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[实用新型]一种单晶炉用环形降氧工装及系统-CN202223493656.0有效
发明人：杨春祥;石鑫;董宇豪;何阳 -专利权人：乐山市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉技术领域，公开了一种单晶炉用环形降氧工装及系统，其中单晶炉用环形降氧工装，包括若干个弧形阻热装置，弧形阻热装置安装在单晶炉内的环形加热器的下方，弧形阻热装置安装在环形加热器上的相邻的两个脚板之间；单晶炉用环形降氧系统，包括单晶炉和上述的单晶炉用环形降氧工装。本实用新型能够解决单晶炉内的高氧问题，提高了生成的单晶硅的品质。
一种单晶炉用环形工装系统

[发明专利]一种用于MCZ法拉制单晶硅的降氧工艺及装置-CN201610727739.1在审
发明人：柯小龙;周小渊;陈娟;苏波;钟朋格;马占东 -专利权人：宁夏中晶半导体材料有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：一种用于MCZ法拉制单晶硅的降氧工艺及装置，采用单晶炉拉制单晶硅棒，特征在于待单晶原料完全反应溶化成液态，在单晶炉中轴石墨夹头上安装搅拌器装置，根据溶硅氧含量要求设定搅拌时间，对溶硅进行搅拌作业；降氧装置是由转轴和叶片组成的搅拌器装置，转轴为下粗上细的变径式轴杆，叶片均匀分布固定安装在转轴的下端头上，转轴的上端头为单晶炉中轴石墨夹头连接头。有益效果在于：相比其他降氧方式和手段，本发明能耗低，操作简单，见效快，有效避免了单晶头部氧含量偏高的问题；并且结合单晶炉的其它常规降氧可进一步提高单晶硅棒拉制降氧效果，提高了单晶硅棒利用率，降低了生产成本
一种用于 mcz 法拉制单工艺装置

[实用新型]降氧装置和具有其的单晶炉热场-CN202223449224.X有效
发明人：刘磊;张华利;汪晨;武鹏;楼杭炯;周洁 -专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种降氧装置和具有其的单晶炉热场，降氧装置用于单晶炉热场，单晶炉热场包括炉体、保温筒、坩埚、侧加热器、底加热器和降氧装置，其中，保温筒自上而下依次包括上保温筒、中保温筒和下保温筒，降氧装置包括支撑环根据本实用新型的降氧装置，结构简单，安装方便，较好地提升了降氧装置的稳定性和单晶炉热场的安全性，延长单晶炉热场的使用寿命，较好地提升了单晶硅的质量。
装置具有单晶炉热场

[实用新型]用于单晶炉的降氧装置和单晶炉-CN202223449304.5有效
发明人：赵玉兵;周洁;张华利;范伟 -专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉的降氧装置和单晶炉，所述单晶炉包括中保温筒和底保温筒，所述降氧装置设于所述中保温筒和所述底保温筒之间，所述降氧装置包括：安装座；固定件，所述安装座与所述固定件之间限定出安装空间根据本实用新型的降氧装置，通过将降氧装置设于中保温筒和底保温筒之间，减少了加热器对坩埚辐射加热的面积，降低了坩埚中下部的温度，减少坩埚中下部氧元素的析出，从而降低了高温下液态硅对石英坩埚的侵蚀，能够有效的降低硅晶体中的氧含量，保证了单晶硅的生产质量，降氧装置的整体结构简单，便于装配和维护，且生产成本低。
用于单晶炉装置

[实用新型]用于单晶炉的降氧装置和单晶炉-CN202223449225.4有效
发明人：张华利;赵玉兵;马俊杰;周洁;范伟 -专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉的降氧装置和单晶炉，所述单晶炉包括中保温筒和底保温筒，所述降氧装置设于所述中保温筒和所述底保温筒之间，所述降氧装置包括：安装座，所述安装座形成为环形，所述安装座内形成有安装空间根据本实用新型的降氧装置，通过将降氧装置设于中保温筒和底保温筒之间，减少了加热器对坩埚辐射加热的面积，降低了坩埚中下部的温度，减少坩埚中下部氧元素的析出，从而降低了高温下液态硅对石英坩埚的侵蚀，能够有效的降低硅晶体中的氧含量，保证了单晶硅的生产质量，降氧装置的整体结构简单，便于装配和维护，且生产成本低。
用于单晶炉装置

