本发明涉及一种自动虚拟计量(Automatic Virtual Metrology;AVM)的系统与方法。AVM系统包含有一建模服务器及多个AVM服务器。建模服务器用于建构某类型的工艺装置(机台)的首套虚拟计量模型,该组虚拟计量模型包含:虚拟计量推测模型、RI(Reliance Index;信心指针)模型、GSI(GlobalSimilarity Index;整体相似度指针)模型、DQIX(Process Data Quality Index;工艺数据质量指针)模型、DQIy(Metrology Data QualityIndex;计量数据质量指针)模型。在AVM方法中,建模服务器也可将此类型工艺装置的首套虚拟计量模型移植至其它同型工艺装置的AVM服务器中,接受移植的每一AVM服务器并可以自动换模(Refresh)方式恢复并维持其虚拟计量模型应有的精度。