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- [发明专利]工序监视装置及工序监视方法-CN201510496349.3在审
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藤原成章
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斯克林集团公司
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2015-08-13
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2016-04-06
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G01N21/89
- 本发明提供一种工序监视装置及工序监视方法,所述工序监视装置(4)中,通过图像获取部(3a)~图像获取部(3d)分别获取:呈现对形成在薄膜状的基材的主表面上的抗蚀剂层进行曝光工序后且显影工序前的抗蚀剂层的感光图案的图案图像;呈现显影工序后的抗蚀剂图案的图案图像;呈现对形成有抗蚀剂图案的主表面进行蚀刻工序后且抗蚀剂剥离工序前的主表面的图案图像;及呈现抗蚀剂剥离工序后的主表面的图案的图案图像。在缺陷检测部(41)中,对分别在显影工序、蚀刻工序及抗蚀剂剥离工序即将进行前及进行后紧接获取的两个图案图像进行比较。由此,抑制伪缺陷检测而准确检测各工序异常的产生。
- 工序监视装置方法
- [发明专利]工序判断装置及工序判断方法-CN201710555395.5在审
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小元翔太郎
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株式会社理光
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2017-07-10
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2018-01-19
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G06T7/00
- 本发明通过获得判定所使用的拍摄图像中最合适的判定时机,来提供能够进行切实的判定的工序判断装置及工序判断方法。工序判断装置(1)包括对按照动作顺序来对对象物(6)执行多个的工序的动作部(5)的动作进行多个拍摄的拍摄装置(2),和根据由拍摄装置(2)拍摄的动作部(5)的多个动作图像来判断多个的工序是否正常地进行的判断部(3),判断部(3)在多个工序的一个工序中,通过多个动作图像来提取对象物(6)停止的停止位置,并抽出停止位置中的对象物(6)的特定图像来作为标准图像(6a)存储,并将存储的标准图像(6a)和多个工序的一个工序所取得的取得图像进行比较,来对多个工序的一个工序是否得到正常的执行进行判断。
- 工序判断装置方法
- [发明专利]橡胶的混炼方法-CN202180062397.5在审
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长良贤一;松原崇之;尾崎雄太;内山千明;久久宫壮
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住友理工株式会社
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2021-10-29
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2023-06-30
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B29B7/80
- 一种橡胶的混炼方法,具有:第一工序,通过将基准批次的原料橡胶和副材料按特定组成进行配合并混炼,从而制备基准橡胶组合物,再对将该基准橡胶组合物交联得到的基准橡胶交联物的弹簧特性进行测定;第二工序,通过将对象批次的原料橡胶和副材料按与该第一工序相同的特定组成进行配合并混炼,从而制备对象橡胶组合物,再对将该对象橡胶组合物交联得到的对象橡胶交联物的弹簧特性进行测定;以及第三工序,将该对象橡胶交联物的弹簧特性与该基准橡胶交联物的弹簧特性进行比较,从而设定在将该对象批次的原料橡胶按制品组成进行混炼的情况下采用的配合条件及捏合条件中的一者以上,在该第三工序中所设定的条件下,将该对象批次的原料橡胶按该制品组成进行混炼,得到弹簧特性的偏差较小的制品用橡胶组合物。
- 橡胶混炼方法
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