专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]通用薄膜材料图形化方法-CN200710047946.3无效
  • 丁桂甫;蔡豪刚;杨卓青 - 上海交通大学
  • 2007-11-08 - 2008-03-19 - B81C1/00
  • 本发明公开一种微机械加工技术领域的通用薄膜材料图形化方法。本发明通过光刻或掩模电镀在基片上制备一次平面微模具;在整个基片范围内淀积薄膜材料,填满微模具的空隙;通过研磨加工去除薄膜高出微模具的多余部分,并减至所需厚度;选择去除一次平面微模具,得到所需微结构本发明既可制造单层结构,也可制造叠层结构,且可与牺牲层工艺相结合,制造悬空结构,具有不受薄膜材料、厚度、淀积方法,以及衬底材料限制,通用化的优点,解决了一些薄膜材料用常规方法无法制造具有较大厚度以及整齐边界微结构的问题
  • 通用性薄膜材料图形方法

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