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- [实用新型]一种基于氧化锡前电极的非晶硅薄膜电池-CN201120118803.9有效
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吴兴坤;李媛;曹松峰
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杭州天裕光能科技有限公司
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2011-04-21
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2011-11-30
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H01L31/0392
- 本实用新型公开了一种基于氧化锡前电极的非晶硅薄膜电池,属于非晶硅薄膜电池技术领域,其是由包括氧化锡前电极薄膜的氧化锡基板、第一非晶硅P型层、第二非晶硅P型层、非晶硅缓冲层、非晶硅本征层、非晶硅N型层和背电极层依次复合构成,所述的第一非晶硅P型层、第二非晶硅P型层、非晶硅缓冲层、非晶硅本征层、非晶硅N型层构成非晶硅发电层,所述的第一非晶硅P型层采用无氢沉积,第二非晶硅P型层采用有氢沉积。该结构的非晶硅薄膜电池可在不改变现有的生产流程和不引进额外的生产设备的情况下对现有工艺进行调整,有利于制造时提高薄膜的沉积速度,缩短氧化锡暴露在氢等离子体中的时间,从而起到相似的保护氧化锡薄膜的作用。且该非晶硅薄膜电池的功率最大能提高8W。
- 一种基于氧化电极非晶硅薄膜电池
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