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[发明专利]一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台及其标定方法-CN201610261465.1有效
发明人：王青;齐思璐;周泉仙;孟令强;石慧;王晓烨 -专利权人：南京英特飞光电技术有限公司
申请日： 2016-04-25 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明提出一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台，从首先根据长平晶型号确定测量时的倾斜角度，使测量布置方式最优；再根据测试长平晶位置确定反射镜位置，利用激光自动准直系统找到反射镜垂直反射光线的位置；使用干涉仪测量时根据不同型号的长平晶对照标定图像，从而确定该长平晶的面型信息。
一种针对标准长平晶倾斜测试标定方法平台

[发明专利]一种平面度检测装置及方法-CN201410514042.7在审
发明人：杨文志;吴时彬;景洪伟;张鹏 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-09-29 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明是一种平面度检测装置及方法，该装置由标准平晶、调整座、基座、第一测长仪、第一调整座、联接板、一维移动台、二维移动台、第二调整座、第二测长仪、被测件、第三调整座组成；用标准平晶的标准面与被测件的理论平面之间距离作为基准；将两测长仪的测头反向安装，一测头与标准平晶的平面接触，另一测头与被测件被测平面接触；对标准平晶的平面和被测件的被测平面进行二维扫描测量，对两测长仪记录的数据处理，获得被测件被测平面的平面度；本发明旨在用于消除二维移动台的直线性对测量的影响，能对各连续平面及非连续平面平面度的测量，能测量二维移动台的直线性，可测量微透镜焦点的共面性，拓展标准平晶的高精度平面度检测方法功能。
一种平面检测装置方法

[发明专利]一种用于PVT法制备晶体的反应器组件及其使用方法和应用-CN202110482795.4有效
发明人：刘鹏飞;刘星;刘家朋;李加林 -专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：该反应器组件包括：反应腔，所述反应腔包括原料腔和废料腔，所述废料腔的底端低于所述原料腔的底端；加热机构，所述加热机构套设在所述原料腔外侧，用于加热所述原料腔；长晶腔，所述长晶腔与所述原料腔通过气相传输通道连通，所述原料腔内的原料升华产生的原料气通过气相传输通道传输至所述长晶腔内的籽晶处长晶；平推流机构，所述平推流机构将所述原料腔内长晶过程中产生的废料移动至所述废料腔。
一种用于 pvt 法制晶体反应器组件及其使用方法应用

[实用新型]一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构-CN202121587558.6有效
发明人：何飞;李全威;葛攀雷;高娜娜 -专利权人：苏州拓多智能科技有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括晶圆上吸盘、加热板、连接板、第一销孔、螺纹孔、中空调平螺丝、第二销孔、连接螺丝、调平螺母，所述晶圆上吸盘安装在加热板的底面，所述加热板叠放于连接板的下方，所述连接板边角开设有中心对称且矩阵分布的四个第一销孔，所述加热板边角开设有四个与第一销孔同轴的螺纹孔，每个所述第一销孔内插接有一枚带调平螺母的中空调平螺丝。通过上述方式，本实用新型提供一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，在连接板的边角加装相互叠套的中空调平螺丝、调平螺母和连接螺丝，解决了加热板受力变形问题，具有操作简单高效、寿命长等优点。
一种用于晶圆解键合设备吸盘模组变形机构

[发明专利]一种腔长可扫的多色超稳腔-CN202310249475.3在审
发明人：申恒;徐忠孝;李东豪;赵昌涛 -专利权人：山西大学
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01S3/081 文献下载
摘要：本发明属于激光稳频技术领域，具体涉及一种腔长可扫的多色超稳腔，包括腔体，在所述腔体上开设置有光学通道，在所述光学通道的一端开设置有凹槽，在所述凹槽内设置有一号高反平凹镜，在所述一号高反平凹镜的平面侧粘贴有小号微晶玻璃环，在所述小号微晶玻璃环的外侧面粘贴有小号压电陶瓷，在所述小号压电陶瓷的外侧面粘贴有大号微晶玻璃环，在所述大号微晶玻璃环的内侧粘贴有大号压电陶瓷，且所述大号压电陶瓷的内侧与腔体粘贴在一起，本发明通过小号压电陶瓷和大号压电陶瓷来改变光学通道的长度，不仅保持了大号微晶玻璃环和小号微晶玻璃环的超低热膨胀量，而且增加了大范围扫描腔长的能力。
一种腔长可扫多色超稳腔

