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- [发明专利]树脂组合物、研磨垫、和研磨垫的制造方法-CN201980017799.6有效
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石内隆仁;高桥信行
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昭和电工株式会社
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2019-01-21
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2023-01-24
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C08F290/06
- 本公开的目的在于,提供容易得到硬度适合化学机械研磨、且具有所希望的尺寸的细孔的研磨垫的树脂组合物,以及使用该树脂组合物而得的研磨垫和研磨垫的制造方法。一种树脂组合物,含有:氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(A)、不饱和树脂(B)、具有烯属不饱和键的烯属不饱和化合物(C)、和中空体(D),不饱和树脂(B)是乙烯基酯树脂和不饱和聚酯树脂中的至少一者,烯属不饱和化合物(C)不包括氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(A)和不饱和树脂(B),氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(A)的含量与不饱和树脂(B)的含量的质量比A:B为64:36~96:4,相对于氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(A)、不饱和树脂(B)、烯属不饱和化合物(C)的合计100质量份,中空体(D)的含量为0.7~9.0质量份。
- 树脂组合研磨制造方法
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