶振片这两种位置之间切换；晶振片遮挡板处于遮挡晶振片的位置时，蒸镀材料沉积到晶振片遮挡板上，从而避免蒸镀材料沉积到晶振片上；晶振片遮挡板处于不遮挡晶振片的位置时，蒸镀材料可以沉积到晶振片上；本发明的蒸镀装置应用于蒸镀制程时，在蒸镀的初始阶段即待蒸镀材料的表面杂质的蒸发阶段，晶振片遮挡板处于遮挡晶振片的位置，防止杂质沉积到晶振片表面；在待蒸镀材料的表面杂质蒸发完毕后，晶振片遮挡板处于不遮挡晶振片的位置，蒸镀材料沉积到晶振片表面，镀率监控装置获得平稳的蒸镀速率。
装置方法

[实用新型]一种真空蒸镀机的镀锅传动结构-CN202221880931.1有效
发明人：钱文朔 -专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供一种真空蒸镀机的镀锅传动结构，所述镀锅传动结构设置在真空蒸镀机的主腔体的上部，电机或马达与磁封轴连接，磁封轴贯穿主腔体的上面板并与其固定，磁封轴用于为摇杆提供旋转的动能，所述磁封轴的下端与水平设置的齿轮固定、带动齿轮旋转，齿轮与水平设置的从齿轮啮合，从齿轮与中空轴承的上端固定，中空轴承的下端边沿处与摇杆固定，使得从齿轮带动中空轴承和摇杆同步旋转，晶振水管贯穿从齿轮和中空轴承的中空部，晶振水管的下端与晶振探头连接，晶振探头设置在所述中空部的下方、并且晶振探头的直径小于等于所述中空部的直径，使得摇杆旋转时不遮挡晶振探头。
一种真空蒸镀机传动结构

[发明专利]真空镀膜机-CN202110693607.2在审
发明人：郑新源;戴铭志;牛晶华;程爽;张莉;袁青松;刘园园 -专利权人：上海天马有机发光显示技术有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种真空镀膜机，属于显示屏电子元件镀膜技术领域，该真空镀膜机包括腔体；支撑柱，设置在腔体内；载盘，包括连接部件和载板，载板通过连接部件与支撑柱连接，以使载板可沿支撑柱的轴向转动，载板呈环状并具有第一镂空部，载板沿其自身周向分布有多个基板承载区；晶振系统，包括至少一个第一晶振，第一晶振位于第一镂空部并靠近基板承载区设置。本申请所提供的真空镀膜机中第一晶振能够更靠近基板承载区，由于基板放置于基板承载区，因此第一晶振能够更靠近基板，第一晶振检测到的蒸镀速率与镀膜厚度与基板实际的蒸镀速率与镀膜厚度更接近，从而第一晶振能够更准确检测基板的蒸镀速率与镀膜厚度
真空镀膜

[实用新型]PU复合镀钛振膜及具有该PU复合镀钛振膜的喇叭-CN201620790318.9有效
发明人：沙从义;徐松富 -专利权人：东莞市科音声学科技有限公司
申请日： 2016-07-25 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： H04R7/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种PU复合镀钛振膜及具有该PU复合镀钛振膜的喇叭，包括振膜主体，该振膜主体包括中间的圆形顶部，绕该圆形顶部的环形连接部，绕该连接部边缘的环形固定部；所述振膜主体材质为PU膜；所述振膜主体上复合有一层镀钛材料所述PU复合镀钛振膜，将镀钛材料贴合在PU振膜中间，补偿PU振膜中间部分的钢性，又保留边缘PU边，边缘部分柔软弹性好，PU复合镀钛振膜用作振膜喇叭，低音表现浑厚有力，动态范围大，中高音明亮清晰。
pu 复合镀钛振膜具有喇叭

