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- [发明专利]基板保持机构和等离子体处理装置-CN200810003447.9有效
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石田宽
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东京毅力科创株式会社
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2008-01-15
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2008-07-23
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H01L21/683
- 本发明提供一种基板保持机构，该基板保持机构包括：用于向载置台(300)和保持在该载置台(300)的基板保持面上的基板(G)之间供给气体的气体流路(352)；将来自气体流路的气体导向基板保持面上的多个气孔(354)；比被处理基板的周边向外侧仅离开规定的错位容许量(b)并沿周边配设的、以比载置台的基板保持面高的方式突出的错位检测用突起(332)；测定流路的压力的压力表(363)；和当将基板保持在载置台上时，根据来自压力测定机构的检测压力对来自气孔的气体的泄漏量进行检测，根据该检测结果对是否有规定的错位容许量以上的基板的错位进行检测的控制部(400)。
- 保持机构等离子体处理装置
- [发明专利]一种涂覆固化设备-CN201911158567.0在审
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李光辉
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苏州微比特自动化有限公司
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2019-11-22
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2020-03-27
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B05C5/02
- 本发明的涂覆固化设备，包括涂覆装置、载具及固化装置，涂覆装置包括涂覆仓和第一驱动装置，第一驱动装置驱动涂覆仓在其初始位置和工作位置之间移动；载具包括第二驱动装置和多个载轴，第二驱动装置驱动多个载轴转动，待处理产品安装在载轴上，载轴带动待处理产品转动；固化装置对待处理产品进行固化，且固化装置的工作状态可调节；涂覆仓移动至工作位置，对待处理产品进行涂覆，涂覆完成后移回至初始位置，固化装置再对待处理产品进行固化，固化过程中第二驱动装置驱动多个载轴转动带动待处理产品转动。本发明的涂覆固化设备，结构简单、空间利用率高、通用性强、生产效率高、节省成本以及产品承载量高。
- 一种固化设备
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