[实用新型]用于单晶炉的降氧装置和单晶炉-CN202223449301.1有效
发明人：赵玉兵;周洁;张华利;范伟 -专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉的降氧装置和单晶炉，所述单晶炉包括中保温筒和底保温筒，所述降氧装置设于所述中保温筒和所述底保温筒之间，所述降氧装置包括：安装座；固定件，所述安装座与所述固定件之间限定出安装空间根据本实用新型的降氧装置，通过设置多个层叠的隔热件，根据需要调节隔热件的层叠个数，调节隔热件的厚度，起到了调节保温和隔热的效果，降低了对坩埚的影响，减少坩埚中下部氧元素的析出，从而降低了高温下液态硅对石英坩埚的侵蚀，能够有效的降低硅晶体中的氧含量，保证了单晶硅的生产质量。
用于单晶炉装置

[实用新型]用于单晶炉的降氧装置以及单晶炉-CN202320407401.3有效
发明人：张骏凯;潘军明;王永谦;陈刚 -专利权人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型适用于单晶硅棒制造技术领域，提供了一种用于单晶炉的降氧装置以及单晶炉，降氧装置的保温筒形成有容置腔，保温筒朝向坩埚的一侧形成有凹槽，保温件可填充在容置腔内，导热件可嵌设于凹槽内。如此，降保温筒设置在单晶炉的及加热器下方且环绕坩埚，保温筒内填充有保温件，在等晶过程中，降氧装置可以利用保温筒和保温件将加热器的辐射热量大部分阻隔在坩埚的上部，减少加热器对坩埚下部的辐射影响，降低坩埚的底部温度，降低单晶硅棒中的氧含量。同时，通过在保温筒的凹槽内嵌设导热件可以对热量进行辅助传导，可加快化料时底部的热传导，减少化料时的功率，也即降低主加热功率，使得单晶炉的主加热功耗不会过高，节约能源。
用于单晶炉装置以及

[发明专利]一种降氧式单晶炉和降氧式单晶生长方法-CN202310665906.4有效
发明人：陈伟;周嘉菊;李林东;王艳霞;许堃;李安君;吴超慧;李永刚;罗昌萍;陈志军 -专利权人：苏州晨晖智能设备有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明属于单晶炉单晶硅生长技术领域，具体涉及一种降氧式单晶炉和降氧式单晶生长方法，包括上炉室、下炉室、坩埚和主加热器，上保温筒及其外的上保温筒毡，中保温筒及其外的中保温筒毡、下保温筒及其外的下保温筒毡，本发明能在保障单晶硅生长热场需求的同时减少坩埚R角部分的高温烘烤，降低单晶硅棒的氧含量，提高晶棒品质及太阳能电池片的光电转换效率。
一种降氧式单晶炉降氧式单晶生长方法

[发明专利]一种单晶硅拉制用降氧保护装置-CN202310373095.0有效
发明人：陈伟;吴超慧;李林东;张鹏;陈志军;许堃;李安君;邢立勋;毛亮亮 -专利权人：苏州晨晖智能设备有限公司;云南宇泽半导体有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及单晶炉的技术领域，特别是涉及一种单晶硅拉制用降氧保护装置，其能够有效减少单晶硅内的氧含量，提升晶体硅的性能；包括：单晶炉，单晶炉内部安装有坩埚，坩埚圆周外部设置有加热器，加热器用于对坩埚内部熔融状态下的硅液进行加热；搅拌机构，搅拌机构可拆卸安装在单晶炉顶部，搅拌机构用于将硅液表面的一氧化硅旋转至外围；抑氧瓦，单晶炉内对称安装有两组驱动机构，两片抑氧瓦分别依靠支撑臂安装在驱动机构上，驱动机构用于将抑氧瓦推入至坩埚内部的硅液上方，并使抑氧瓦一部分伸入至硅液表面以下，两片抑氧瓦合并后将漂浮在硅液表面的一氧化硅隔离在抑氧瓦外壁与坩埚内壁之间。
一种单晶硅拉制用降氧保护装置

[发明专利]能够降低头部氧含量的大直径单晶硅生产方法及装置-CN202110688408.2在审
发明人：伊冉;王黎光;张兴茂;闫龙;李小红 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够降低头部氧含量的大直径单晶硅生产方法及装置，属于单晶硅生产技术领域。生产时，单晶硅原料化料后，增加降氧处理过程，对硅熔汤进行搅拌的同时，提高氩气流量至化料结束后氩气流量的1.5倍～3倍，和/或提高拉晶炉的炉内压力为化料结束后炉内压力的1.5倍～3倍，实践结果表明，采用上述手段能够有效地降低单晶硅晶棒的头部氧含量约50%，有效打破了大直径单晶硅晶棒头部氧含量无法进一步降低的技术瓶颈。
能够降低头部含量直径单晶硅生产方法装置

