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- [发明专利]一种晶元切割机用气浮平台-CN202111028407.1在审
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巩铁建;陶为银;蔡正道;张伟
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河南通用智能装备有限公司
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2021-09-02
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2021-10-29
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H02K41/02
- 本发明提供一种晶元切割机用气浮平台,包括底座,所述底座的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨,所述双驱轴线性导轨的一侧设置有双驱轴定子,所述双驱轴定子上连接有双驱轴动子,所述双驱轴线性导轨上架设有气浮轴横梁,所述气浮轴横梁上设置有气浮块,所述气浮块包括设置在气浮轴横梁下部的底部气浮块和设置在底部气浮块上且在气浮轴横梁两侧的侧边气浮块,所述气浮轴横梁的上方且在侧边气浮块的上部设置有转台安装台,所述转台安装台上设置有DD转台,所述转台安装台的下部且在两侧的侧边气浮块内设置有气浮轴定子和气浮轴动子,可以有效避免线性导轨表面微观上的凹凸造成运动过程中Z向的跳动和丝杆的长时间运动导致的热变形和磨损问题。
- 一种切割机用气浮平台
- [实用新型]一种晶元切割机用气浮平台-CN202122110180.7有效
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巩铁建;陶为银;蔡正道;张伟
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河南通用智能装备有限公司
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2021-09-02
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2022-04-05
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H02K41/02
- 本实用新型提供一种晶元切割机用气浮平台,包括底座,所述底座的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨,所述双驱轴线性导轨的一侧设置有双驱轴定子,所述双驱轴定子上连接有双驱轴动子,所述双驱轴线性导轨上架设有气浮轴横梁,所述气浮轴横梁上设置有气浮块,所述气浮块包括设置在气浮轴横梁下部的底部气浮块和设置在底部气浮块上且在气浮轴横梁两侧的侧边气浮块,所述气浮轴横梁的上方且在侧边气浮块的上部设置有转台安装台,所述转台安装台上设置有DD转台,所述转台安装台的下部且在两侧的侧边气浮块内设置有气浮轴定子和气浮轴动子,可以有效避免线性导轨表面微观上的凹凸造成运动过程中Z向的跳动和丝杆的长时间运动导致的热变形和磨损问题。
- 一种切割机用气浮平台
- [实用新型]一种能结合CT扫描的气体驱替实验装置-CN201921137893.9有效
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黄铭轩
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上海珹真检测技术中心
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2019-07-19
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2020-03-31
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G01N23/046
- 本实用新型公开了一种能结合CT扫描的气体驱替实验装置,包括:夹持器、围压加载系统、气体驱替系统和驱油分离计量系统,所述夹持器包括筒体、上传力端头、下传力端头、周向承压碳纤维套和轴向承压碳纤维套,在上传力端头的内腔设有密封压块和压紧螺母,在密封压块和压紧螺母的中心开设有同轴贯通的通孔A,在下传力端头的内腔设有T型活塞,在T型活塞的中心开设有通孔B;所述气体驱替系统包括高压储气瓶、气阀、气体流量计和驱替输入压力传感器,高压储气瓶的出气口与通孔B相连接,气阀与气体流量计和驱替输入压力传感器依次串接在高压储气瓶的出气口与通孔B之间的管路上。本实用新型可为注气驱油研究提供完善的实验依据。
- 一种结合ct扫描气体实验装置
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