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[发明专利]一种铸坯等轴晶率沿宽度分布测量方法-CN202310432668.2在审
发明人：邓攀;刘洋;孔勇江;李华;胡念慈;张宇军;陈国威 -专利权人：武汉钢铁有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明公开了一种铸坯等轴晶率沿宽度分布测量方法，属于钢铁冶金自动化及图像处理技术领域，包括：获得等轴晶试样图像，提取等轴晶试样等轴晶区域轮廓，获取等轴晶试样图像像素高度和像素宽度；确定等轴晶区域切分数量，将等轴晶试样沿铸坯像素宽度方向平均切分；判断等轴晶试样等轴晶区域轮廓数量，若只存在一个等轴晶区域轮廓，执行单等轴晶区域等轴晶率分布处理流程，否则流转到多等轴晶区域等轴晶率分布处理流程。通过本发明自动完成等轴晶区域轮廓识别、等轴晶率计算、等轴晶区域数量检测、等轴晶试样各区域等轴晶率沿铸坯宽度方向的分布，最终实现铸坯等轴晶率沿宽度方向的测量与显示。
一种轴晶率沿宽度分布测量方法

[实用新型]压轴装置及键合装置-CN202320315842.0有效
发明人：王山平 -专利权人：重庆康佳光电科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种压轴装置及键合装置，压轴装置用于对材质不同的第一晶圆与第二晶圆进行键合，装置包括内轴、外轴、内压力部及外压力部，内轴沿第一方向延伸且具有沿第一方向相对的施压面及受压面；外轴环绕内轴，内轴位于外轴的内部；内压力部设置于内轴的受压面，用于经由受压面向内轴施加第一压力；外压力部环绕内压力部，内压力部位于外压力部的内部；外压力部用于向外轴施加第二压力；第二压力沿第一方向的分量值大于第一压力沿第一方向的分量值通过对第一晶圆与第二晶圆的中间区域与边缘区域施加不同压力，有效排除第一晶圆与第二晶圆键合界面的气泡，提高晶圆键合的质量，提升最终产品的良率。
压轴装置

[实用新型]一种晶圆清洁设备-CN202020515571.X有效
发明人：蔡丹纯;陈天虎;郑俊;李宇周 -专利权人：东莞高伟光学电子有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆清洁设备，包括机架和安装在机架上方的晶圆传送装置、第一支撑定位装置、第二支撑定位装置、晶圆检测装置、晶圆清洁装置，所述晶圆清洁装置包括清洁支撑架、X轴移动模组、Y轴移动模组、移动板、升降气缸、棒安装块和粘尘棒，X轴移动模组驱动Y轴移动模组沿X轴左右移动，Y轴移动模组驱动移动板沿Y轴前后移动，移动板侧方安装升降气缸，升降气缸驱动棒安装块上下升降，棒安装块底部安装粘尘棒，与现有技术相比，晶圆清洁装置采用粘尘棒去除晶圆表面的灰尘异物，粘尘棒不会损伤污染晶圆，减少等离子水的使用和维护检修成本，不会出现等离子水污染批量晶圆的现象，提高产品良率，满足生产需求。
一种清洁设备

[发明专利]铸坯等轴晶智能识别及性能判定方法、系统及存储介质-CN202210746583.7在审
发明人：邓攀;刘洋;孔勇江;李华;陈国威;胡念慈;盛喜松;严开勇;郭满平 -专利权人：武汉钢铁有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本说明书实施例公开一种铸坯等轴晶智能识别及性能判定方法、系统及存储介质，通过图像处理技术和语义分割技术，实现对等轴晶试样中等轴晶区域智能精准自动分割，结合计算机图形测量技术，实现对等轴晶区域自动测量、等轴晶率自动计算和等轴晶率分布评估，进一步的基于等轴晶率、等轴晶率分布对等轴晶试样的等轴晶性能进行判定，实现对试样等轴晶性能智能判定，解决现有等轴晶人工测量存在的效率差、准确性低、同一性差、不科学等问题。
智能识别性能判定方法系统存储介质

[实用新型]一种邦头组件-CN201922158806.4有效
发明人：刘子玉;陈勇伶 -专利权人：深圳市意沨科技有限公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶元移送技术领域，尤其公开了一种邦头组件，包括支架，安装在支架上的第一电机及第二电机；第一电机的输出轴安装有承载板，承载板滑动设置有滑座，滑座连接有拾取件及轴体件；支架转动设置有第一轴体，第一轴体连接有偏心轴，偏心轴转动连接有条板，条板设有第二轴体；支架滑动设置有滑板，滑板与轴体件转动连接；当需要移送晶元件时，第一电机经由承载板、滑座驱动拾取件转动，调整拾取件与晶元件之间的夹角，使得拾取件与晶元件沿竖直方向排列；第二电机经由第一轴体、偏心轴、条板、第二轴体、滑板、轴体件、滑座带动拾取件沿竖直方向上下移动，使得拾取件拾取住晶元件；提升晶元件的移送效率及移送良率。
一种组件