[发明专利]一种单晶炉及单晶炉降氧方法-CN202310627350.X有效
发明人：李林东;陈伟;高伟杰;陈志军;丁云飞;张鹏;吴超慧;毛亮亮;许堃 -专利权人：苏州晨晖智能设备有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请的实施例提供了一种单晶炉及单晶炉降氧方法，涉及单晶炉技术领域。该单晶炉包括炉体、坩埚、加热器、保温筒、供氩装置以及吸氧装置，保温筒设置于炉体内，坩埚设置于保温筒内，坩埚内用于盛放硅液，加热器设置于炉体内，以对坩埚进行加热；供氩装置设置于炉体上，以向坩埚内通入氩气；吸氧装置设置于炉体内，用于吸附坩埚内的氧气，其能够在不降低发热圈的高度的基础上降低坩埚内的氧含量。
一种单晶炉单晶炉降氧方法

[实用新型]一种能降氧和减小单晶断线的单晶炉过渡盘-CN202222669403.8有效
发明人：李国明;王艺澄;王军磊 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种能降氧和减小单晶断线的单晶炉过渡盘，为圆筒形，装在中保温筒下方时，圆筒的上表面向上突出两个和中保温筒相配合的耳槽，装在中保温筒上方时，圆筒的下段是锥形孔，锥形孔的上端是小端，下端是大端；能使单晶炉热场内氩气流向更加顺畅，加快带走热场内部产生挥发物以及氧原子，防止挥发物在热场石墨件残留，有利于改善单晶炉热场内部拉晶的高纯环境减少断线、降氧效果明显，提高单晶硅棒的品质和产能。
一种能降氧减小断线单晶炉过渡

[实用新型]一种新型单晶炉降氧上保温筒-CN202222749425.5有效
发明人：李国明;王艺澄;王军磊 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开直拉法生产单晶硅技术领域中的一种新型单晶炉降氧上保温筒，筒体内部是台阶通孔，形成上腔4和下腔，下腔的内径与其下方的中保温筒的内径相同，大于上腔的内径，筒体的侧壁上设有一圈抽成真空的环形的真空槽，真空槽的顶部用顶塞封闭，筒体的外侧壁上包裹一层保温材料，能使单晶炉热场内部氩气流向更加顺畅，加快带走热场内部产生挥发物以及氧原子，防止挥发物在热场石墨件残留，有利于改善单晶炉热场内部拉晶的高纯环境且加大纵向温度梯度，从而减少断线、降氧效果明显，可以有效果保持上保温筒的温度，减少热量散失。
一种新型单晶炉降氧上保温

[实用新型]一种降氧组合件和单晶炉用热场-CN202320403841.1有效
发明人：文永飞;马少林;张朝光;王莎莎;程磊;丁彪;马宝;杜婷婷;武刚;潘振安;杨少平;成路 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种降氧组合件和单晶炉用热场，所述降氧组合件包括：环形石墨板和软质毛刷，其中，所述软质毛刷固定连接于所述环形石墨板的内壁上，所述软质毛刷和所述环形石墨板均用于阻挡热辐射；所述软质毛刷包括沿所述环形石墨板的周向设置的刷毛可以降低石英坩埚底部的温度，减少石英坩埚产生的氧含量，降低硅熔液中的氧含量和单晶硅中的氧含量。
一种组合单晶炉用热场

[实用新型]单晶炉升降液压系统及单晶炉-CN202320659481.1有效
发明人：陈俊 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B66F3/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉控制领域，提供一种单晶炉升降液压系统及单晶炉，其中，单晶炉升降液压系统，包括：第一升降缸，第一升降缸用于升降副室；第一换向阀，第一换向阀的换向用于控制第一升降缸的升降；第一调速阀组，第一调速阀组设置在第一升降缸与第一换向阀之间，第一调速阀组的换向用于对第一升降缸回油调速。用以解决现有技术中无法对副炉室升降调速的缺陷，本实用新型提供的单晶炉升降液压系统，通过第一换向阀的换向控制第一升降缸的升降状态，第一调速阀的换向控制第一升降缸的升降速度，从而实现单晶炉的副炉室与炉盖的分离和扣合的速度的控制，提高单晶炉的生产效率和生产质量。
单晶炉升降液压系统

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