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- [发明专利]用于计量的信号域适应-CN202080070067.6有效
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S·潘戴夫
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科磊股份有限公司
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2020-10-08
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2023-07-14
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G06N3/0464
- 使用第一计量数据及第二计量数据训练机器学习模型以基于装置区域的计量数据来预测计量目标的计量数据。所述第一计量数据是针对使用制造工艺制造的半导体裸片上的装置区域的多个例子。所述第二计量数据是针对含有与所述装置区域中的结构相异的结构的计量目标的多个例子。使用所述经训练机器学习模型基于所述装置区域的例子的第三计量数据来预测所述计量目标的第四计量数据。使用所述计量目标的配方基于所述第四计量数据来确定所述计量目标的一或多个参数。至少部分基于所述一或多个参数来监测及控制所述制造工艺。
- 用于计量信号适应
- [实用新型]一种计量泵偏心计量结构-CN202222540172.0有效
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杨辉
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上海浠凌机械设备有限公司
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2022-09-26
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2023-07-21
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F04B13/00
- 本实用新型公开了一种计量泵偏心计量结构,包括计量泵外壳和内置偏心计量管机构,所述计量泵外壳的顶端设置有锁环架,且锁环架的顶端安装有管道,所述内置偏心计量管机构设置于计量泵外壳的一侧,所述内置偏心计量管机构的顶端设置有备用管,所述计量泵外壳的前端安装有计量泵外置连接机构,且计量泵外置连接机构的内部安装有环管架,所述环管架的内部四周设置有卡栓。该计量泵偏心计量结构,将卡栓螺纹安装在环管架内部,偏心计量管整体嵌入安装在螺纹连接的环管架与卡栓,可使计量泵有相应的独立的偏心计量结构进行安装,便于使用者后期手动拆卸螺纹连接的环管架与卡栓,对偏心计量管进行整体安装,利于后期偏心计量结构拆卸调整。
- 一种计量偏心结构
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