[实用新型]一种晶圆外观自动检测与标记设备-CN202221365751.X有效
发明人：林昌达;李林稳;郭海兵;曾志东;叶胜浓 -专利权人：深圳华工量测工程技术有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观自动检测与标记设备，包括XYZR搬运机构、上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位，所述上下料工位和所述标记打点工位设置于所述XYZR搬运机构沿Y轴方向的两侧，所述外观检测工位设置于所述XYZR搬运机构沿X轴方向的一侧。本实用新型采用XYZR搬运机构搬运晶圆产品，通过X轴模组带动晶圆产品沿X轴方向移动，通过Y轴模组带动晶圆产品沿Y轴方向移动，通过Z轴模组带动晶圆产品沿Z轴方向移动，通过R轴模组带动晶圆产品在水平方向上转动，从而实现在上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位之间搬运晶圆产品，其可以运动至任意点位，且成本低。
一种外观自动检测标记设备

[实用新型]一种晶圆自动上下料系统-CN202020497028.1有效
发明人：刘明伟;黄古刚 -专利权人：东莞市正远智能装备有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型属于晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆自动上下料系统，包括升降机构、固定架、料盘、滑动轴、夹取机构和搭载台，所述固定架安装于所述升降机构的输出端，所述料盘放置于所述固定架上，所述固定架设置有出料口，所述搭载台设置于所述出料口的前方，所述搭载台设置有与晶圆相匹配的限位架，所述夹取机构沿所述滑动轴在所述出料口与所述限位架之间往复水平移动。相比于现有技术，本实用新型提高晶圆的生产效率以及晶圆的生产良率。
一种自动上下系统

[发明专利]一种提高高碳钢小方坯等轴晶率的方法-CN201210205731.0有效
发明人：朱晓雷;郭晓波;贾吉祥;张宁;赵成林;郭庆涛;倪翀奕;廖相巍 -专利权人：鞍钢股份有限公司
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： B22D11/115 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高高碳钢小方坯等轴晶率的方法，钢的化学成分的重量百分比为C：0.57%~0.65%，Si：0.17%~0.37%，Mn：0.4%~0.8%，P<0.025%，S<0.025%，余量为Fe和不可避免杂质，钢水过热度为25~35℃、铸坯拉速为2.5~2.9m/min、二冷比水量为0.9~1.2L/kg，将电磁搅拌器安放在距离结晶器下沿18～22mm，电磁搅拌器的电流强度为290~330A，本发明生产60#小方坯的等轴晶率可稳定的提高到20%以上，同时，高拉速也带来了生产效率的提高。这样既保证了高效生产，又使得过去由于等轴晶率不足而带来的疏松缩孔缺陷等得到改善或消除，不会使缺陷遗传到轧钢工序。
一种提高高碳钢小方坯轴晶率方法

[发明专利]一种高碳钢连铸坯等轴晶率的测定方法-CN201610312776.6有效
发明人：隋晓红;张鹏远;金星 -专利权人：鞍钢股份有限公司
申请日： 2016-05-12 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明涉及一种高碳钢连铸坯等轴晶率的测定方法，其特征在于，包括冷酸蚀、热酸蚀、等轴晶区鉴别界定、等轴晶率测定4个步骤。本发明首先通过化学腐蚀显示出铸坯凝固组织形态，再根据凝固组织的分布特点，通过人工鉴别出等轴晶区域，对图像做特殊处理，使等轴晶与柱状晶区形成高度的灰度反差，从而实现运用图像分析软件测量等轴晶百分含量的目的
一种高碳钢连铸坯轴晶率测定方法

[发明专利]一种提高低碳高硅钢钢坯等轴晶率的方法-CN201410695466.8在审
发明人：江中块;陈艳;苏瑞先;倪修华;李志月 -专利权人：上海梅山钢铁股份有限公司
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2016-06-22 - 主分类号： B22D27/04 文献下载
摘要：本发明提供一种提高低碳高硅钢钢坯等轴晶率的方法。利用该方法能够避免在后续轧制过程中沿轧制方向出现“瓦楞状缺陷”，提高其等轴晶率到20%以上，并抑制微细MnS的析出，提高低碳高硅钢的磁性。
一种提高低碳高硅钢钢坯轴晶率方法

[实用新型]一种双头固晶机-CN202120989661.7有效
发明人：张跃春;梁国城;谭雪艳 -专利权人：先进光电器材(深圳)有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L33/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双头固晶机，包括台板及设置在所述台板上的工作盒，所述工作盒沿Y轴方向可滑动设置，所述工作盒X轴方向上的相对两侧分别设有固晶组件和顶针组件，所述固晶组件及所述顶针组件分别沿X轴方向可滑动设置，所述台板上还设有驱使所述固晶组件沿X轴方向滑动的第一调节组件和驱使所述顶针组件沿X轴方向滑动的第二调节组件。本实用新型提供的双头固晶机减少了工作盒在两个固晶组件之间需要移动的距离，利于固晶臂快速对准LED支架上的固晶工位，以使固晶臂能够更快的将芯片贴装到LED支架相应的固晶工位上，减少了工作盒在台板上不必要的移动时间，进而提升双头固晶机整体的贴装效率。
一种双头固晶机

