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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序-CN201310413020.7在审
发明人：中务贵司 -专利权人：株式会社其恩斯
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供了形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序，其均能够在测量对象的形状测量之前，容易地将测量对象的姿态调节至适于形状测量的状态。在进行形状测量之前，光投射单元利用具有用于姿态检查的图案的光来照射测量对象。该状态下在显示部上显示被光接收单元捕获的测量对象的图像。当光投射单元用具有用于姿态检查的图案的光照射测量对象时，调节测量对象的姿态。
形状测量装置测量方法程序

[发明专利]形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序-CN201310413022.6在审
发明人：中务贵司 -专利权人：株式会社其恩斯
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了能够在以高精度测量测量对象的形状的同时清晰地观察测量对象的表面状态的一种形状测量装置、一种形状测量方法、和一种形状测量程序。由光投射单元照射的光被测量对象反射并且被光接收单元接收。通过三角测距法生成测量对象的立体形状数据。由光投射单元照射的光被测量对象反射并且被光接收单元接收。在改变光接收单元的焦点位置的同时，通过合成测量对象的多个部分的纹理图像数据来生成测量对象的全焦点纹理图像数据。合成立体形状数据和全焦点纹理图像数据，以生成合成数据。
形状测量装置测量方法程序

[发明专利]形状测量系统以及形状测量方法-CN202210487470.X在审
发明人：内山允史;中村俊辉;大西义人 -专利权人：株式会社日立大厦系统
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供即使在产生振动等的情况下也能够进行高精度的形状测量的形状测量系统。形状测量系统(1)具备向预定的方向射出光束(200)的基准光源部(2)、通过移动机构(5)一体地沿光束光轴(210)移动的距离测量部(3)以及位置检测部(4)。距离测量部(3)对在与光束光轴(210)垂直的面(8)内的到测量对象的距离进行测量。
形状测量系统以及测量方法

[发明专利]形状测量装置和形状测量方法-CN202210553713.5在审
发明人：黄义准;赵奉辰 -专利权人：泰克元有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明涉及形状测量装置和形状测量方法。具体地，根据本发明的一实施例，可以提供一种形状测量装置，包括：成像部，沿一个方向延伸以对测量对象进行成像；照射模块，包括光源和板，所述光源产生要照射到所述测量对象的光以具有相对于地面倾斜的倾斜角，所述板具有预定透射图案
形状测量装置测量方法

[发明专利]形状测量设备和形状测量方法-CN201410266552.7有效
发明人：郑仲基;金珉永;李承埈 -专利权人：株式会社高永科技
申请日： 2010-05-21 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了形状测量设备和形状测量方法。包括工作台，支撑目标基底;图案投影部，包括光源、光栅部件和投影透镜部件，光栅部件部分地透射和阻挡由光源产生的光以产生光栅图像，投影透镜部件在目标基底的测量目标上生成光栅的像;图像捕获部，捕获被目标基底的测量目标反射的光栅图像;控制部，控制工作台、图案投影部和图像捕获部，计算与测量目标对应的光栅图像的可靠性指数和光栅图像的相位，并利用可靠性指数和相位检查测量目标。因此，可以提高测量的精度。
形状测量设备测量方法

[发明专利]形状测量设备和形状测量方法-CN201210032500.4有效
发明人：中岛隆介 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2012-02-14 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：接触型探头通过稳定地控制接触力可以高精度测量即使是大致竖直的大倾斜表面的形状。在通过使接触型探头沿着被测对象表面移动来测量被测对象表面形状的形状测量方法中，根据施加给探头的接触力的分力的大小估算被测对象表面的斜率，并且当确定斜率接近竖直时，探头支撑单元沿与探头支撑单元的移动方向垂直的方向移动
形状测量设备测量方法

[发明专利]形状测量方法以及形状测量装置-CN201680065427.7有效
发明人：桥爪英久;高见俊辅;原野敬久 -专利权人：株式会社钢臂功科研
申请日： 2016-10-05 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：测量部(100)测量半导体晶片(10)的边缘部(300)的截面形状(S201)。测量部(100)测量支撑部件(20)的边缘部(300)的截面形状(S203)。测量部(100)测量粘合晶片(30)的边缘部(400)的截面形状(S205)。
形状测量方法以及测量装置

[发明专利]形状测量装置和形状测量方法-CN201910318789.8有效
发明人：名取和毅;藤原政记 -专利权人：株式会社基恩士
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种形状测量装置和形状测量方法。形状测量装置(100)包括控制部(200)，控制部用于执行：判断处理，用于判断在深度测量范围外是否存在具有高度信息的未测量区域，其中该深度测量范围是从光投射部可照射图案光的高度范围；焦点位置改变处理，用于在判断处理判断为存在未测量区域的情况下，控制光轴方向驱动部改变光接收部的焦点位置；以及合成处理，用于生成通过合成多个立体形状数据所获得的合成立体形状数据，这多个立体形状数据是通过以下方式生成的：自动重复立体形状数据获取处理、判断处理和焦点位置改变处理，直到判断处理判断为不存在未测量区域或者满足预定结束条件为止。
形状测量装置测量方法