[发明专利]一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置-CN201310345972.X无效
发明人：夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置，包括钢架底座；平台，所述的平台设在钢架底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测长装置，所述的接触式测长装置固定在Z轴动板上；平面平晶，所述的平面平晶设在与X轴运动方向平行的横梁上。本发明结构简单、集成度高、功能全面，为晶圆形状参数测量提供了解决方案。
一种补偿误差立式圆形测量装置

[实用新型]一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置-CN201320485954.7有效
发明人：夏发平 -专利权人：昆山允可精密工业技术有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置，包括钢架底座；平台，所述的平台设在钢架底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测长装置，所述的接触式测长装置固定在Z轴动板上；平面平晶，所述的平面平晶设在与X轴运动方向平行的横梁上。本实用新型结构简单、集成度高、功能全面，为晶圆形状参数测量提供了解决方案。
一种补偿误差立式圆形测量装置

[发明专利]平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法-CN201510263169.0在审
发明人：陈磊;郑东晖;曹慧;周斌斌;朱文华;郑权;万骏;韩志刚 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2015-05-21 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法。步骤为：对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶前表面进行一次干涉测量；在待测平行平晶后面放置反射参考平晶，对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶后表面进行一次干涉测量；对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次空腔干涉测量；用第二透射参考平晶替换第一透射参考平晶，对第二透射参考平晶和第一透射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第二透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；综合测量结果，得到待测平行平晶的光学非均匀性。
平行光学均匀绝对测量方法

[发明专利]长晶系统及石英盖板-CN201510012841.9有效
发明人：庄履中;钱俊逸;蓝文杰;游智杰;李依晴;徐文庆 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2015-01-12 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种长晶系统及一种石英盖板，所述石英盖板适于容置在盛装硅熔汤的坩埚内，石英盖板包括平贴部与配合部，平贴部呈平板状且在大致中央处包围定义有一开口，平贴部用以保持贴附于硅熔汤的液面，且硅熔汤经提拉所形成的硅晶棒能穿过石英盖板的开口，配合部自平贴部周缘一体弯曲延伸所形成，且配合部的外表面呈弧状曲面。因此，本发明所提供的石英盖板能使硅晶棒的各部位含氧量提升。
晶系石英盖板

[实用新型]大量程千分尺平行调节工装-CN201921713818.2有效
发明人：吴进成 -专利权人：马尔精密量仪（苏州）有限公司
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： G01B3/18 文献下载
摘要：该大量程千分尺平行调节工装包括连接杆，连接杆两端粘结有平晶支撑件；平晶支撑件设有平晶容腔，平晶容腔内放置有平行平晶，平行平晶与平晶支撑件通过胶水粘结；平晶支撑件在平行容腔侧壁设有若干螺纹通孔，螺纹通孔中螺接固定有螺钉，通过控制螺钉伸入平行容腔的长度调节两平行平晶端面平行；平晶支撑件于平行平晶厚度方向设有可视窗口。
量程千分尺平行调节工装