[实用新型]晶圆清洗刷和晶圆清洗装置-CN201420241889.8有效
发明人：唐强;马智勇 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型所公开的晶圆清洗刷和晶圆清洗装置，通过在刷轴所连接的第一马达驱动所述刷桶沿晶圆表面第一方向移动的同时沿第一方向作左右摆动。当刷桶转动的时候，晶圆表面会同时受到垂直向下及水平方向的摩擦作用，使得晶圆表面上的大多数颗粒可以沿着刷桶移动的方向离开晶圆，有效的去除晶圆表面的颗粒，提高了颗粒的清洗效率，进而提高了后续工序的产品良率；另外，本实用新型的晶圆清洗装置，增设晶圆吸附装置及第一喷水管，所述晶圆清洗刷及所述晶圆吸附装置分别设置于晶圆的两侧以便对晶圆进行强化清洗；再结合设置于晶圆正上方做旋转运动的所述第一喷水管对晶圆的冲洗，使得晶圆表面及边缘均得到冲洗，有效的提高了晶圆清洗的效率。
晶圆清洗刷清洗装置

[实用新型]一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构-CN202123391086.X有效
发明人：向军;王钊一;冯霞霞;王金磊 -专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，包括机架和吸嘴，还包括：伺服电机、Z轴驱动机构、X轴驱动机构和Y轴驱动机构，所述伺服电机的输出轴与所述吸嘴连接，所述Z轴驱动机构可驱动所述吸嘴沿Z轴方向移动，所述X轴驱动机构可驱动所述Z轴驱动机构沿X轴方向移动，所述Y轴驱动机构可驱动所述X轴驱动机构沿Y轴方向移动，通过Z轴驱动机构、X轴驱动机构和Y轴驱动机构将吸嘴移动到料片所在位置，然后通过伺服电机控制吸嘴进行转动，调整晶元与料片的角度偏差，使晶元精准的贴合在料片上，避免晶元贴合度不达标造成脱落，需要重新进行取晶和固晶的过程，降低了生产成本，同时也提高了生产效率。
一种具有位置修正功能取晶固晶机构

[发明专利]重掺砷晶体生产中抑制重掺砷晶体电阻率反翘的方法-CN202210947356.0有效
发明人：周文辉;芮阳;王忠保;马成;徐慶晧;曹启刚;王黎光;张昆 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明提供重掺砷晶体生产中抑制重掺砷晶体电阻率反翘的方法，涉及硅单晶生产技术技术领域，在晶棒进入等径拉制时，通过在预定等径长度内调整晶体的结晶速率、温度进行晶棒拉制，本发明通过温度变化，保证晶体的结晶速率能够下降，从而降低在预定等径长度内晶棒的结晶速率，使得在预定等径长度内晶棒的结晶速率下降缓慢，使得晶棒在预定等径长度内结晶时间缩短，并且在保证不会发生晶变的情况下，一方面，使得砷的挥发作用小于其分凝作用，使得单晶电阻率沿晶棒的轴向从高到低分布，进而晶棒电阻率不会发生反翘；另一方面，使得单晶电阻率沿晶棒的轴向从高到低分布，由此能够明显提升电阻率0.003Ω.cm以下的产品比例。
重掺砷晶体生产抑制电阻率方法

[发明专利]析晶清理方法-CN202011400287.9有效
发明人：李青;李赫然;张广际;杨世民;杨道辉;孙涛;何怀胜;李震 -专利权人：芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： C03B5/167 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃液搅拌装置的析晶清理方法，涉及物料均化技术领域，玻璃液搅拌装置包括搅拌棒和设有顶壁搅拌开口的搅拌腔，搅拌棒的上部从顶壁搅拌开口伸出搅拌腔，搅拌棒的下部位于搅拌腔中，析晶清理方法包括：清理搅拌棒的上部周壁与顶壁搅拌开口的开口周壁之间的析晶；沿竖向升高搅拌棒；封盖顶壁搅拌开口；清理搅拌棒的下部周壁的析晶。搅拌棒的下部设有沿径向伸出的搅拌轴，搅拌轴的顶面顶点与搅拌腔的搅拌腔顶壁的底面之间的间距为h1，搅拌腔顶壁的厚度为h2，h1≥h2，搅拌棒的升高高度大于等于h2且小于h1。本发明的玻璃液搅拌装置的析晶清理方法能有效清除玻璃液搅拌装置中产生的析晶，以减少产品的缺陷率和提高生产效率。
清理方法

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