[发明专利]形状测量方法和形状测量装置-CN201280072658.2有效
发明人：太田佳孝 -专利权人：株式会社尼利可
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明的目的在于，缩短在光切断法中光切断线的检测所需的时间，进而，使目标物的形状测量的精度提高。在本发明的形状测量方法中，在包含所抽出的光切断线(160)的区域内描绘小区分割线(150)，在分割成小区(151)后，设定以位于各小区(151)内的光切断线(160)的位置为中心，沿上下方向扩展了多个像素的量的纵向区域
形状测量切断线纵向区域形状测量装置上下方向图像处理目标物总区域小区割线像素抽出描绘分割检测

[发明专利]形状测量设备及形状测量方法-CN201180059344.4有效
发明人：庄沱;光本大辅;大西康裕;小岛岳史;施里·纳瓦尔 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2011-10-03 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供一种精确地测量镜面对象的三维形状和空间位置的技术。在照明装置用光照射测量目标时用摄像头获取测量目标的图像，从而得到用于形状测量的图像。由用于形状测量的图像来计算测量目标表面的法线取向，且由该计算的结果来还原所述表面的三维形状。所述摄像头在投影仪向测量目标投射条纹图案时获取测量目标的图像，由此获得用于测距的图像。通过分析得到的用于测距的图像来获得测量目标表面的高度信息。通过结合由法线计算还原得到的三维形状以及由测距得到的高度信息来确定测量目标的三维形状和空间位置。
形状测量设备测量方法

[发明专利]形状测量装置以及形状测量方法-CN201580052827.X有效
发明人：高桥裕树;关博之;上原正广 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供形状测量装置等，能够在利用光以非接触的方式测量呈球面状的被测量面的形状时，减小与测长距离对应的误差而进行高精度的形状测量。形状测量装置(1)具有：保持件(12)，其保持测量对象物(20)；传感器(7)，其对被测量面(21)照射光并以非接触的方式测量与该被测量面(21)之间的距离；编码器(5)，其使传感器(7)绕中心轴(R1R2)上移动的传感器移动机构，且能够使传感器(7)跨越与中心轴(R1)的交点的两侧而移动；XYZ载物台，其使保持件(12)沿着Z轴移动并在XY面内移动；以及控制装置(14)，其根据从传感器(7)输出的测量值来计算被测量面
形状测量装置以及测量方法

[发明专利]形状测量装置及形状测量方法-CN201080049318.9无效
发明人：井尻良 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2010-12-03 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明的MOCVD装置(形状测量装置)利用使作为被测定物的基板移动的移动平台(旋转台)、利用由激光光线所产生的多普勒效应的速度测量单元(21)、被测定物检测单元(25)、运算处理单元(24)、以及记录单元，来测定被测定物的形状。
形状测量装置测量方法

[发明专利]形状测量方法、形状测量装置、及程序-CN202111464059.2在审
发明人：萩原一希 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明的实施方式涉及一种形状测量方法、形状测量装置、及程序。实施方式的形状测量方法中，通过第1拟合处理来计算第1参数群中所包含的参数的收敛值，所述第1拟合处理使用了散射强度曲线及第1推想散射强度曲线，所述散射强度曲线与照射在具有特定图案的衬底上的电磁波的散射强度有关
形状测量方法测量装置程序

[发明专利]形状测量装置、形状测量方法以及程序-CN201010179654.7有效
发明人：玉井利幸;后藤智德 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2010-05-19 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种能够安全地执行高精确度的定心的形状测量装置、形状测量方法以及程序。形状测量装置具有将作为旋转体的被测量物配置在第一位置处的控制部。控制部在第一位置处使触头跟踪被测量物的表面与X轴平行地移动，来获取第一测量曲线。控制部使被测量物以Z轴为中心旋转90度，来将被测量物配置到第二位置处。控制部在第二位置处使触头跟踪被测量物的表面与X轴平行地移动，来获取第二测量曲线。控制部分别对第一、第二测量曲线进行圆拟合，算出各圆的最大值在X轴方向的位置。控制部使被测量物沿X轴、Y轴方向移动使得最大值在X轴方向上的位置成为0。
形状测量装置测量方法以及程序

[发明专利]形状测量装置-CN201811214666.1在审
发明人：里吉宽之 -专利权人：株式会社基恩士
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供了一种能够使得用户容易地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状的形状测量装置。在基准图像RI上指派多个指派的点。将光辐射至测量对象的与所述多个指派的点对应的多个部分上。在偏差图像中，显示了测量对象的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的偏差。
测量对象指派形状测量装置偏差图像粗糙表面形状光辐射基准图像近似平面偏差产生期望表面

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