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[发明专利]基板贴合方法和基板贴合装置-CN201510478229.0在审
发明人：山本雅之 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2015-08-06 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基板贴合方法和基板贴合装置。
贴合方法装置

[发明专利]基板贴合方法及基板贴合设备-CN201711022999.X在审
发明人：朱麾忠 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方专用显示科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： B32B37/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板贴合方法及基板贴合设备，属于显示技术领域。其中，基板贴合方法，用于将第一待贴合基板与第二待贴合基板进行全贴合，所述第一待贴合基板的贴合面包括多个第一区域，所述第二待贴合基板的贴合面包括多个第二区域，所述第一区域与所述第二区域一一对应，所述方法包括获取每一所述第一区域的以及对应第二区域的翘曲度；根据每一所述第一区域的翘曲度、对应第二区域的翘曲度以及贴合胶的设计厚度计算涂布在每一所述第一区域和对应第二区域之间的贴合胶填充量。本发明的技术方案能够保证全贴合方式中贴合胶厚度的均一性，从而改善显示产品的显示效果。
贴合方法设备

[发明专利]基板贴合构造及基板贴合方法-CN201880091122.2在审
发明人：西泽弘一郎 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L23/02 文献下载
摘要：在基板(1)的主面形成有器件(2)。基板(1)的主面和相对基板(14)的下表面经由接合部件(11、12、13)以中空状态接合。电路(17)及凸块构造(26)形成于相对基板(14)的上表面。
贴合构造方法

[发明专利]基板贴合装置和基板贴合方法-CN201010156618.9有效
发明人：增田浩一;长谷川努 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2010-04-07 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供能够适当地进行上基板和下基板在水平方向的位置调整的基板贴合装置和基板贴合方法。基板贴合装置(100)在仅在下基板(152)上形成有定位标记而在上基板(151)上未形成定位标记的情况下，通过检测上基板(151)的边来导出该上基板(151)的水平方向的中心位置和旋转角度，并且根据该上基板(151)的水平方向的中心位置和旋转角度以及下基板(152)的水平方向的中心位置和旋转角度，使下工作台(103)在XY方向上移动和旋转移动，由此进行定位，使得上基板(151)和下基板(152)的中心位置一致并且各边一致而成为可贴合的状态
贴合装置方法

[发明专利]基板贴合装置及基板贴合方法-CN201310181386.6有效
发明人：堀越崇广 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-08-07 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板贴合装置，具备：第一工作台(T1)，其保持2片晶片(W1、W2)中的一方的晶片(W1)；载台装置(30)，其以能够与一方的晶片(W1)相面对的朝向保持另一方的晶片(W2)，并且能够至少在
贴合装置方法

[发明专利]基板贴合系统和基板贴合方法-CN201210232173.7有效
发明人：吴载映;金棋容;申宇燮;李载钧;安龙秀 -专利权人：乐金显示有限公司
申请日： 2012-07-05 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板贴合方法及其系统，所述基板贴合方法包括：通过基板引入生产线引入基板；通过辅助基板引入生产线引入辅助基板；通过贴合生产线贴合引入的所述基板和所述辅助基板，从而形成用于充分实施显示装置处理的处理面板，并在所述处理完成后使所述两个基板彼此分离，其中所述引入基板的步骤和所述引入辅助基板的步骤同时或顺序进行。
贴合系统方法

[发明专利]基板贴合装置以及基板贴合方法-CN201210080332.6有效
发明人：横田典之 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2012-03-23 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： H01L23/00 文献下载
摘要：提供一种基板贴合装置以及基板贴合方法，能够以简易且廉价的结构来可靠地检测基板的掉落。在真空腔(1)内具备支撑部(3)，支撑一方的基板(P2)；以及保持部(2)，在与基板(P2)相对置的位置保持另一方的基板(P1)，该基板贴合装置还具备压力检测部(4)，检测真空腔(1)内的压力；以及判定部(150)，根据在真空腔(1)内的减压时通过压力检测部(4)检测的压力的变化来判定基板(P1)从保持部(2)的脱离导致的异常的有无。
贴合装置以及方法

[发明专利]基板贴合装置和基板贴合制程-CN200410027661.X有效
发明人：江经纬;张彦中 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司
申请日： 2004-06-11 - 公布日： 2005-12-14 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本发明公开一种基板贴合装置，其包括一真空腔、一第一静电吸盘、一工作台、一供气装置、一抽真空装置和一副真空腔，其中，该第一静电吸盘包括一开设有导气孔的吸盘主体，该工作台在进行基板贴合时是与该吸盘主体相对设置在该真空腔内本发明还提供一种采用上述基板贴合装置的基板贴合制程。
贴合装置