[发明专利]在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法-CN202111174773.8有效
发明人：张成悌;薛靓;冉庆;汤江文;付天坤;龚柯安;徐德宇;杨桩;蒋丽 -专利权人：中国测试技术研究院机械研究所
申请日： 2021-10-09 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明涉及平晶测量领域，具体涉及一种在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法，用于在卧式干涉仪中对平晶组进行多点测量，平晶组包括四块以上平晶，每个平晶沿中心点均匀划分为N个待测截面，每个待测截面上选取除中心点外的M个测量点，按以下步骤进行测量：步骤S1，取平晶组中的任意两块平晶分别标记为平晶A和平晶B，将平晶A和平晶B放置于卧式干涉仪上，且工作面相对放置，将平晶A上的N个待测截面中离中心点最远的测量点按顺时针方向进行编号……步骤S6，在平晶组多块块平晶分别取得各截面直线度平均结果和各截面端点的共面度平均值后，将各截面直线度偏差叠加在共面度的相应点上，即可得到每块平晶的多截面平面度偏差。
平面地形图修正标准测量方法

[发明专利]平晶承托装置以及激光干涉检测设备-CN201910372788.1在审
发明人：王全召;韩森;张凌华;张博 -专利权人：苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种平晶承托装置以及包含该平晶承托装置的激光干涉检测设备。本发明的平晶承托装置，被设置在具有参考平晶承载装置的激光干涉检测设备上，并且被安装在参考平晶承载装置的正下方，用于承托待测平晶，其特征在于，包括：安装座，用于固定安装；以及承托部，设置在安装座上，用于放置待测平晶，包含承托座以及设置在该承托座上用于承托待测平晶的承托构件，其中，承托构件具有与待测平晶的端面相贴合的软性的承托平面。
平晶承托装置激光干涉检测承托构件承载装置安装座承托座承托承托平面参考承托部软性贴合

[实用新型]用于光学镜头软装校的通用型平晶-CN201621008430.9有效
发明人：王宏波;于闻;李跃庭;徐安健;赵锐全;杨帆;江会;彭代东;伍纯智;徐程 -专利权人：昆明北方红外技术股份有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：用于光学镜头软装校的通用型平晶，涉及一种平晶，特别是涉及一种用于光学镜头软装校的通用型平晶。光学镜头软装校的通用型平晶，其特征在于该平晶由安装底盘和平晶组件构成，平晶组件通过连接圈与安装底盘固定；其中，安装底盘面上设置三根可调节位置的支撑腿；平晶组件内置一个小口径圆形平晶，并通过两个调节旋钮调整平晶的倾斜角度本实用新型一方面避免了因应对不同口径形状透镜的软装校而需加工大量平晶，节约成本的同时缩短了光学系统装调周期；另一方面提高了平晶的利用率。
用于光学镜头软装校通用型

[实用新型]一种用于高铁轨道修复整平的异形金刚石聚晶-CN201220359352.2有效
发明人：温简杰 -专利权人：上海昌润极锐超硬材料有限公司
申请日： 2012-07-23 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： C22C26/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于高铁轨道修复整平的异形金刚石聚晶，所述金刚石聚晶为异形多面体。本实用新型金刚石聚晶为不规则异形，具有极高的锋利度，制成工具切割磨削效率较普通金刚石聚晶高40—50%以上，并且磨耗比可达5-15万，使用寿命比普通金刚石长30%以上，可满足现今高铁技术领域的要求。
一种用于铁轨修复异形金刚石

[实用新型]共晶焊机拾取芯片用万向调平吸嘴-CN201320773472.1有效
发明人：张顺亮;葛秋玲 -专利权人：无锡中微高科电子有限公司
申请日： 2013-11-28 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种调平吸嘴，尤其是一种共晶焊机拾取芯片用万向调平吸嘴，属于集成电路制造的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述共晶焊机拾取芯片用万向调平吸嘴，包括吸嘴壳体以及安装在所述吸嘴壳体下部并与所述吸嘴壳体间隙配合的吸片头，所述吸片头内设有吸片头气道，所述吸片头气道与贯通所述吸嘴壳体内的壳体气道相连通本实用新型结构紧凑，能够适用于不同芯片的尺寸，满足封装芯片共晶焊接的芯片水平、受力均匀的要求，使用寿命长，安全可靠。
共晶焊机拾取芯片万向调平吸嘴

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