[实用新型]一种晶振探头结构-CN202221908746.9有效
发明人：钱文朔 -专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请提供一种晶振探头结构，设置在真空蒸镀机的主腔体上，其特征在于，所述晶振探头结构包括：设置在镀锅上方的晶振探头，与晶振探头连接的晶振水管，晶振水管穿过固定件，固定件与主腔体面板固定，回转轴的上端与动力结构连接、下端与挡板部固定，使得动力结构带动回转轴和挡板部旋转，回转轴穿过晶振法兰，晶振法兰与主腔体面板固定，所述晶振探头具有n个晶片，n≥2，挡板部的挡片设置在晶片的下方，挡片遮挡n‑1个晶片。
一种探头结构

[发明专利]一种晶振测量系统及测量方法和装置-CN202011360421.7有效
发明人：廖良生;徐蒙蒙;陈千里;王江南;张川;史晓波;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种晶振测量系统及测量方法和装置，晶振测量系统包括移动载台、蒸镀源、可旋转晶振探头以及基板，晶振测量系统用于测量蒸镀速率以及调节晶振探头与蒸镀源之间位置关系；该测量方法包括：获取晶振探头的位置信息；调取与位置信息所对应的膜厚调整参数TF；测试得到晶振探头的探头测量速率V1，并计算得到基板的材料实际蒸镀速率V2，V2＝V1*TF；若V1和V2中至少一种不满足蒸镀源所对应的预设蒸镀条件，则调整蒸镀源的功率和/或晶振探头的位置，直至调整后V1和V2满足预设蒸镀条件；若V1和V2满足预设蒸镀条件，则进行蒸镀工作。本发明根据需求随时调整晶振探头速率，延长晶振寿命，提高膜厚控制精度。
一种测量系统测量方法装置

[实用新型]一种蒸镀设备-CN202021521382.X有效
发明人：乔小平 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀装置、旋转机构、遮挡装置以及膜厚仪；所述旋转机构设置于所述蒸镀装置一侧，所述旋转机构与所述遮挡装置连接，所述膜厚仪设置于所述遮挡装置一侧；所述膜厚仪包括晶振片，所述晶振片设置于所述遮挡装置一侧；所述旋转机构用于旋转所述遮挡装置；所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；所述遮挡装置用于调节遮挡蒸镀材料蒸汽到晶振片上的比例。本实用新型的蒸镀设备通过遮挡装置来调节遮挡蒸镀材料蒸汽到晶振片上的比例，以适应不同蒸镀材料镀率的需求，从而延长晶振片使用寿命，且实现对膜厚精确的控制。
一种设备

[实用新型]一种蒸镀速率交替监测系统-CN202222545522.2有效
发明人：梁英达;张帆 -专利权人：广西自贸区睿显科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀速率交替监测系统。它解决了现有晶振片切换具有监测空窗期且监测稳定性差，的技术问题。本蒸镀速率交替监测系统包括：晶振盘，一侧设有若干圆周间隔分布的晶振片；挡板组件，包括转轴，所述转轴驱动连接有设置在所述晶振盘一侧的旋转挡板，所述旋转挡板设有间隔设置且位于同一圆形轨迹上的弧形孔和预蒸镀孔，所述弧形孔与预蒸镀孔用于供对应晶振片露出于挡板组件，所述弧形孔的弧形轨迹所成圆心角大于相邻两个晶振片之间所成圆心角。本蒸镀速率交替监测系统能够完成预蒸镀晶振片与寿命结束晶振片的无缝切换，填补了切换晶振片时的空窗时间以及给予了晶振片切换后蒸镀速率波动的过渡缓冲时间，提高蒸镀速率的精准性。
一种速率交替监测系统

[实用新型]一种速率监测器及蒸镀装置-CN202020045849.1有效
发明人：晏荣建 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-01-09 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种速率监测器及蒸镀装置，所述速率监测器用于蒸镀装置中监测蒸镀速率，所述速率监测器包括：晶振基座罩；晶振基座，所述晶振基座设在所述晶振基座罩内，所述晶振基座上设有开口；及，晶振片，所述晶振片设置在所述晶振基座上本实用新型所提供的速率监测器及蒸镀装置能够蒸镀时调节晶振片上材料的沉积速率，以兼顾晶振片的使用寿命及速率监控准确性。
一种速率监测器装置

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