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- [发明专利]形成图案的方法-CN201510744838.6在审
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施江林;许书豪;王雅志
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南亚科技股份有限公司
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2015-11-05
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2017-01-04
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H01L21/027
- 本发明公开了一种形成图案的方法。首先,在衬底上形成一图案化核心层。接着,均匀地在图案化核心层与衬底上形成间隙层,并且定义出多个被间隙层包围的第一凹陷区域。然后,进行回蚀刻工艺,暴露出图案化核心层与凹陷区域下方的衬底。再来,移除暴露的图案化核心层,形成多个同样被间隙层包围的第二凹陷区域。接着,在第一凹陷区域与第二凹陷区域内填入定向自组装材料,然后诱发定向自组装材料进行定向自组装过程。填充在第一凹陷区域与第二凹陷区域内的定向自组装材料会往凹陷区域的边界扩散,在第一凹陷区域与第二凹陷区域中间形成被自主装材料包围的孔洞。
- 形成图案方法
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