[发明专利]基板贴合装置和基板贴合方法-CN201310616134.1无效
发明人：野中昂平;山崎不二夫 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-11-27 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： B32B37/00 文献下载
摘要：一种基板贴合装置，防止在粘接树脂内残留气泡，具备：显示基板保持部，其保持具有显示面的显示基板；盖基板保持部，其保持覆盖显示面的盖基板；以及引导型件，其设于盖基板保持部的保持板部，与涂敷于盖基板、粘接两基板的紫外线固化树脂容易移动的路径相对，按压盖基板的与显示基板相对的面的相反侧的面，引导紫外线固化树脂的移动。该路径是基于以下图案确定的：该图案是平行地配置两基板，在两基板中的至少一方基板涂敷与使基板贴合时使用的情况等量的紫外线固化树脂使其贴合，在使两基板保持为平行的同时使其离开时，附着于盖基板的紫外线固化树脂形成的图案
贴合装置方法

[发明专利]基板贴合装置及基板贴合方法-CN200880102420.3有效
发明人：堀越崇广 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-08-07 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基板贴合装置，具备：第一工作台(T1)，其保持2片晶片(W1、W2)中的一方的晶片(W1)；载台装置(30，其以能够与一方的晶片(W1)相面对的朝向保持另一方的晶片(W2)，并且能够至少在
贴合装置方法

[发明专利]基板贴合装置及基板贴合方法-CN201380031324.5有效
发明人：水野贤一 -专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
申请日： 2013-07-25 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： G09F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板贴合装置及基板贴合方法，可将具有凹面的凹状基板与具有可挠性的薄状基板经由粘接剂而高精度地加以贴合。本发明的基板贴合装置包括中心区块及其两侧的分离区块，分离区块在凹状基板的侧边部侧具有推压曲面，该推压曲面与该侧边部所具有的凹面的部分为大致相同的形状。而且，分离区块在靠近中心区块的第1位置A与经由薄状基板而抵接于凹状基板的侧边部的第2位置B之间移动。若分离区块移动至第1位置A，则中心区块与分离区块收缩得比凹状基板的凹面空间小，若分离区块移动至第2位置B，则中心区块与分离区块沿着凹状基板的凹面扩大。
贴合装置方法

[发明专利]基板贴合工艺以及待贴合基板组件-CN201410149136.9有效
发明人：肖昂;宋省勋;陈旭 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2014-04-14 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本发明的基板贴合工艺以及待贴合基板组件，其中，本发明的待贴合基板组件，基板的表面设置有外围胶框，外围胶框的内部设置有成盒胶框，成盒胶框的高度大于外围胶框的高度。本发明的基板贴合工艺包括在第一基板的表面设置外围胶框，在外围胶框的内部设置用于密封液晶的成盒胶框，成盒胶框的高度大于外围胶框的高度；抽去第一基板与第二基板之间的空气；使第一基板与第二基板初步贴合；向第一基板与第二基板之间充入气体；使第一基板与第二基板进一步贴合。
贴合工艺以及组件

[发明专利]基板贴合装置以及基板贴合用具-CN201410060917.0无效
发明人：园边和幸;衣川耕平;山崎不二夫;荒木正树;三浦纮一郎;畠山理子 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：根据本发明，即使显示基板具有变形、翘曲，也能够稳定地进行显示基板与盖基板的贴合。本发明的基板贴合装置（1）是将显示基板（101）和盖基板（121）介由接合部件（110）在真空条件下进行贴合的装置，具备载置部件（201）和贴合部（8）。载置部件（201）载置作为贴合的一个基板的显示基板（101）。并且，载置部件（201）具备板状的主体（202）和保持部件（203a）～（203d）。保持部件（203a）～（203d）与显示基板（101）的侧面部抵接，限制显示基板（101）在与载置部件（201）的面平行的面内移动。贴合部（8）将载置部件（201）所载置的显示基板（101）和作为被贴合的另一个基板的盖基板（121）介由接合材料（110）在真空条件下进行贴合。
贴合装置以及用具

[发明专利]基板保持架、基板贴合装置以及基板贴合方法-CN202080033276.3在审
发明人：三石创;菅谷功;釜下敦;冈田政志;福田稔;前田荣裕 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：基板保持架具备：中央支承部，其支承基板的中央部；以及外周支承部，其配置在中央支承部的外侧，支承中央部的外侧的外周部，外周支承部将外周部支承为：外周部的至少一部分区域朝向基板保持架以比中央部大的曲率弯曲。
保持贴合装置以及方法

[发明专利]基板贴合方法、该贴合基板及直接接合基板-CN200480024184.X无效
发明人：杉田知也;水内公典 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2004-11-04 - 公布日： 2006-09-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基板贴合方法，包括如下工序：使第1基板的表面与第2基板的表面接近或部分接触的工序；向所述第1基板的表面与所述第2基板的表面之间提供挥发性液体的工序；和使所述挥发性液体气化并使基板贴合的工序另外本发明还提供使用该方法得到的贴合基板和直接接合基板。根据本发明的方法可以得到弯曲或变形非常小的直接接合基板。
贴合方法直接接合

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